薄膜晶体管基板、包括其的显示面板及其制造方法技术

薄膜晶体管基板、包括其的显示面板及其制造方法。一种电子显示面板包括：塑料基板；位于所述基板上的第一缓冲层；位于所述缓冲层上的底部屏蔽金属BSM；以及位于所述BSM上并且在选通线和数据线的交叉处的像素区域中的薄膜晶体管TFT，所述TFT包括与所述BSM交叠的有源层、第一电极和第二电极。所述BSM可连接到所述第一电极和所述第二电极中的一个。所述TFT可包括所述BSM与第一栅极端子和第二栅极端子中的至少一个交叠的第一栅极端子和第二栅极端子。所述像素区域可包括像素驱动电路，该像素驱动电路包括多个组件互连节点，其中，第二底部屏蔽金属与能够浮动的节点交叠。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及薄膜晶体管(TFT)基板，并且具体地，涉及包括形成在塑料基板上的TFT的TFT基板、包括该TFT基板的显示面板以及制造该TFT基板的方法。
技术介绍
随着时代进入信息导向社会，具有良好特性(例如薄、重量轻、功耗低)的平板显示(FPD)装置越来越重要。FH)装置的示例包括液晶显示(LCD)装置、等离子体显示面板(PDP)、有机发光显示装置等。近年来，作为一种FPD装置，电泳显示(EPD)装置正被广泛使用。显示装置中的使用的显示面板利用玻璃载体、石英基板等来制造。然而，上述基板容易破裂并且沉重。因此，玻璃载体和石英基板不适于制造柔性显示装置。因此，将在具有柔性的基板(例如，柔性塑料)上形成TFT的方法应用于制造柔性显示装置。TFT被广泛用作显示面板(例如，液晶面板或有机发光显示面板)中的开关元件。因此，形成有TFT的TFT基板是针对显示装置构造的显示面板的基本元件。顺便指出，正在积极进行针对柔性显示面板的最新研究。柔性显示面板需要能够被折弯或弯曲。因此，采用例如聚酰亚胺(PI)的聚合材料(即，塑料)代替玻璃作为TFT基板的材料。图1是用于描述现有技术的有机发光显示面板的像素结构的电路图。如图1所示，现有技术的有机发光显示面板的像素P包括有机发光二极管(0LED)、开关晶体管Tsw、驱动晶体管Tdr以及电容器Cst。在图1中，开关晶体管Tsw和驱动晶体管Tdr被实现为N型，但不限于此。例如，开关晶体管Tsw和驱动晶体管Tdr可被实现为P型。开关晶体管和驱动晶体管中的每一个利用TFT来构造。图2是现有技术的柔性有机发光显示面板的一个像素的截面图。如图2所示，在现有技术的柔性有机发光显示面板中，由塑料形成的下基板10附接到辅助基板A。与驱动晶体管Tdr连接的有机发光二极管(0LED)形成在下基板10上。辅助基板A包括玻璃载体80和牺牲层85。通过激光释放工艺，辅助基板A与形成有0LED的下基板10分离。
技术实现思路
因此，本专利技术致力于提供一种TFT基板、包括该TFT基板的显示面板以及制造该TFT基板的方法，其基本上消除了由于现有技术的局限和缺点而导致的一个或更多个问题。本专利技术的一个方面致力于提供一种包括设置有底部屏蔽金属(BSM)的缓冲区的TFT基板、包括该TFT基板的显示面板以及制造该TFT基板的方法。在本专利技术的一个方面中，一种电子显示面板包括:塑料基板；位于所述塑料基板上的第一缓冲层；位于所述第一缓冲层上的底部屏蔽金属(BSM);以及位于所述BSM上以及选通线和数据线的交叉处的像素区域中的薄膜晶体管(TFT)，该TFT包括第一电极、第二电极以及与所述BSM交叠的有源层，其中，所述BSM连接到所述第一电极和所述第二电极中的一个。在本专利技术的另一方面中，一种电子显示面板包括:塑料基板；位于所述塑料基板上的第一缓冲层；位于所述第一缓冲层上的第一底部屏蔽金属(BSM)和第二底部屏蔽金属(BSM);位于所述第一 BSM和所述第二 BSM上并且覆盖所述第一 BSM和所述第二 BSM的有源缓冲层；位于所述有源缓冲层上的TFT的第一沟道和第二沟道；位于所述第一沟道和所述第二沟道上的栅绝缘层；以及位于所述栅绝缘层上的所述TFT的第一栅极端子和第二栅极端子，所述TFT位于选通线和数据线的交叉处的像素区域中，其中，所述第一底部屏蔽金属与所述第一栅极端子和所述第二栅极端子中的至少一个交叠。