一种光刻胶前烘缺陷检测修复装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种光刻胶前烘缺陷检测修复装置，包括底板、上料传送带，扫描工位，修复工位、下料道和控制系统，所述上料传送带设置在底板上，上料传送带末端设置有挡板和侧推板，所述扫描工位和修复工位设置有底板上位于侧推板前进的方向上，所述扫描工位位于修复工位前侧，所述扫描工位和修复工位均包括有固定定位板和活动定位板，所述扫描工位上方设置有可移动扫描装置，所述修复工位上方设置有可移动修复装置，所述扫描装置和移动修复装置与控制系统电连，所述下料道设置在扫描工位后方，所述侧推板和活动定位板均连接有驱动部件，所述光刻胶前烘缺陷检测修复装置可自动检测前烘后光刻胶缺陷，并进行修复，提高了产品的良品率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种光刻胶前烘缺陷检测修复装置。
技术介绍
液晶显示器的阵列基板以及彩膜基板的生产工艺过程往往关系着整个显示装置的良率，在阵列基板以及彩膜基板的生产工艺中，光刻工艺是非常重要的，光刻胶涂布工艺过程中包括有前烘、曝光、后烘和显影处理几个步骤，前烘之后会产生一定的缺陷品，缺陷品进入下道工序继续加工的话，加工还是不良品，浪费了资源。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种可检测出光刻胶前烘后缺陷并进行修复的光刻胶前烘缺陷检测修复装置。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案:—种光刻胶前烘缺陷检测修复装置，包括底板、上料传送带、扫描工位、修复工位、下料道和控制系统，所述上料传送带设置在底板上，上料传送带末端设置有挡板和侧推板，所述扫描工位和修复工位设置于底板上且位于侧推板前进的方向上，所述扫描工位位于修复工位前侧，所述扫描工位和修复工位均包括有固定定位板和活动定位板，所述扫描工位上方设置有可移动扫描装置，所述修复工位上方设置有可移动修复装置，所述扫描装置和移动修复装置与控制系统电连，所述下料道设置在扫描工位后方，所述侧推板和活动定位板均连接有驱动部件。特别地，所述扫描装置和可移动修复装置通过活动丝杆与固定于底板上的支架连接。特别地，所述扫描装置上设置有钠灯，扫描装置的扫描部位设置有显微镜。特别地，所述活动定位板为L型折弯板。特别地，所述驱动部件为驱动气缸或驱动油缸。本技术的有益效果为:与现有技术相比所述光刻胶前烘缺陷检测修复装置将涂有光刻胶的基板放置在上料传送带上，通过传送带和侧推板，先送到扫描工位上，通过扫描装置对光刻胶进行扫描，并将图像信息传送个控制系统，控制系统收到信息后会与合格品的图像信息进行比较，得出缺陷点的位置信息，侧推板再将基板送到修复工位上，控制系统控制修复装置对光刻胶进行修复，修复完成后通过下料道送入下一道工序内。【附图说明】图1为本技术提供的光刻胶前烘缺陷检测修复装置的侧视图；图2为本技术提供的光刻胶前烘缺陷检测修复装置的部分俯视图。图中:1、底板；2、上料传送带；21、挡板；3、侧推板；4、固定定位板；5、活动定位板；6、下料道；7、扫描装置；71、钠灯；72、显微镜；8、修复装置；9、支架；91、活动丝杆；10、驱动气缸；11、涂有光刻胶的基板；12、控制系统。【具体实施方式】下面结合附图并通过【具体实施方式】来进一步说明本技术的技术方案。请参阅图1、图2，所述光刻胶前烘缺陷检测修复装置括底板1、上料传送带2，扫描工位，修复工位、下料道6和控制系统12，所述上料传送带2设置在底板I上，上料传送带2末端设置有挡板21和侧推板3，所述侧推板3连接有驱动气缸10，所述扫描工位和修复工位设置有底板I上位于侧推板3前进的方向上，所述扫描工位位于修复工位前侧，所述扫描工位和修复工位均包括有固定定位板4和活动定位板5，所述活动定位板5为L型折弯板，所述L型折弯板一侧连接有驱动气缸10，所述底板I上设置有支架9，所述支架9位于扫描工位和修复工位上方，所述支架9上通过活动丝杆91连接有扫描装置7和修复装置8，所述扫描装置7在扫描工位上方移动，所述扫描装置7上设置有钠灯74，扫描装置7的扫描部位上还设置有显微镜72，所述修复装置8在修复工位上方移动，所述扫描装置7和修复装置8与控制系统12电连，所述下料道6设置在扫描工位后方。