本实用新型专利技术涉及一种反馈控制式移相干涉仪，由激光器(1)、扩束镜(2)、第一分束镜(3)、第二分束镜(4)、成像系统(5)、CCD(6)、光电探测器(7)、参考镜(8)、压电陶瓷驱动器(9)和反馈信号发射器(12)构成，所述第一分束镜(3)设置在扩束镜(2)后侧，参考镜(8)设置在压电陶瓷驱动器(9)与第一分束镜(3)之间，光电探测器(7)和压电陶瓷驱动器(9)之间设置反馈信号发射器(12)。本实用新型专利技术通过对振动造成的光程差的变化进行探测，并利用光源波长变化等方法加以实时的反馈补偿，使干涉图保持稳定，从而消除振动的影响。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种用探测器探测外界振动引起的条纹移动或者光强变化的干涉仪，尤其涉及一种反馈控制式移相干涉仪，属于干涉仪领域。
技术介绍
移相干涉术是以光波波长为单位的非接触式测量技术，具有极高的测量精度和灵敏度，被认为是检测精密元件的最准确技术之一。早在200多年前，人们就注意到了了光的干涉现象，并开始有计划的控制干涉现象。但是直到I960年第一台红宝石激光器的研制成功，干涉现象才开始广泛应用于测量领域。传统的干涉测量技术主要是通过照相或人眼直接观察干涉条纹，手工计算测量结果的方式进行的，效率低下，主观误差较大。1974年Bruning等人首次将通讯领域中的相位探测技术引入到光学测量中，使经典的干涉测量技术从微米级跨入纳米级，实现光学计量测试的重大突破。80年代以来，随着激光技术、光电探测技术、计算机技术、图像处理技术和精密机械等技术在光学测试中的逐步应用，移相干涉技术得到进一步发展，实现了实时、快速、多参数、自动化的测量。传统的移相干涉通常时间移相法，利用PZT的压电特性推动移相元件匀速移动，实现干涉图的等间隔相移。在此期间，环境振动、空气扰动等因素都会影响移相步长的精度，降低移相干涉仪的测量精度。普通实验条件下，干涉仪通常放置于光学平台上，此时其固有频率较低，低频的环境振动对应的幅值比较大，这些低频大振幅的振动会使干涉图像模糊，严重影响干涉图的对比度，明显降低系统的测量精度。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足，解决好现有技术的问题，弥补现有目前市场上现有产品的不足。本技术提供了一种反馈控制式移相干涉仪，由激光器、扩束镜、第一分束镜、第二分束镜、成像系统、CCD、光电探测器、参考镜、压电陶瓷驱动器和反馈信号发射器构成，所述第一分束镜设置在扩束镜后侧，第二分束镜对应第一分束镜设置，压电陶瓷驱动器与第二分束镜之间设置有光电探测器，参考镜设置在压电陶瓷驱动器与第一分束镜之间，光电探测器和压电陶瓷驱动器之间设置反馈信号发射器。优选的，上述第二分束镜和CXD之间设置有成像透镜构成的成像系统。优选的，上述压电陶瓷驱动器配设有压电陶瓷驱动控制器。优选的，上述反馈信号发射器配设有调制振荡器和直流电平。优选的，被测件设置在第一分束镜后侧。本技术提供的反馈控制式移相干涉仪通过对振动造成的光程差的变化进行探测，并利用光源波长变化等方法加以实时的反馈补偿，使干涉图保持稳定，从而消除振动的影响。【附图说明】图1为本技术结构示意图。附图标记:1_激光器；2_扩束镜；3_第一分束镜；4_第二分束镜；5_成像系统；6-CXD ;7_光电探测器；8_参考镜；9_压电陶瓷驱动器；10_压电陶瓷驱动控制器；11_被测件；12_反馈信号发射器；13_调制振荡器；14_直流电平。【具体实施方式】为了便于本领域普通技术人员理解和实施本技术，下面结合附图及【具体实施方式】对本技术作进一步的详细描述。如图1所示，本技术提供的反馈控制式移相干涉仪，由激光器1、扩束镜2、第一分束镜3、第二分束镜4、成像系统5、(XD6、光电探测器7、参考镜8、压电陶瓷驱动器9和反馈信号发射器12构成，第一分束镜3设置在扩束镜2后侧，第二分束镜4对应第一分束镜3设置，压电陶瓷驱动器9与第二分束镜4之间设置有光电探测器7，参考镜8设置在压电陶瓷驱动器9与第一分束镜3之间，光电探测器7和压电陶瓷驱动器9之间设置反馈信号发射器12。