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本发明提供一种面位置检测装置，其可以在实质上不受在穿过了反射面的光束中产生的偏光成分所致的相对的位置错移等的影响，高精度地检测出受检面的面位置。投射系统具备具有第一反射面(7b、7c)的投射侧棱镜构件(7)。受光系统具备具有与投射侧棱镜构件...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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