平板状搬运物的搬运方法及其装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供平板状搬运物的搬运方法及其装置，能够使叉子等保持部小型化，并且，将与平板状搬运部的接触抑制得更少，同时，将由自身重量引起的平板状搬运物的挠曲抑制得更小，由此，能够可靠地进行搬运。平板状搬运物（１７）通过由衬垫（１８）以及吸附部（１９）构成的保持部保持。衬垫（１８）与平板状搬运物（１７）的下表面抵接来对其进行支承。吸附部（１９）配置在衬垫（１８）之间，并且，在吸附状态时，将高度设定得比衬垫（１８）低，真空吸附平板状搬运物（１７）的下表面。由此，平板状搬运物（１７）被强制弯曲，减少沿弯曲的山或／和谷方向的挠曲量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于搬运液晶面板用玻璃基板等平板状搬运物的方法以及装置，尤其涉及将平板状搬运物近似水平放置，并保持其下表面或上表面来进行搬运的平板状搬运物的搬运方法及其装置。
技术介绍
这种平板状搬运物一般收纳在多层托盘中，通过机械手等搬运装置依次搬运到处理装置上，在被处理装置实施处理之后，再次返回到托盘中。该平板状搬运物的搬运，多使用由特开平11-322069号公报所公开的叉子状指状物(finger)构成的保持部来进行。在搬运物具有大型液晶面板用玻璃基板那样的大面积，且厚度薄的情况下，由于其自身重量使得挠曲量变大，存在着难以向以狭窄的上下间隔构成各层的托盘进行搬运等问题，所以，如上述特开平11-322069号公报所公开那样，需要叉子状指状物形成为可保持平板状搬运物的大致整个区域的大小。专利文献1特开平11-322069号公报但是，如果载置平板状搬运物的指状物等较大，则机械手等搬运装置的搬运载荷变大，难以快速正确地进行位置控制，从而，存在导致搬运装置大型化等问题。而且，为了避免污染，优选在搬运时尽量抑制液晶面板用玻璃基板那样的平板状搬运物与指状物等保持部的接触。
技术实现思路
鉴于此，本专利技术的目的在于消除前述现有技术所具有的问题点，提供平板状搬运物的搬运方法及其装置，该方法以及装置能够使指状物等载置部小型化，并且，将与平板状搬运部的接触抑制得更少，同时，将由自身重量引起的平板状搬运物的挠曲抑制得更小，从而能够实现更高效的搬运。为了达到前述目的，本专利技术提供一种平板状搬运物的搬运方法，该方法是将平板状搬运物以近似水平的姿势放置在搬运装置的载置部上，在通过载置部的保持部保持平板状搬运物的下表面或上表面的状态下，进行搬运，其特征在于，在保持前述平板状搬运物的下表面或上表面的多个保持部上以规定排列设置高低差，至少在处于保持状态时，利用前述保持部的高低差使前述平板状搬运物强制弯曲，在保持前述平板状搬运物的强制弯曲状态下，使前述载置部移动来搬运该平板状搬运物。而且，本专利技术还提供一种平板状搬运物的搬运装置，其在以近似水平的姿势保持的状态下对平板状搬运物进行搬运，其特征在于，包括载置部，以近似水平的姿势载置前述平板状搬运物；搬运装置的主体部，具有使前述载置部移动的机构；和保持部，至少呈两列且每列多个地排列在前述载置部上，来保持前述平板状搬运物，前述保持部设置有这样一种机构具有相对前述平板状搬运物的下表面或上表面的高度不同的高低差，至少在处于保持状态时，利用前述保持部的高低差使前述平板状搬运物强制弯曲。前述保持部，优选在朝向前述平板状搬运物的下表面或上表面的方向高度低的保持部上，具备吸附该下表面或上表面的吸附部，并且，优选至少一部分可调整前述高度。进而，前述保持部也可以形成为使前述平板状搬运物弯曲成沿着其长度方向上下的波形，或者形成为使前述平板状搬运物弯曲成与长度方向成直角的宽度方向的中央较低的V字型、或中央较高的山型。由于本专利技术由于作成下述结构，即，在至少处于保持状态时，通过在保持前述平板状搬运物的下表面或上表面的保持部上设置高低差，使前述平板状搬运物强制弯曲，来进行保持·搬运，所以，能够使沿着弯曲的山或/和谷的方向的挠曲减少，可以使指状物等保持部小型化，并且能够将与平板状搬运物的接触抑制得更少。另外，如果将前述弯曲形成为沿着前述平板状搬运物的长度方向而上下的波形，则能够将挠曲量抑制得更小，同时，可将前述保持部限定在与长度方向成直角的宽度方向的中央附近等，并且，还可以将前述弯曲限定在前述平板状搬运物的与长度方向成直角的宽度方向的两端附近等。附图说明图1是表示本专利技术的一实施方式例的搬运装置的概要主视图。