一种光刻胶吹涂装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种光刻胶吹涂装置。所述装置包括两套二维直线驱动机组、水平方向直线运动轴、垂直方向直线运动轴，还包括旋转电机、挤胶机构、滴胶器、偏转电机、压缩空气喷嘴、空压机组、溶胶池。其中一套二维直线驱动机组驱动水平和垂直方向的运动轴，使滴胶器位于工件上方，旋转电机驱动挤胶机构向工件表面滴胶，另一套二维直线驱动机组采用相同方法驱动压缩空气喷嘴至工件上方，开启空压机组向胶层表面吹送压缩空气，通过偏转电机转动压缩空气喷嘴调整气流方向，通过减压阀调节出口压力。本实用新型专利技术的装置适用于向工件表面滴光刻胶，以及通过吹送压缩空气进行胶层厚度控制。本实用新型专利技术能够实现平面、复杂曲面的光刻胶涂覆，功能强、应用范围广。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于光刻胶涂覆领域，具体涉及一种光刻胶吹涂装置。
技术介绍
在光刻胶涂覆领域，普遍采取甩胶机进行光刻胶涂覆，该类装置需将基底装夹在甩胶机的旋转主轴上，并在基底上放入适量光刻胶，开启甩胶机后产生绕中心的高速旋转，利用旋转轴产生的离心力在基底上均匀涂覆一层光刻胶。这种传统的甩胶设备适用于平面工艺，针对具有复杂曲面结构的三维基底，由于基底各处胶层所受力的大小、方向不一致，传统的甩胶机不能实现光刻胶的均匀涂覆，限制了光刻工艺在具有复杂曲面三维结构方面的使用。
技术实现思路
为了实现具有复杂曲面结构三维基底的均匀涂胶，同时也适用于平面基底的光刻胶涂覆，本技术提供一种光刻胶吹涂装置。本技术解决其技术问题所采取的技术方案是:本技术的光刻胶吹涂装置，其特点是，所述的装置含有滴胶平台二维直线驱动机组、滴胶平台水平方向直线运动轴、滴胶平台垂直方向直线运动轴、旋转电机、挤胶机构、滴胶器、吹气平台二维直线驱动机组、吹气平台水平方向直线运动轴、吹气平台垂直方向直线运动轴、气管、减压阀、压缩空气喷嘴、偏转电机、空压机组、容胶池、底座，其中，挤胶机构包括拉杆、应变片。其连接关系是，所述的底座外形为凹状，底座两方凸出的部分对称设置。底座凸出的一方依次设置有与底座底面平行的滴胶平台水平方向直线运动轴、滴胶平台垂直方向直线运动轴，所述的滴胶平台水平方向直线运动轴、滴胶平台垂直方向直线运动轴外侧与滴胶平台二维直线驱动机组的齿轮连接，其中滴胶平台二维直线驱动机组由电机、轴承和齿轮组成，滴胶平台水平方向直线运动轴的中心轴设置有拉杆，拉杆的顶端连接有应变片，滴胶器嵌入在滴胶平台水平方向直线运动轴的内侧端头。在滴胶平台水平方向直线运动轴上设置有用于驱动拉杆的旋转电机。底座凸出的另一方依次设置有与底座底面平行的吹气平台水平方向直线运动轴、吹气平台垂直方向直线运动轴，吹气平台水平方向直线运动轴、吹气平台垂直方向直线运动轴的外侧与吹气平台二维直线驱动机组的齿轮连接，其中吹气平台二维直线驱动机组由电机、轴承和齿轮组成，吹气平台水平方向直线运动轴的内侧端头设有压缩空气喷嘴，压缩空气喷嘴的上方与偏转电机固定连接，下方设置有减压阀。所述的吹气平台水平方向直线运动轴与滴胶平台水平方向直线运动轴对应设置，端头相对。所述的空压机组设置在底座内，空压机组通过气管与压缩空气喷嘴连接。在底座的凹处设置有容胶池，容胶池为“W”型结构，容胶池中心设置有用于安装工件的凸起部分，容胶池内四周设置有用于收集散落光刻胶的凹陷处。所述的滴胶平台水平方向直线运动轴、吹气平台水平方向直线运动轴、拉杆为同轴心设置。本技术中的滴胶器向工件表面滴涂光刻胶，压缩空气喷嘴向光刻胶表面吹送压缩空气，控制胶层厚度。滴胶平台二维直线驱动机组驱动其带动滴胶器运动至目标位置。旋转电机驱动挤胶机构沿水平方向运动，带动挤胶机构末端挤压滴胶器外部，挤出储存在滴胶器内部的光刻胶，滴落在工件表面。吹气平台二维直线驱动机组驱动其带动压缩空气喷嘴运动至目标位置。偏转电机驱动压缩空气喷嘴转动，调节出风口的方向。气管连接空压机组和压缩空气喷嘴，设置在压缩空气喷嘴上的减压阀调节出风口的空气压力。本技术中的滴胶器进行工件表面的滴胶，其中滴胶平台二维直线驱动机组驱动滴胶平台水平方向直线运行轴、滴胶平台垂直方向直线运动轴在两个方向上运动，带动滴胶器到达指定区域，滴胶器由软材料制成，内部储存光刻胶，顶部加盖密封，下部开孔，挤胶机构压缩滴胶器外部，光刻胶沿滴胶器下部通孔处滴落，使工件表面覆盖一层光刻胶。通过滴胶器涂覆在工件表面的光刻胶厚度存在不均匀分布，厚度的不均匀分布通过向胶层表面吹送压缩空气进行解决。