一种节约能耗的大台面曝光机制造技术

技术编号:12772451 阅读:105 留言:0更新日期:2016-01-23 14:53
本实用新型专利技术公开了一种节约能耗的大台面曝光机,它包括放板台(1)、曝光室(2)、输送导轨(3)、曝光平台(4)和曝光灯(5),曝光平台(4)包括透光平台座(6)和翻转盖(7),翻转盖(7)安装在透光平台座(6)上,翻转盖(7)内设置有层挡光膜(8),曝光室(2)内水平设置有伸缩气缸(9),伸缩气缸(9)的活塞杆与曝光平台(4)连接,曝光室(2)内设置有灯光罩(10),曝光灯(5)安装在灯光罩(10)内,灯光罩(10)下方设置有风机(12),灯光罩(10)内设置有温度传感器(13),温度传感器(13)与风机(12)电性连接。本实用新型专利技术的有益效果是:它具有结构简单、适用于大尺寸电路板曝光和曝光效果好的优点。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及曝光机,特别是一种节约能耗的大台面曝光机
技术介绍
曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备,70年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业,是在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光,它常用于半导体制造,光电电子,平板,射频微波,衍射光学,微机电系统,凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制领域。在电路板板加工过程中,需要对电路板进行曝光,而目前最常用的曝光方式就是采用曝光机曝光,但是现有的曝光机曝光的尺寸较小,不适用于大尺寸的电路板曝光,若将现有的曝光机对大尺寸的电路板进行曝光,其曝光的效果极差,电路板的曝光面曝光不均匀,特别是电路板边缘地带的曝光效果极差,而且由于曝光室内的温度在光照的作用下,会持续升温,曝光灯极易损坏,从而影响电路板的曝光质量。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的缺点,提供一种能耗少、适用于大尺寸电路板曝光和曝光效果好的节约能耗的大台面曝光机。本技术的目的通过以下技术方案来实现:一种节约能耗的大台面曝光机,它包括放板台、曝光室、输送导轨、曝光平台和曝光灯,所述的放板台的台面与曝光室的入口相对应,所述的曝光平台包括透光平台座和翻转盖,所述的翻转盖可转动打开或合上的安装在透光平台座上,所述的翻转盖内设置有一层挡光膜,所述的曝光室内水平设置有一伸缩气缸,伸缩气缸的活塞杆与曝光平台连接,所述的曝光室内设置有一灯光罩,所述的曝光灯安装在灯光罩内,所述的灯光罩下方设置有一风机,灯光罩内设置有一温度传感器,温度传感器与风机电性连接,所述的曝光室的侧壁上开设有栅格板,栅格板上端的水平高度低于灯光罩上端的水平高度。所述的曝光室上方设置有一控制室,控制室内的控制元件控制伸缩气缸。所述的挡光膜为黑色挡光膜。所述的灯光罩上方开口且其截面为弧形。所述的曝光灯为多个,且并排的的设置在灯光罩内。本技术具有以下优点:本技术的节约能耗的大台面曝光机,设置有灯光罩,灯光罩将曝光灯的光源进行反射,放射后的光源形成平行光对电路板的曝光面进行曝光,灯光罩降低了光源的流失,在相同曝光强度下,可以降低曝光灯数量,节约能耗;灯光罩将曝光灯的光源放射,保证了光源直射电路板的曝光面,实现电路板的全方位曝光,提高了电路板的曝光效果;通过灯光罩反射光源,使曝光机适用于大尺寸的电路板曝光,且曝光效果极好;设置有风机和温度传感器,可随时监测曝光室内温度,风机工作,可降低曝光室内的温度,避免曝光灯长期处于高温状态下,从而延长了曝光灯的使用寿命。【附图说明】图1为本技术的结构示意图;图2为本技术的剖视示意图;图3为曝光平台张开示意图;图4为翻转盖俯视示意图;图中,1-放板台,2-曝光室,3-输送导轨,4-曝光平台,5-曝光灯,6_透光平台座,7-翻转盖,8-挡光膜,9-伸缩气缸,10-灯光罩,11-控制室,12-风机,13-温度传感器,14-栅格板。