一种在FPGA中实现直写式光刻机数据倾斜的方法技术

本发明专利技术公开了一种在FPGA中实现直写式光刻机数据倾斜的方法，先根据倾斜控制字K对数据进行提取分组，然后再对分组后的数据并行进行Y方向上的倾斜处理，并将倾斜处理后的数据送入DDR2进行缓存，实现不同速度的调整，避免出现因速度不匹配造成的数据丢失；最后，将DDR2中的数据读出进行X方向上的倾斜处理，完成了数据的倾斜处理，经处理后的数据满足了图形发生器可接收的数据的要求，能够被其接收，可将倾斜式曝光中的各种图形数据经处理后都能够成为图形发生器可接收的数据，实现了正确的数据曝光。使用FPGA内部的RAM和数字逻辑电路，实现了对数据倾斜的流水线操作，增强了数据处理能力及缩短了数据处理时间。

【技术实现步骤摘要】
一种在FPGA中实现直写式光刻机数据倾斜的方法
本专利技术涉及一种直写式光刻机数据倾斜的方法，具体是一种在FPGA中实现直写式光刻机数据倾斜的方法，属于直写式光刻机数据处理领域。
技术介绍
在半导体及PCB的生产领域，不同于传统半自动曝光设备的直写式光刻机作为一个关键设备，又被称为影像直接转移设备，是利用图形发生器取代传统光刻机的掩模板，可以直接将计算机的图形数据曝光到晶圆或PCB板上，节省了制板时间和制作掩模板的费用，并且自身也可用做掩模板的制作。倾斜式曝光是指使图形发生器与待曝光平面沿其扫描方向(Y方向)旋转一定角度，再配合光学成像技术，使其达到减小网格精度的技术，以此来实现制作更小线宽的硬件电路，同时可显著提高设备的产能。目前，数字微镜芯片(简称DMD)作为大多数直写式光刻机常用的图形发生器，在倾斜式曝光过程中，实际数据的一行不再单单对应着DMD的一行微镜，而是根据倾斜控制字K，对应着DMD的K行镜片，即采用K行DMD微镜镜片实现真实数据的一行曝光；故在利用DMD进行曝光之前，需要对真实数据进行相应的倾斜处理。
技术实现思路
针对上述现有技术存在的问题，本专利技术提供一种在FPGA本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在FPGA中实现直写式光刻机数据倾斜的方法，其特征在于，数据倾斜的步骤如下：(1)首先将每行数据按照每列及倾斜控制字K进行提取分组，即将数据每隔K列挑出一列放在一起组成一组，共K组；(2)将步骤(1)得到的各组数据分别送入并行的倾斜模块进行Y方向上的倾斜处理，每组数据中的每列数据依次向下移位一个像素，各组数据之间依次向下移位K个像素，因向下移位所空缺出来的数据位由寄存器的初始化值进行补充；处理后生成的数据送入DDR2进行缓存；(3)最后，将DDR2中存储的数据读出，并进行X方向上的倾斜，即根据倾斜控制字K将数据在X方向上每K行错位一列，因错位所空缺出来的数据位由寄存器的初始化值进行补充，倾...

【技术特征摘要】
1.一种在FPGA中实现直写式光刻机数据倾斜的方法，其特征在于，数据倾斜的步骤如下：(1)首先将每行数据按照每列及倾斜控制字K进行提取分组，即将数据每隔K列挑出一列放在一起组成一组，共K组；(2)将步骤(1)得到的各组数据分别送入并行的倾斜模块进行Y方向上的倾斜处理，每组数据中的每列数据依次向下移位一个像素，各组数据之间依次向下移位K个像素，因向下移位所空缺出来的数据位由寄存器的初始化值进行补充；处理后生成...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹旸，李阳，
申请(专利权)人：江苏影速光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32