由吹气平台二维直线驱动机组驱动吹气平台水平方向直线运动轴、吹气平台垂直方向直线运动轴，带动压缩空气喷嘴到指定区域，通过气管将空压机组产生的压缩气体导入到压缩空气喷嘴，实现指定区域的压缩气体吹送，并设置偏转电机转动压缩空气喷口调整气流方向，设置与气路连接的减压阀调节出气口的气体压力。本技术能够实现平面、复杂曲面结构三维基底的均匀涂胶，具有功能强、应用范围广等特点。【附图说明】图1为本技术的光刻胶吹涂装置的主视图；图中，1.滴胶平台二维直线驱动机组2.滴胶平台水平方向直线运动轴3.滴胶平台垂直方向直线运动轴4.旋转电机5.拉杆6.滴胶器7.吹气平台二维直线驱动机组8.吹气平台水平方向直线运动轴9.吹气平台垂直方向直线运动轴10.气管11.减压阀12.压缩空气喷嘴13.偏转电机14.空压机组15.容胶池16.底座17.应变片18.工件。【具体实施方式】下面结合附图对本技术作具体描述。实施例1图1为本技术的光刻胶吹涂装置的主视图。在图1中，本技术的光刻胶吹涂装置，含有滴胶平台二维直线驱动机组1、滴胶平台水平方向直线运动轴2、滴胶平台垂直方向直线运动轴3、旋转电机4、挤胶机构、滴胶器6、吹气平台二维直线驱动机组7、吹气平台水平方向直线运动轴8、吹气平台垂直方向直线运动轴9、气管10、减压阀11、压缩空气喷嘴12、偏转电机13、空压机组14、容胶池15、底座16，其中，挤胶机构包括拉杆5、应变片17。其连接关系是，所述的底座16外形为凹状，底座16两方凸出的部分对称设置。底座16凸出的一方依次设置有与底座16底面平行的滴胶平台水平方向直线运动轴2、滴胶平台垂直方向直线运动轴3，所述的滴胶平台水平方向直线运动轴2、滴胶平台垂直方向直线运动轴3外侧与滴胶平台二维直线驱动机组1的齿轮连接，滴胶平台水平方向直线运动轴2的中心轴设置有拉杆5，拉杆5的顶端连接有应变片17，滴胶器6嵌入在滴胶平台水平方向直线运动轴2的内侧端头。在滴胶平台水平方向直线运动轴2上设置有用于驱动拉杆5的旋转电机4。底座16凸出的另一方依次设置有与底座1当前第1页1 2 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光刻胶吹涂装置，其特征在于，所述的装置含有滴胶平台二维直线驱动机组（1）、滴胶平台水平方向直线运动轴（2）、滴胶平台垂直方向直线运动轴（3）、旋转电机（4）、挤胶机构、滴胶器（6）、吹气平台二维直线驱动机组（7）、吹气平台水平方向直线运动轴（8）、吹气平台垂直方向直线运动轴（9）、气管（10）、减压阀（11）、压缩空气喷嘴（12）、偏转电机（13）、空压机组（14）、容胶池（15）、底座（16），其中，挤胶机构包括拉杆（5）、应变片（17）；其连接关系是，所述的底座（16）外形为凹状，底座（16）两方凸出的部分对称设置；底座（16）凸出的一方依次设置有与底座（16）底面平行的滴胶平台水平方向直线运动轴（2）、滴胶平台垂直方向直线运动轴（3），所述的滴胶平台水平方向直线运动轴（2）、滴胶平台垂直方向直线运动轴（3）外侧与滴胶平台二维直线驱动机组（1）连接，滴胶平台水平方向直线运动轴（2）的中心轴设置有拉杆（5），拉杆（5）的顶端连接有应变片（17），滴胶器（6）嵌入在滴胶平台水平方向直线运动轴（2）的内侧端头；在滴胶平台水平方向直线运动轴（2）上设置有用于驱动拉杆（5）的旋转电机（4）；底座（16）凸出的另一方依次设置有与底座（16）底面平行的吹气平台水平方向直线运动轴（8）、吹气平台垂直方向直线运动轴（9），吹气平台水平方向直线运动轴（8）、吹气平台垂直方向直线运动轴（9）的外侧与吹气平台二维直线驱动机组（7）连接，吹气平台水平方向直线运动轴（8）的内侧端头设有压缩空气喷嘴（12），压缩空气喷嘴（12）的上方与偏转电机（13）固定连接，下方设置有减压阀（11）；所述的吹气平台水平方向直线运动轴（8）与滴胶平台水平方向直线运动轴（2）对应设置，端头相对；所述的空压机组（14）设置在底座（16）内，空压机组（14）通过气管（10）与压缩空气喷嘴（12）连接；在底座（16）的凹处设置有容胶池（15），容胶池（15）为“W”型结构，容胶池（15）中心设置有用于安装工件（18）的凸起部分，容胶池（15）内四周设置有用于收集散落光刻胶的凹陷处。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋柏斌，袁光辉，杨洪，魏胜，谢军，杜凯，任伟，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：新型
国别省市：四川;51