本发明专利技术公开了一种机械扫描装置，包括：旋转驱动装置(1)、侧向调节连杆机构(2)、气浮垫模块(3)、气浮轴模块(4)，其中旋转驱动装置(1)驱动侧向调节连杆机构(2)带动气浮轴模块(4)上下运动，其中气浮垫模块(3)在其中起导向作用。本发明专利技术涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种半导体器件制造控制系统，即注入机，特别地，涉及一种用于离子注入机机械扫描装置。
技术介绍
随着半导体工艺的发展，机械扫描能否稳定对于离子注入系统愈发重要，对注入产品的质量和离子注入机的产业化有着很大的影响。如果离子注入机引出束流能量很低时，特别是大束流、传输路径长的场合，由于空间电荷效应的影响，离子束发散严重，其传输效率极低，使得最后到达注入晶片的束流小，束品质差，不能满足注入工艺要求；机械扫描装置对于超低能大束流离子束的传输有着特殊的意义。机械扫描装置的精准度是最终得到高品质产品的基础，已然成为离子注入机向前发展的必要因素。
技术实现思路
本专利技术公开了一种机械扫描装置，可用于离子注入机系统；其运动稳定，对束流扫描精准，良好的控制上下运动，从而使靶台接到的束流质量最为良好。本专利技术通过以下技术方案实现:1.一种束流检测及分析装置，包括:转驱动装置(I)、侧向调节连杆机构(2)、气浮垫模块(3)、气浮轴模块(4)，其特征在于:旋转驱动装置带动气浮轴上下运动从而实现机械扫描束流。2.如权利要求1所述的一种机械扫描装置，旋转驱动装置(I)包括一个伺服电机及一个谐波减速组件，一个角度限制块，保证电极平稳的运行，旋转角度不会超过极限位置。3.如权利要求1所述的一种机械扫描装置，侧向调节连杆机构(2)通过电机运动带动气浮轴运动。4.如权利要求1所述的一种机械扫描装置,气浮垫模块(3)由一气浮垫及其安装结构组成，其特征在于可保证轴承稳定运动，也起到导向的作用。5.如权利要求1所述的一种机械扫描装置，气浮轴模块(4)由气浮轴承及其气浮轴套，其特征在于:气浮轴套通过冲气保证其本身在轴承上平稳运动。本专利技术具有如下显著优点:1.噪音小，干净无污染。2.功能可靠，稳定性好。3.易于控制，不需经常维护和更换。【附图说明】图1机械扫描装置总结构图图2气浮垫模块结构图图3旋转驱动机构结构图【具体实施方式】下面结合附图1、附图2和附图3对本专利技术作进一步的介绍，但不作为对本专利技术的限定。参见图1、图2和图3，一种机械扫描装置分四部分，旋转驱动装置(I)、侧向调节连杆机构(2)、气浮垫模块(3)、气浮轴模块(4)。其中旋转驱动装置(I)带动侧向调节连杆机构(2)运动，从而使气浮轴模块(4)上下稳定运动，而气浮垫模块(3)保证轴承稳定运动，也起到导向的作用。在该实施方式中，旋转驱动装置(I)由一个伺服电机和一个谐波减速器主要部件构成，电机为驱动部件，来驱动侧向调节连杆机构(2)进行运动，采用谐波减速器是为了更好地保障侧向调节连杆机构(2)的平稳运动。在该实施方式中，气浮垫模块(3)由一气浮垫及其安装结构组成，其特征在于可保证轴承稳定运动，也起到导向的作用。在该实施方式中，气浮轴模块(4)由气浮轴承及其气浮轴套，其特征在于:气浮轴套通过冲气保证其本身在轴承上平稳运动。本专利技术专利的特定实施例已对本专利技术专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本专利技术专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本专利技术专利的侵犯，将承担相应的法律责任。【主权项】1.一种机械扫描装置，包括:旋转驱动装置(I)、侧向调节连杆机构(2)、气浮垫模块(3)、气浮轴模块(4)，其特征在于:旋转驱动装置带动气浮轴上下运动从而实现机械扫描束流。2.如权利要求1所述的一种机械扫描装置，旋转驱动装置(I)包括一个伺服电机及一个谐波减速组件，一个角度限制块，保证电极平稳的运行，旋转角度不会超过极限位置。3.如权利要求1所述的一种机械扫描装置，侧向调节连杆机构(2)通过电机运动带动气浮轴运动。4.如权利要求1所述的一种机械扫描装置，气浮垫模块(3)由一气浮垫及其安装结构组成，其特征在于可保证轴承稳定运动，也起到导向的作用。5.如权利要求1所述的一种机械扫描装置，气浮轴模块(4)由气浮轴承及其气浮轴套，其特征在于:气浮轴套通过冲气保证其本身在轴承上平稳运动。【专利摘要】本专利技术公开了一种机械扫描装置，包括：旋转驱动装置(1)、侧向调节连杆机构(2)、气浮垫模块(3)、气浮轴模块(4)，其中旋转驱动装置(1)驱动侧向调节连杆机构(2)带动气浮轴模块(4)上下运动，其中气浮垫模块(3)在其中起导向作用。本专利技术涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。【IPC分类】H01J37/317, H01J37/20【公开号】CN105097395【申请号】CN201410209360【专利技术人】梁旭 【申请人】北京中科信电子装备有限公司【公开日】2015年11月25日【申请日】2014年5月19日本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种机械扫描装置，包括：旋转驱动装置(1)、侧向调节连杆机构(2)、气浮垫模块(3)、气浮轴模块(4)，其特征在于：旋转驱动装置带动气浮轴上下运动从而实现机械扫描束流。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：梁旭，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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