【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及磁性传感器
,特别涉及一种单芯片三轴各向异性磁阻传感器制作方法。
技术介绍
各向异性磁阻(AMR)传感器是现代产业中新型磁电阻效应传感器,其正变得日益重要,尤其是在智能手机中的电子罗盘和汽车产业传感器中的停车传感器、角度传感器、ABS(自动制动系统)传感器以及胎压传感器等方面得到应用。除各向异性磁阻(AMR)传感器外,磁性传感器目前主要技术还有霍尔效应传感器、巨磁阻(GMR)传感器、隧道磁阻(TMR)传感器,但由于AMR传感器具有比霍尔效应传感器高得多的灵敏度,且技术实现上比GMR和TMR传感器更加成熟,因此各向异性磁阻(AMR)传感器应用比其他磁传感器应用更加广泛。然而,专利技术人发现,目前的AMR传感器的X轴、Y轴、Z轴各自独立形成,然后再封装在一起,需要较多的制作步骤,使得AMR传感器系统加工成本比较昂贵。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种单芯片三轴各向异性磁阻传感器,以解决现有的三轴各向异性磁阻传感器制作工艺复杂、加工成本高的问题。为解决上述技术问题,本专利技术提供一种单芯片三轴各向异性磁阻传感器制作方法,包括:提供一包括X轴区域、Y轴区域、Z轴区域的衬底;在所述衬底的Z轴区域中形成凹槽,所述凹槽具有倾斜的侧壁;形成绝缘层,所述绝缘层覆盖所述衬底及凹槽;形成磁阻条,所述磁阻条包括形成于所述X轴区域上的X轴磁阻条、形成于所述Y轴区域上 ...
【技术保护点】
一种单芯片三轴各向异性磁阻传感器的制作方法,其特征在于,包括:提供一包括X轴区域、Y轴区域、Z轴区域的衬底;在所述衬底的Z轴区域中形成凹槽,所述凹槽具有倾斜的侧壁;形成绝缘层,所述绝缘层覆盖所述衬底及凹槽;形成磁阻条,所述磁阻条包括形成于所述X轴区域上的X轴磁阻条、形成于所述Y轴区域上的Y轴磁阻条、以及形成于所述凹槽至少一个侧壁上的Z轴磁阻条;形成短路电极和金属连线,所述短路电极包括形成于所述X轴磁阻条上并与其交叉的X轴短路电极、形成于所述Y轴磁阻条上并与其交叉的Y轴短路电极、以及形成于所述Z轴磁阻条上并与其交叉的Z轴短路电极,所述金属连线包括连接相邻的X轴磁阻条的X轴金属连线、连接相邻的Y轴磁阻条的Y轴金属连线以及连接相邻的Z轴磁阻条的Z轴金属连线;形成隔离层,所述隔离层覆盖所述短路电极、金属连线以及绝缘层,所述隔离层中形成有通孔;形成置位‑复位电流带,所述置位‑复位电流带形成于所述隔离层上并垂直于所述X轴磁阻条、Y轴磁阻条和Z轴磁阻条,所述置位‑复位电流带通过所述通孔与所述X轴磁阻条、Y轴磁阻条和Z轴磁阻条电连接;形成钝化层,所述钝化层覆盖所述隔离层,所述钝化层中形成有暴露所述置位 ...
【技术特征摘要】
1.一种单芯片三轴各向异性磁阻传感器的制作方法,其特征在于,
包括:
提供一包括X轴区域、Y轴区域、Z轴区域的衬底;
在所述衬底的Z轴区域中形成凹槽,所述凹槽具有倾斜的侧壁;
形成绝缘层,所述绝缘层覆盖所述衬底及凹槽;
形成磁阻条,所述磁阻条包括形成于所述X轴区域上的X轴磁阻条、
形成于所述Y轴区域上的Y轴磁阻条、以及形成于所述凹槽至少一个侧壁
上的Z轴磁阻条;
形成短路电极和金属连线,所述短路电极包括形成于所述X轴磁阻条
上并与其交叉的X轴短路电极、形成于所述Y轴磁阻条上并与其交叉的Y
轴短路电极、以及形成于所述Z轴磁阻条上并与其交叉的Z轴短路电极,
所述金属连线包括连接相邻的X轴磁阻条的X轴金属连线、连接相邻的Y
轴磁阻条的Y轴金属连线以及连接相邻的Z轴磁阻条的Z轴金属连线;
形成隔离层,所述隔离层覆盖所述短路电极、金属连线以及绝缘层,
所述隔离层中形成有通孔;
形成置位-复位电流带,所述置位-复位电流带形成于所述隔离层上并垂
直于所述X轴磁阻条、Y轴磁阻条和Z轴磁阻条,所述置位-复位电流带通
过所述通孔与所述X轴磁阻条、Y轴磁阻条和Z轴磁阻条电连接;
形成钝化层,所述钝化层覆盖所述隔离层,所述钝化层中形成有暴露
所述置位-复位电流带的压焊窗口。
2.如权利要求1至所述的单芯片三轴各向异性磁阻传感器的制作方
法,其特征在于,所述凹槽的截面形状为倒梯形,所述凹槽侧壁的倾斜角
度为30°~60°。
3.如权利要求1至所述的单芯片三轴各向异性磁阻传感器的制作方
法,其特征在于,所述衬底是晶向为<100>的硅衬底。
4.如权利要求1所述的单芯片三轴各向异性磁阻传感器的制作方法,
其特征在于,所述Z轴磁阻条位于所述凹槽的两个侧壁上。
5.如权利要求1所述的单芯片三轴各向异性磁阻传感器的制作方法,
\t其特征在于,所述Z轴磁阻条位于所述凹槽的一个侧壁上。
6.如权利要求1所述的单芯片三轴各向异性磁阻传感器的制作方法,
其特征在于,所述凹槽的形成过程包括:
采用等离子体增强化学气相淀积工艺在衬底上淀积硬掩膜层;
采用光刻和刻蚀工艺图形化所述硬掩膜层;
采用四甲基氢氧化铵溶液腐蚀所述衬底;
将所述硬掩膜层全部去除以形成所述凹槽。
7.如权利要求1所述的单芯片三轴各向异性磁阻传感器的制作方法,
其特征在于,所述绝缘层包括依次形成的氧化硅层和氮化硅层。
8.如权利要求1所述的单芯片三轴各向异性磁阻传感器的制作方...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈雪平,闻永祥,刘琛,孙福河,
申请(专利权)人:杭州士兰集成电路有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江;33
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。