【具体实施方式】下面结合附图对本技术做进一步的描述,本技术的保护范围不局限于以下所述:如图1所示,一种节约能耗的大台面曝光机,它包括放板台1、曝光室2、输送导轨3、曝光平台4和曝光灯5,所述的放板台1的台面与曝光室2的入口相对应,如图3所示,所述的曝光平台4包括透光平台座6和翻转盖7,所述的翻转盖7可转动打开或合上的安装在透光平台座6上,在本实施例中,为保证翻转盖7不漏光,增加电路板的曝光效果,所述的翻转盖7内设置有一层挡光膜8,如图4所示,为进一步地保证翻转盖7不漏光,挡光膜8选用黑色挡光膜,如图2所示,所述的曝光室2内水平设置有一伸缩气缸9,伸缩气缸9的活塞杆与曝光平台4连接,通过伸缩气缸9的活塞杆的来回移动,实现曝光平台4的来回移动,所述的曝光室2内设置有一灯光罩10,所述的曝光灯5安装在灯光罩10内,所述的灯光罩10下方设置有一风机12,灯光罩10内设置有一温度传感器13,温度传感器13与风机12电性连接,温度传感器13检测到的温度过高时,则将信号传递给风机12,风机12工作,加速曝光室2内空气与外界空气的交换,从而降低曝光室2的温度,避免了曝光灯5长期处于高温状态下,延长了曝光灯5的使用寿命,所述的曝光室2的侧壁上开设有栅格板14,栅格板14上端的水平高度低于灯光罩10上端的水平高度,栅格板14主要用于内外空气交换的通道,其上端的水平高度低于灯光罩10上端的水平高度,主要是避免漏光,影响曝光效率,在本实施例中,所述的灯光罩10上方开口且其截面为弧形,曝光灯5为多个,且并排的的设置在灯光罩10内,曝光灯5发出的光源经过灯光罩10的弧形面放射形成平行光,且对电路板进行曝光,降低了光源的流失,增加了光源的强度,在相同曝光强度时,可以节约曝光灯5的数量,降低能耗。通过灯光罩10的反射,保证了光源直射电路板的曝光面,解决了大尺寸电路板曝光不均匀,电路板四周曝光质量不高的问题。在本实施例中为了提高曝光机的自动化,所述的曝光室2上方设置有一控制室11,控制室11内的控制元件控制伸缩气缸9。本技术的工作过程如下:操作人员手动打开曝光平台4,将电路板放置在透光平台座6的固定区域内,然后合上曝光平台4,点动启动按钮,伸缩气缸9运动,将曝光平台4移动到曝光区域,然后伸缩气缸9停止工作,曝光灯5打开,曝光灯5的光源在灯光罩10的反射作用下,降低了光源的流失,增加了光源的强度,保证了光源直射电路板的曝光面,实现电路板的全方位曝光,提高了电路板的曝光效果,曝光完成后,为降低能耗,曝光灯5关闭,伸缩气缸9运动,将曝光平台4移出曝光室2,取出曝光好的电路板,温度传感器13检测到的温度过高时,则将信号传递给风机12,风机12工作,加速曝光室2内空气与外界空气的交换,从而降低曝光室2的温度,避免了曝光灯5长期处于高温状态下,延长了曝光灯5的使用寿命。【主权项】1.一种节约能耗的大台面曝光机,其特征在于:它包括放板台(1)、曝光室(2)、输送导轨(3)、曝光平台(4)和曝光灯(5),所述的放板台(1)的台面与曝光室(2)的入口相对应,所述的曝光平台(4)包括透光平台座(6)和翻转盖(7),所述的翻转盖(7)可转动打开或合上的安装在透光平台座(6)上,所述的翻转盖(7)内设置有一层挡光膜(8),所述的曝光室(2 )内水平设置有一伸缩气缸(9 ),伸缩气缸(9 )的活塞杆与曝光平台(4 )连接,所述的曝光室(2 )内设置有一灯光罩(10 ),所述的曝光灯(5)安装在灯光罩(10)内,所述的灯光罩(10 )下方设置有一风机(12 ),灯光罩(10 )内设置有一温度传感器(13),温度传感器(13)与风机(12)电性连接,所述的曝光室(2)的侧壁上开设有栅格板(14),栅格板(14)上端的水平高度低于灯光罩(10)上端的水平高度。2.根据权利要求1所述的一种节约能耗的大台面曝光机,其特征在于:所述的曝光室(2 )上方设置有一控制室(11),控制室(11)内的控制元件控制伸缩气缸(9 )。3.根据权利要求1所述的一种节约能耗的大台面曝光机,其特征在于:所述的挡光膜(8)为黑色挡光膜。4.根据权利要求1所述的一种节约能耗的大台面曝光机,其特征在于:所述的灯光罩(10)上方开口且其本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种节约能耗的大台面曝光机,其特征在于:它包括放板台(1)、曝光室(2)、输送导轨(3)、曝光平台(4)和曝光灯(5),所述的放板台(1)的台面与曝光室(2)的入口相对应,所述的曝光平台(4)包括透光平台座(6)和翻转盖(7),所述的翻转盖(7)可转动打开或合上的安装在透光平台座(6)上,所述的翻转盖(7)内设置有一层挡光膜(8),所述的曝光室(2)内水平设置有一伸缩气缸(9),伸缩气缸(9)的活塞杆与曝光平台(4)连接,所述的曝光室(2)内设置有一灯光罩(10),所述的曝光灯(5)安装在灯光罩(10)内,所述的灯光罩(10)下方设置有一风机(12),灯光罩(10)内设置有一温度传感器(13),温度传感器(13)与风机(12)电性连接,所述的曝光室(2)的侧壁上开设有栅格板(14),栅格板(14)上端的水平高度低于灯光罩(10)上端的水平高度。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:陈胜燕莫军
申请(专利权)人:遂宁威士凯科技有限公司
类型:新型
国别省市:四川;51

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