在本专利技术的另一方面中，一种电子显示面板包括:塑料基板；位于所述基板上的第一缓冲层；位于所述缓冲层上的第一底部屏蔽金属(BSM);位于有源缓冲层上的有源层；位于所述有源层上的栅绝缘层；位于选通线和数据线的交叉处的像素区域中的所述第一底部屏蔽金属上的TFT;以及位于包括多个TFT和多个组件互连节点的所述像素区域中的像素驱动电路，其中，第二底部屏蔽金属与能够浮动的节点交叠。本专利技术的附加特征和优点将在以下描述中部分地阐述，并且对于阅读下文的本领域普通技术人员而言显而易见，或者可通过本专利技术的实践来学习。本专利技术的目的和其它优点将通过在所撰写的说明书及其权利要求书和附图中特别指出的结构来实现和达到。应当理解，本专利技术的以上总体描述和以下具体描述二者均是示例性和说明性的，并且旨在提供对要求保护的本专利技术的进一步说明。附记1、一种电子显不面板，该电子显不面板包括:塑料基板；位于所述塑料基板上的底部屏蔽金属BSM ; 位于所述BSM上的薄膜晶体管TFT，所述TFT和所述BSM被设置为彼此至少部分地交叠；以及插置在所述TFT和所述BSM之间的有源缓冲层，其中，所述BSM连接到所述TFT的栅极、源极和漏极中的一个。附记2、根据附记1所述的电子显示面板，其中，所述BSM上的所述TFT是所述塑料基板的多个开关TFT中的一个，并且其中，所述BSM的长度小于所述TFT的栅极的长度。附记3、根据附记1所述的电子显示面板，其中，所述TFT的有源层包括多个掺杂区以及位于所述掺杂区之间且掺杂浓度低于所述掺杂区的沟道，其中，所述沟道的长度大于所述BSM的长度，并且其中，所述沟道的长度覆盖所述BSM的整个长度。附记4、根据附记3所述的电子显示面板，其中，所述掺杂区中的每一个包括多个低浓度掺杂部分和在相应掺杂区中比所述低浓度掺杂部分更加远离所述沟道的多个高浓度掺杂部分，其中，所述BSM与所述低浓度掺杂部分中的至少一个的整个部分交叠，并且其中，所述BSM与所述高浓度掺杂部分中的至少一个部分地交叠。附记5、根据附记1所述的电子显示面板，其中，所述BSM上的所述TFT是所述塑料基板的驱动TFT，并且其中，所述BSM的长度等于或大于所述TFT的栅极的长度。附记6、根据附记1所述的电子显示面板，其中，所述TFT的有源层包括多个掺杂区以及位于所述掺杂区之间且掺杂浓度低于所述掺杂区的沟道，其中，所述沟道的长度等于或短于所述BSM的长度，并且其中，所述BSM的长度覆盖所述沟道的整个长度。附记7、根据附记6所述的电子显示面板，其中，所述掺杂区中的每一个包括多个低浓度掺杂部分和在相应掺杂区中比所述低浓度掺杂部分更加远离所述沟道的多个高浓度掺杂部分，其中，所述BSM与所述低浓度掺杂部分中的至少一个部分地交叠。附记8、根据附记1所述的电子显示面板，其中，所述TFT和所述BSM被设置为彼此不对称地交叠，并且所述TFT是所述塑料基板的多个开关TFT中的一个。 附记9、根据附记1所述的电子显示面板，其中，所述TFT是将栅极分支为第一栅极端子和第二栅极端子的双栅TFT，构造有所述沟道的所述TFT被设置有与所述第一栅极端子对应的第一沟道以及与所述第二栅极端子对应的第二沟道，其中，所述BSM被设置在所述第一沟道和所述第二沟道中的至少一个的下方。附记10、根据附记9所述的电子显示面板，其中，所述BSM与所述第一沟道和所述第二沟道中的任一个交叠，其中，所述第一沟道和所述第二沟道中的所述任一个的长度等于或短于所述BSM的长度，并且其中，所述BSM的长度覆盖所述第一沟道和所述第二沟道中的所述任一个的整个长度，并且其中，所述BSM上的所述TFT是所述塑料基板的驱动TFT。附记11、根据附记10所述的电子显示面板，其中，所述BSM更靠近所述TFT的漏极而非所述TFT的源极。附记12、根据附记9所述的电子显示面本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子显示面板，该电子显示面板包括：塑料基板；位于所述塑料基板上的底部屏蔽金属BSM；位于所述BSM上的薄膜晶体管TFT，所述TFT和所述BSM被设置为彼此至少部分地交叠；以及插置在所述TFT和所述BSM之间的有源缓冲层，其中，所述BSM连接到所述TFT的栅极、源极和漏极中的一个。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：李定忞，柳俊锡，李志瑙，朴宰秀，姜昌宪，高皓煐，金秀泓，洪成基，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR