【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种利用移相干涉测量技术进行测试的计算机控制调谐移相干涉系统，属于干涉仪领域。
技术介绍
移相干涉术是以光波波长为单位的非接触式测量技术，具有极高的测量精度和灵敏度，被认为是检测精密元件的最准确技术之一。早在200多年前，人们就注意到了了光的干涉现象，并开始有计划的控制干涉现象。但是直到I960年第一台红宝石激光器的研制成功，干涉现象才开始广泛应用于测量领域。传统的干涉测量技术主要是通过照相或人眼直接观察干涉条纹，手工计算测量结果的方式进行的，效率低下，主观误差较大。1974年Bruning等人首次将通讯领域中的相位探测技术引入到光学测量中，使经典的干涉测量技术从微米级跨入纳米级，实现光学计量测试的重大突破。80年代以来，随着激光技术、光电探测技术、计算机技术、图像处理技术和精密机械等技术在光学测试中的逐步应用，移相干涉技术得到进一步发展，实现了实时、快速、多参数、自动化的测量。正是因为移相干涉测试技术的高精度和高灵敏性，轻微的扰动都会造成干涉图的扭曲、抖动和模糊，这使得很多测量都需要在封闭室内的隔振台上才能进行，严重限制了移相干涉技术在现场测...
【技术保护点】
一种计算机控制调谐移相干涉系统，其特征在于：所述计算机控制调谐移相干涉系统由激光器(1)、扩束透镜(2)、准直透镜(3)、分光棱镜(4)、参考镜(5)、成像透镜(6)、CCD(7)和计算机(10)构成，按照激光光路方向依次设置激光器(1)、扩束透镜(2)、准直透镜(3)、分光棱镜(4)和参考镜(5)，按照垂直激光光路方向依次设置被测镜(9)、分光棱镜(4)和成像透镜(6)，所述CCD(7)设置在成像透镜(6)外侧，参考镜(5)连接有压电陶瓷驱动器(8)，所述计算机(10)分别与激光器(1)、CCD(7)和压电陶瓷驱动器(8)连接。
【技术特征摘要】
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