本发明专利技术公开一种密封对接装置，用于第一装置和第二装置的密封对接，其特征在于，包括设在安装支架上的旋转把手、两组曲柄滑块串联组件、钢丝绳、密封腔围板和弹性部件，每组曲柄滑块串联组件包括第一曲柄滑块机构，两组曲柄滑块串联组件通过旋转把手相连，旋转把手和两组曲柄滑块串联组件位于安装支架一侧，密封腔围板位于安装支架内部，钢丝绳一端固定在第一曲柄滑块机构上，另一端与弹性部件连接，通过旋转所述旋转把手使得第一曲柄滑块机构运动从而改变钢丝绳对弹性部件的拉力，从而控制密封腔围板从安装支架另一侧伸出或收回，使得密封腔围板两侧的第一装置和第二装置通过密封腔围板密封对接。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种集成电路装备制造领域，尤其涉及一种密封对接装置。
技术介绍
在半导体制造过程中，芯片的形成往往需要几十道工序才能最终完成。一般情况下，不同的工序需要不同的设备来进行加工，因此，一块芯片的形成需要很多不同的设备来完成。在硅片上进行多道工艺最终形成需要的芯片，而硅片对外部环境要求非常高，特别是硅片在不同的设备之间进行交换的时候，硅片往往暴露在设备环境之外，因此，要求不同设备之间的交换空间的环境必须保持良好，其中环境参数包括有温度、压力，空气洁净度等。在芯片的加工过程中，芯片表面图案的形成是加工的核心，也是对环境要求最高的。芯片表面图案的形成通过光刻机进行刻蚀。硅片在刻蚀之前需要用涂胶显影机进行涂胶，当硅片涂胶完成之后，需要把涂好胶的硅片传输到光刻机内进行图案的刻蚀，当图案刻蚀完成之后还需要把硅片从光刻机传送到涂胶显影机内进行显影处理。硅片在涂胶显影机和光刻机之间进行传送的过程中需要防止环境对硅片的污染。当光刻机和涂胶显影设备的体积都很庞大时，例如193nm Scanner光刻机和90nm工艺节点涂胶显影设备(TRACK)。针对不同的工艺要求，两个设备的要求也是不一样的，因此，这两个设备是分离开的，如图1为大型涂胶显影设备2、大型扫描光刻机1和密封对接装置3的位置示意图，其中S为两个大型设备之间的距离。在相互分离的设备之间进行硅片传送，同时需要防止环境对硅片的污染。因此，如何完成两个大型设备的密封对接以保证硅片与外界环境隔离成为关键的问题。此外，由于两大型设备在安装的过程中可能出现安装误差，因此，在两大型设备实现对接的过程中，如何补偿安装误差成为亟待解决的问题。
技术实现思路
为了克服现有技术中存在的缺陷，本专利技术提供满足密封对接的装置，在相互分离的设备之间进行密封对接和物料传送。为了实现上述专利技术目的，本专利技术公开一种密封对接装置，用于第一装置和第二装置的密封对接，其特征在于，包括设在安装支架上的旋转把手、两组曲柄滑块串联组件、钢丝绳、密封腔围板和弹性部件，每组曲柄滑块串联组件包括第一曲柄滑块机构，两组曲柄滑块串联组件通过旋转把手相连，旋转把手和两组曲柄滑块串联组件位于安装支架一侧，密封腔围板位于安装支架内部，钢丝绳一端固定在第一曲柄滑块机构上，另一端与弹性部件连接，通过旋转所述旋转把手使得第一曲柄滑块机构运动从而改变钢丝绳对弹性部件的拉力，从而控制密封腔围板从安装支架另一侧伸出或收回，使得密封腔围板两侧的第一装置和第二装置通过密封腔围板密封对接。更进一步地，第一曲柄滑块机构包括曲柄、连杆、第一滑块和滑槽，第一滑块位于滑槽内，曲柄通过连杆与滑槽连接，通过旋转把手旋转带动曲柄上下运动，曲柄通过连杆带动滑槽相对第一滑块上下运动，从而改变钢丝绳对弹性部件的拉力。更进一步地，密封腔围板上还安装一气囊，气囊围绕密封腔围板的端部设置。更进一步地，钢丝绳一端穿过第一滑块并通过钢丝绳端部固定件固定在滑槽下端。更进一步地，安装支架还设有密封门和交接片窗口，每组曲柄滑块串联组件由所述第一曲柄滑块机构和第二曲柄滑块机构串联而成，密封门与第二曲柄滑块机构连接，所述旋转把手继续旋转使得第一曲柄滑块机构带动第二曲柄滑块机构运动，从而带动密封门相对交接片窗口上下运动，使得第一装置和第二装置通过交接片窗口进行物料的交接。更进一步地，第二曲柄滑块机构包括滑轨、第二滑块和密封门连接件，第二滑块位于滑轨内，密封门通过密封门连接件与第二滑块连接，所述第二滑块与滑槽连接，旋转所述旋转把手使得滑槽可带动第二滑块在滑轨内运动，从而带动所述密封门相对交接片窗口上下运动。更进一步地，交接片窗口数量为两个，分别用于上片和下片。更进一步地，对接装置还包括上片台和下片台。更进一步地，所述钢丝绳为两条，所述弹性部件为分别位于所述密封腔围板四角的四个弹片，每条钢丝绳控制两个弹片。