【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种面位置检测装置，具备从倾斜方向向受检面上投射光束的投射系统、接收由上述受检面反射的光束的受光系统，并基于该受光系统的输出来检测出上述受检面的面位置，该面位置检测装置的特征是，上述投射系统具备第一反射面，上述受光系统具备第二反射面，该面位置检测装置还具备位置错移补偿构件，其用于补偿穿过了上述投射系统的上述第一反射面及上述受光系统的上述第二反射面的光束的偏光成分所致的相对的位置错移。
【技术特征摘要】
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