【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及，具有向被输送板状体的下面供给洁净空气、以非接触状态对上述板状体进行支持的送风式支持机构的板状体输送装置。
技术介绍
这种板状体输送装置，是为了对诸如液晶用玻璃基板等板状体进行输送而使用的装置。现有的装置，是将板状体以水平或大约水平的状态输送的，因而具有施加输送方向上的推进力的推进力施加机构。推进力施加机构中，具有对板状体的两端进行接触式支持的同时施加推进力的驱动旋转体。对于板状体，在以送风式支持机构对其中部进行支持的状态下，以驱动旋转体对板状体的两端以接触状态进行支持，从而以水平或大约水平的状态进行输送。送风式支持机构这样构成，即，具有沿板状体的输送路径隔开既定间隔设置的多个空气喷出部、以及、包含有压缩泵等的空气供给源，为了能够将来自供给源的空气分配给多个空气喷出部，供给源与空气喷出部之间通过供给管相连，并且，自空气喷出部喷出的压缩空气，向所说板状体的位于两端之间的中部供给，从而对板状体的中部以非接触状态进行支持(例如参照特开2002-321820号公报)。此外，作为将板状体以纵向姿态或与之相接近的姿态进行输送的装置，其施加输送方向上的推进力的...
【技术保护点】
一种板状体输送装置，是具有向被输送板状体的下面供给洁净空气、对所说板状体以非接触状态进行支持的送风式支持机构的板状体输送装置，其特征是，所说送风式支持机构，具有去除尘埃的除尘过滤器、以及、经该除尘过滤器向所说板状体的下面供给洁净空气 的送风机构。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：森屋进，村山繁人，森本雄一，池畑淑照，大野隆佳，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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