【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种用探测器探测外界振动引起的条纹移动或者光强变化的干涉仪，尤其涉及一种机电反馈控制移相干涉仪，属于干涉仪领域。
技术介绍
移相干涉术是以光波波长为单位的非接触式测量技术，具有极高的测量精度和灵敏度，被认为是检测精密元件的最准确技术之一。早在200多年前，人们就注意到了了光的干涉现象，并开始有计划的控制干涉现象。但是直到1960年第一台红宝石激光器的研制成功，干涉现象才开始广泛应用于测量领域。传统的干涉测量技术主要是通过照相或人眼直接观察干涉条纹，手工计算测量结果的方式进行的，效率低下，主观误差较大。1974年Bruning等人首次将通讯领域中的相位探测技术引入到光学测量中，使经典的干涉测量技术从微米级跨入纳米级，实现光学计量测试的重大突破。80年代以来，随着激光技术、光电探测技术、计算机技术、图像处理技术和精密机械等技术在光学测试中的逐步应用，移相干涉技术得到进一步发展，实现了实时、快速、多参数、自动化的测量。传统的移相干涉通常时间移相法，利用PZT的压电特性推动移相元件匀速移动，实现干涉图的等间隔相移。在此期间，环境振动、空气扰动等因素都会影响移相步长的精度，降低移相干涉仪的测量精度。普通实验条件下，干涉仪通常放置于光学平台上，此时其固有频率较低，低频的环境振动对应的幅值比较大，这些低频大振幅的振动会使干涉图图像模糊，严重影响干涉图的对比度，明显降低系统的测量精度。
技术实现思路
为...
【技术保护点】
一种机电反馈控制移相干涉仪，其特征在于：所述机电反馈控制移相干涉仪主要包括激光器(1)、扩束系统(2)、多个分束镜、CCD(6)、参考镜(8)和压电陶瓷驱动器(9)，其中，多个分束镜包括第一分束镜(3)和第二分束镜(4)，第一分束镜(3)设置在扩束系统(2)后侧，第二分束镜(4)对应第一分束镜(3)设置，被测件(11)设置在第一分束镜(3)后侧。
【技术特征摘要】
1.一种机电反馈控制移相干涉仪，其特征在于：所述机电反馈控制移相干
涉仪主要包括激光器(1)、扩束系统(2)、多个分束镜、CCD(6)、参考镜
(8)和压电陶瓷驱动器(9)，其中，多个分束镜包括第一分束镜(3)和第二
分束镜(4)，第一分束镜(3)设置在扩束系统(2)后侧，第二分束镜(4)
对应第一分束镜(3)设置，被测件(11)设置在第一分束镜(3)后侧。
2.根据权利要求1所述的机电反馈控制移相干涉仪，其特征在于：所述扩
束系统(2)由多个透镜构成。
3.根据权利要求1所述的机电反馈控制移...
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