更进一步地，第一装置与第二装置分别为光刻设备和涂胶显影设备。本专利技术还公开了一种采用上述的密封对接装置的密封对接方法，其特征在于，包括以下步骤: 步骤一:将密封对接装置通过接口与第一装置或者第二装置固定； 步骤二:通过旋转旋转把手，带动第一曲柄滑块机构向上运动，减小钢丝绳对弹性部件的拉力，从而使得密封腔围板从安装支架另一侧伸出，第一装置与第二装置通过密封腔围板密封对接； 步骤三；继续旋转旋转把手，通过第一曲柄滑块机构带动第二曲柄滑块机构向上运动，第二曲柄滑块机构带动密封门向上运动，直至密封门完全不覆盖交接片窗口 ； 步骤四:第一装置和第二装置通过交接片窗口进行物料的交接； 步骤五:反向旋转旋转把手，通过第一曲柄滑块机构带动第二曲柄滑块机构向下运动，第二曲柄滑块机构带动密封门向下运动直至密封门完全覆盖交接片窗口 ； 步骤六:继续反向旋转旋转把手，带动第一曲柄滑块机构向下运动，增大钢丝绳对弹性部件的拉力，从而使得密封腔围板从安装支架另一侧收回。更进一步地，第一装置与第二装置分别为光刻设备和涂胶显影设备。更进一步地，交接片窗口数量为两个并分别用于上片和下片，密封对接装置还包括上片台和下片台，步骤四具体为光刻设备的机械手伸入交接窗口将上片台上的已涂胶显影的基底取走，再将待涂胶显影的基底放在下片台上。与现有技术相比较，本专利技术所提供的对接装置在离线状态和对接过程中，能够在实现光刻机自身密封的同时，采用机械方式实现光刻机和涂胶显影设备密封对接，而且光刻机自身密封和密封对接的两种机械传动机构实现串联，既结构简单又简化流程，避免了设备大型化带来的对接不便的问题，同时通过密封腔围板和密封门实现密封条件下对接，能极大地减少杂质等污染的引入，确保了各项精度指标。【附图说明】关于本专利技术的优点与精神可以通过以下的专利技术详述及所附图式得到进一步的了解。图1是本专利技术所涉及的对接装置的位置示意图； 图2是本专利技术所涉及的对接装置的结构示意图； 图3是本专利技术所涉及的对接装置的密封对接前机构状态示意图； 图4是图3的局部放大图； 图5是本专利技术所涉及的对接装置的密封对接前密封腔处于收缩状态示意图； 图6是本专利技术所涉及的对接装置的密封对接时密封腔处于伸开状态示意图； 图7是本专利技术所涉及的对接装置的密封对接后密封门处于最低位的示意图； 图8是本专利技术所涉及的对接装置的密封对接后密封门处于上升过程示意图； 图9是本专利技术所涉及的对接装置的密封对接后密封门处于最高位的示意图。【具体实施方式】下面结合附图详细说明本专利技术的一种具体实施例的光刻机和涂胶显影设备的对接装置。然而，应当将本专利技术理解成并不局限于以下描述的这种实施方式，并且本专利技术的技术理念可以与其他公知技术或功能与那些公知技术相同的其他技术组合实施。在以下描述中，为了清楚展示本专利技术的结构及工作方式，将借助诸多方向性词语进行描述，但是应当将“前”、“后”、“左”、“右”、“外”、“内”、“向外”、“向内”、“上”、“下”等词语理解为方便用语，而不应当理解为限定性词语。此外，在以下描述中所使用的“X向”一词主要指与水平向平行的方向；“Y向”一词主要指与水平向平行，且与X向垂直的方向'“τ向”一词主要指与水平向垂直，且与χ、γ向均垂直的方向。如图1至图9所示，本专利技术保护一种密封对接装置3，用于第一装置1和第二装置2的密封对接，包括设在安装支本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种密封对接装置，用于第一装置和第二装置的密封对接，其特征在于，包括设在安装支架上的旋转把手、两组曲柄滑块串联组件、钢丝绳、密封腔围板和弹性部件，每组曲柄滑块串联组件包括第一曲柄滑块机构，两组曲柄滑块串联组件通过旋转把手相连，旋转把手和两组曲柄滑块串联组件位于安装支架一侧，密封腔围板位于安装支架内部，钢丝绳一端固定在第一曲柄滑块机构上，另一端与弹性部件连接，通过旋转所述旋转把手使得第一曲柄滑块机构运动从而改变钢丝绳对弹性部件的拉力，从而控制密封腔围板从安装支架另一侧伸出或收回，使得密封腔围板两侧的第一装置和第二装置通过密封腔围板密封对接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王刚，王邵玉，姜杰，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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