所述光刻胶前烘缺陷检测修复装置，使用时将涂有光刻胶的基板11，放到上料传送带2上上料，涂有光刻胶的基板11被挡板21挡下，驱动气缸10带动侧推板3向前运动，此时扫描工位的活动定位板5伸出，将涂有光刻胶的基板11推到扫描工位上，扫描装置7对涂有光刻胶的基板11进行扫描，扫描完成后，将扫描得到的图像信息发给控制系统12，同时描工位的活动定位板5收缩，侧推板3继续推着涂有光刻胶的基板11前进，此时修复工位的活动定位板5伸出，控制系统I将收集到的图像信息与合格的涂有光刻胶的基板11的图像信息进行比较，找出需要修复的位置信息，传输给修复装置8，修复装置8运到需要修复的位置上进行修复，修复完成后，修复工位的活动定位板5收缩，侧推板3继续推着涂有光刻胶的基板11前进，进入下料道6，进入下一道工序。所述驱动气缸10可由驱动油缸代替。以上仅以实施例对本技术进行了说明，但本技术并不限于上述尺寸和外观例证，更不应构成本技术的任何限制。只要对本技术所做的任何改进或者变型均属于本技术权利要求主张的保护范围之内。【主权项】1.一种光刻胶前烘缺陷检测修复装置，其特征在于:包括底板、上料传送带、扫描工位、修复工位、下料道和控制系统，所述上料传送带设置在底板上，上料传送带末端设置有挡板和侧推板，所述扫描工位和修复工位设置于底板上且位于侧推板前进的方向上，所述扫描工位位于修复工位前侧，所述扫描工位和修复工位均包括有固定定位板和活动定位板，所述扫描工位上方设置有可移动扫描装置，所述修复工位上方设置有可移动修复装置，所述扫描装置和移动修复装置与控制系统电连，所述下料道设置在扫描工位后方，所述侧推板和活动定位板均连接有驱动部件。2.根据权利要求1所述光刻胶前烘缺陷检测修复装置，其特征在于:所述扫描装置和可移动修复装置通过活动丝杆与固定于底板上的安装支架连接。3.根据权利要求1或2所述光刻胶前烘缺陷检测修复装置，其特征在于:所述扫描装置上设置有钠灯，扫描装置的扫描部位上还设置有显微镜。4.根据权利要求1所述光刻胶前烘缺陷检测修复装置，其特征在于:所述活动定位板为L型折弯板。5.根据权利要求1所述光刻胶前烘缺陷检测修复装置，其特征在于:所述驱动部件为驱动气缸或驱动油缸。【专利摘要】本技术公开了一种光刻胶前烘缺陷检测修复装置，包括底板、上料传送带，扫描工位，修复工位、下料道和控制系统，所述上料传送带设置在底板上，上料传送带末端设置有挡板和侧推板，所述扫描工位和修复工位设置有底板上位于侧推板前进的方向上，所述扫描工位位于修复工位前侧，所述扫描工位和修复工位均包括有固定定位板和活动定位板，所述扫描工位上方设置有可移动扫描装置，所述修复工位上方设置有可移动修复装置，所述扫描装置和移动修复装置与控制系统电连，所述下料道设置在扫描工位后方，所述侧推板和活动定位板均连接有驱动部件，所述光刻胶前烘缺陷检测修复装置可自动检测前烘后光刻胶缺陷，并进行修复，提高了产品的良品率。【IPC分类】G01N21/88【公开号】CN204882390【申请号】CN201520532756【专利技术人】吕耀安 【申请人】无锡宏纳科技有限公司【公开日】2015年12月16日【申请日】2015年7月21日本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光刻胶前烘缺陷检测修复装置，其特征在于：包括底板、上料传送带、扫描工位、修复工位、下料道和控制系统，所述上料传送带设置在底板上，上料传送带末端设置有挡板和侧推板，所述扫描工位和修复工位设置于底板上且位于侧推板前进的方向上，所述扫描工位位于修复工位前侧，所述扫描工位和修复工位均包括有固定定位板和活动定位板，所述扫描工位上方设置有可移动扫描装置，所述修复工位上方设置有可移动修复装置，所述扫描装置和移动修复装置与控制系统电连，所述下料道设置在扫描工位后方，所述侧推板和活动定位板均连接有驱动部件。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吕耀安，
申请(专利权)人：无锡宏纳科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32