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本实用新型公开了一种光刻胶前烘缺陷检测修复装置，包括底板、上料传送带，扫描工位，修复工位、下料道和控制系统，所述上料传送带设置在底板上，上料传送带末端设置有挡板和侧推板，所述扫描工位和修复工位设置有底板上位于侧推板前进的方向上，所述扫描工位...
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