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属于具有向被输送的板状体（２）的下面供给洁净空气、对板状体以非接触状态进行支持的送风式支持机构（１２）、（１３）的板状体输送装置，送风式支持机构（１２）、（１３），具有去除尘埃的除尘过滤器（１２）、以及、经该除尘过滤器（１２）向板状体（２）...
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