图2是图1所示的搬运装置的叉子的放大详细俯视图。图3是表示从下方观察图2的叉子的吸附状态的放大详细右侧视图。图4是表示本专利技术其他实施方式例的叉子的放大详细俯视图。图5是表示从右面观察图4的叉子的吸附状态的放大详细右侧视图。图6是表示本专利技术其他实施方式例的叉子的放大详细俯视图。附图标记说明10-底座11-回旋台12-升降·旋转轴13-第一回旋臂14-第二回旋臂15-手柄(hand)16、26、36-叉子16A、16B、26A、26B、26C-指状物17-平板状搬运物18-衬垫(pad)19-吸附部20-垫片(shim)具体实施方式下面，参照附图，对本专利技术所涉及的平板状搬运物的搬运方法及其装置的一实施方式进行说明。图1是表示将本专利技术应用于以机械手作为主体的搬运装置中的一例的图，10是底座，11是回旋台，12是升降·旋转轴，13是第一回旋臂，14是第二回旋臂，15是手柄，16是作为载置搬运物的载置部、即叉子。第一回旋臂13、第二回旋臂14相互向逆方向回旋，使手柄15向升降·旋转轴12的半径方向移动。此时，手柄15与第一回旋臂13以及第二回旋臂14的回旋联动，在第一回旋臂13以及第二回旋臂14上旋转，并将手柄15的朝向保持恒定。另外，手柄15也可以与上述联动方式不同的方式旋转。并且，手柄15通过升降·旋转轴12的升降而上下动作，通过回旋台的旋转而向升降·旋转轴12的圆周方向移动。图2是叉子16的放大详细俯视图，17是载置在叉子16上的由透明玻璃板(例如，液晶面板用玻璃基板)构成的平板状搬运物。图3是从下方观察图2的叉子16的放大详细右侧视图。如图2所示，叉子16具有两根指状物16A、16B，两指状物16A、16B不是位于平板状搬运物17的与长度方向(图2中的左右方向)成直角的宽度方向(图2中的上下方向)的两端部，而是位于宽度方向比较靠近中央附近，向上述长度方向平行延伸。因此，叉子16的宽度比平板状搬运物17的宽度窄。在两指状物16A、16B的上表面，与平板状搬运物17的下表面抵接而支承该平板状搬运物17的作为保持部的衬垫18、和对置配置在平板状搬运物17的下表面同样作为保持部的吸附部19，沿着指状物16A、16B的长度方向分别成列地交替配置。吸附部19经由设置在指状物16A、16B以及手柄15内部的未图示的流路，与同样未图示的真空泵连接，构成为能够真空吸附平板状搬运物17的下表面。如图3所示，衬垫18经由垫片20安装在指状物16A、16B的上表面，通过调节垫片20的厚度，能够调整衬垫18的高度，从而，能够在与吸附部19的吸附面之间设定高低差。另一方面，吸附部19在非吸附状态时，其上端的吸附面设定成与垫片20的上端大致相等的高度，在以真空吸引力吸附平板状搬运物17的下表面时，通过仅下陷1mm至几mm预先设定的规定量，对平板状搬运物17赋予强制的弯曲。接着，对该搬运装置的作用进行说明。如图2所示，在将指状物16A、16B插入到收纳于未图示的托盘内的平板状搬运物17的下方之后，使指状物16A、16B上升规定量，通过衬垫18以及吸附部19来承接平板状搬运物17的下表面，将平板状搬运物17从托盘转移到指状物16A、16B上。此时，由于指状物16A、16B位于平板状搬运物17的宽度方向比较靠近中央附近的位置，所以，能够避免设置在未图示的托盘上的保持部与指状物16A、16B的干涉，并能更加可靠地保持平板状搬运物17。这对于成为利用该搬运装置的平板状搬运物17的搬运目的地的处理装置等中的平板状搬运物17的保持部来说，也是同样的。接着，如果本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平板状搬运物的搬运方法，将平板状搬运物以近似水平的姿势放置在搬运装置的载置部上，在通过载置部的保持部保持平板状搬运物的下表面或上表面的状态下，进行搬运，其特征在于，　　　　在保持前述平板状搬运物的下表面或上表面的多个保持部上以规定排列设置高低差，　　　　至少在处于保持状态时，利用前述保持部的高低差使前述平板状搬运物强制弯曲，　　　　在保持前述平板状搬运物的强制弯曲状态下，使前述载置部移动来搬运该平板状搬运物。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：小椋胜仁，根岸祐司，
申请(专利权)人：东芝机械株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]