第二分束镜4和(XD6之间设置有成像透镜构成的成像系统5。压电陶瓷驱动器9配设有压电陶瓷驱动控制器10。反馈信号发射器12配设有调制振荡器13和直流电平14。被测件11设置在第一分束镜3后侧。本技术提供的反馈控制式移相干涉仪，用探测器探测外界振动引起的条纹移动或者光强变化，即探测环境振动；处理振动信号，将其转换成与之相对应的电压信号反馈到PZT驱动器上，利用PZT的压电特性对振动进行补偿。这种机械式光学相位调制系统中，PZT既是移相机构，又是相位调制补偿器，这就对PZT的频率特性提出了较高的要求。以上所述之【具体实施方式】为本技术的较佳实施方式，并非以此限定本技术的具体实施范围，本技术的范围包括并不限于本【具体实施方式】，凡依照本技术之形状、结构所作的等效变化均在本技术的保护范围内。【主权项】1.一种反馈控制式移相干涉仪，其特征在于:所述反馈控制式移相干涉仪由激光器(I)、扩束镜(2)、第一分束镜(3)、第二分束镜(4)、成像系统(5)、CCD(6)、光电探测器(7)、参考镜(8)、压电陶瓷驱动器(9)和反馈信号发射器(12)构成，所述第一分束镜(3)设置在扩束镜(2)后侧，第二分束镜(4)对应第一分束镜(3)设置，压电陶瓷驱动器(9)与第二分束镜(4)之间设置有光电探测器(7)，参考镜(8)设置在压电陶瓷驱动器(9)与第一分束镜(3)之间，光电探测器(7)和压电陶瓷驱动器(9)之间设置反馈信号发射器(12)。2.根据权利要求1所述的反馈控制式移相干涉仪，其特征在于:所述第二分束镜(4)和CCD (6)之间设置有成像透镜构成的成像系统(5)。3.根据权利要求1所述的反馈控制式移相干涉仪，其特征在于:所述压电陶瓷驱动器(9)配设有压电陶瓷驱动控制器(10)。4.根据权利要求1所述的反馈控制式移相干涉仪，其特征在于:所述反馈信号发射器(12)配设有调制振荡器(13)和直流电平(14) ο5.根据权利要求1所述的反馈控制式移相干涉仪，其特征在于:被测件(11)设置在第一分束镜(3)后侧。【专利摘要】本技术涉及一种反馈控制式移相干涉仪，由激光器(1)、扩束镜(2)、第一分束镜(3)、第二分束镜(4)、成像系统(5)、CCD(6)、光电探测器(7)、参考镜(8)、压电陶瓷驱动器(9)和反馈信号发射器(12)构成，所述第一分束镜(3)设置在扩束镜(2)后侧，参考镜(8)设置在压电陶瓷驱动器(9)与第一分束镜(3)之间，光电探测器(7)和压电陶瓷驱动器(9)之间设置反馈信号发射器(12)。本技术通过对振动造成的光程差的变化进行探测，并利用光源波长变化等方法加以实时的反馈补偿，使干涉图保持稳定，从而消除振动的影响。【IPC分类】G01B9/02【公开号】CN204807036【申请号】CN201520271453【专利技术人】林燕彬 【申请人】林燕彬【公开日】2015年11月25日【申请日】2015年4月27日本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种反馈控制式移相干涉仪，其特征在于：所述反馈控制式移相干涉仪由激光器(1)、扩束镜(2)、第一分束镜(3)、第二分束镜(4)、成像系统(5)、CCD(6)、光电探测器(7)、参考镜(8)、压电陶瓷驱动器(9)和反馈信号发射器(12)构成，所述第一分束镜(3)设置在扩束镜(2)后侧，第二分束镜(4)对应第一分束镜(3)设置，压电陶瓷驱动器(9)与第二分束镜(4)之间设置有光电探测器(7)，参考镜(8)设置在压电陶瓷驱动器(9)与第一分束镜(3)之间，光电探测器(7)和压电陶瓷驱动器(9)之间设置反馈信号发射器(12)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：林燕彬，
申请(专利权)人：林燕彬，
类型：新型
国别省市：福建;35
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