本发明专利技术提供一种改进式照明光控制方法，包括：照射条件取得步骤，其取得激光向空间光调制器的入射图案、位于激光从空间光调制器向聚光点的传播路径上的第1传播介质的第1折射率n1、以及位于比第1传播介质更靠聚光点侧处的第2传播介质的与第1折射率不同的第2折射率n2作为激光的照射条件；聚光条件设定步骤，其设定聚光照射来自空间光调制器的激光的聚光点的个数st、以及关于st个聚光点s各个的聚光位置、聚光强度作为激光的聚光条件，其中，st是1以上的整数。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术具体涉及一种。
技术介绍
近年来，在玻璃内部三维制作波导、光分歧器、方向性耦合器等的光集成电路的研 究盛行。作为这样的光集成电路的制作方法之一，有使用飞秒激光的方法。在该方法中，例 如，在飞秒激光的聚光点由双光子吸收等来诱发冲击，由此，能够进行使玻璃的折射率局部 变化的加工。另外，这样的激光向照射对象物的聚光照射，除了光集成电路的制作以外，还 广泛使用在各种的激光加工装置或者观察激光的散射、反射的激光显微镜等中，这里，在使 用从激光光源出射的一条激光束来进行复杂的三维构造的加工等的激光照射的情况下，存 在该加工工序中需要极长的时间的问题。作为该情况下的加工时间的缩短方法，考虑进行 利用多个聚光点的多点同时加工的方法。实现这样的方法的最简单的结构是使用从多个激 光光源提供的多条激光束的结构。然而，这样的结构，若考虑到准备多个激光光源的成本、 设置空间等，则是不现实的；所以亟需一种以解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于针对现有技术的不足，提供一种，该改 进式照明光控制方法可以很好地解决上述问题。 为达到上述要求，本专利技术采取的技术方案是：提供一种，该 包括照射条件取得步骤，其取得激光向空间光调制器的入射图案、 位于激光从空间光调制器向聚光点的传播路径上的第1传播介质的第1折射率Ii 1、以及位 于比第1传播介质更靠聚光点侧处的第2传播介质的与第1折射率不同的第2折射率1!2作 为激光的照射条件；聚光条件设定步骤，其设定聚光照射来自空间光调制器的激光的聚光 点的个数S t、以及关于^个聚光点s各个的聚光位置、聚光强度作为激光的聚光条件，其中， ^是1以上的整数；像差条件导出步骤，其导出在激光从空间光调制器向聚光点s的传播 中，由折射率相互不同的第1传播介质以及第2传播介质产生的像差条件；以及调制图案设 计步骤，其考虑由像差条件导出步骤导出的像差条件来设计空间光调制器中所呈现的调制 图案；通过按下按键，输入数据；从按下按键时开始，计量规定时间；以及在背光点亮期间， 检测出按键按下时，使背光熄灭规定时间；调制图案设计处理，令所述激光向所述空间光调 制器的所述像素j的入射振幅为A, in，相位为确所述像素j的相位值为Cfe，通过下述式 Us=Asexp(kps) =ZjAh^exp(丨cpj/)exp(Kq>rfqv^)).求得表示所述聚光点 s 的所述聚 光状态的复振幅Us。 与现有技术相比，该可以很好地解决现有的光控制程序成 本过高及空间设计方面的问题。【附图说明】 此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，在这 些附图中使用相同的参考标号来表示相同或相似的部分，本申请的示意性实施例及其说明 用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中： 图1是本专利技术的流程示意图。【具体实施方式】 为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，以下结合附图及具体实施例，对本 申请作进一步地详细说明。 在以下描述中，对"一个实施例"、"实施例"、"一个示例"、"示例"等等的引用表明 如此描述的实施例或示例可以包括特定特征、结构、特性、性质、元素或限度，但并非每个实 施例或示例都必然包括特定特征、结构、特性、性质、元素或限度。另外，重复使用短语"根据 本申请的一个实施例"虽然有可能是指代相同实施例，但并非必然指代相同的实施例。 为简单起见，以下描述中省略了本领域技术人员公知的某些技术特征。 根据本申请的一个实施例，提供一种，如图1所示，包括照 射条件取得步骤，其取得激光向空间光调制器的入射图案、位于激光从空间光调制器向聚 光点的传播路径上的第1传播介质的第1折射率Il 1、以及位于比第1传播介质更靠聚光点侧 处的第2传播介质的与第1折射率不同的第2折射率1!2作为激光的照射条件；聚光条件设 定步骤，其设定聚光照射来自空间光调制器的激光的聚光点的个数s t、以及关于St个聚光 点S各个的聚光位置、聚光强度作为激光的聚光条件，其中，^是1以上的整数；像差条件导 出步骤，其导出在激光从空间光调制器向聚光点s的传播中，由折射率相互不同的第1传播 介质以及第2传播介质产生的像差条件；以及调制图案设计步骤，其考虑由像差条件导出 步骤导出的像差条件来设计空间光调制器中所呈现的调制图案；通过按下按键，输入数据； 从按下按键时开始，计量规定时间；以及在背光点亮期间，检测出按键按下时，使背光熄灭 规定时间； 调制图案设计处理，令所述激光向所述空间光调制器的所述像素j的入射 振幅为Aj in，相位为礙所述像素j的相位值为通过下述式Us= =ZjAj-inexp(iq)jSf)exp(i(q)j+(p>i n))求得表示所述聚光点s的所述聚光状态的复振幅us。 根据本申请的一个实施例，提供一种该改进式照明光控制 方法的调制图案设计步骤通过假定在空间光调制器中二维排列的多个像素，着眼于多个像 素中所呈现的调制图案的1个像素的相位值的变更对聚光点的激光的聚光状态所造成的 影响，以使该聚光状态接近于所期望的状态的方式变更相位值，并针对调制图案的全部像 素进行这样的相位值的变更操作，从而设计调制图案，并且在评价聚光点的聚光状态时，针 对光从空间光调制器的调制图案中的像素j向聚光点 s的传播。 以上实施例仅表示本专利技术的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能理 解为对本专利技术范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发 明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本专利技术保护范围。因此本专利技术的 保护范围应该以权利要求为准。【主权项】1. 一种，其特征在于，包括：照射条件取得步骤，其取得激光向 空间光调制器的入射图案、位于激光从空间光调制器向聚光点的传播路径上的第1传播介 质的第1折射率Ii 1、以及位于比第1传播介质更靠聚光点侧处的第2传播介质的与第1折 射率不同的第2折射率1!2作为激光的照射条件；聚光条件设定步骤，其设定聚光照射来自 空间光调制器的激光的聚光点的个数S t、以及关于^个聚光点s各个的聚光位置、聚光强 度作为激光的聚光条件，其中，\是1以上的整数；像差条件导出步骤，其导出在激光从空 间光调制器向聚光点s的传播中，由折射率相互不同的第1传播介质以及第2传播介质产 生的像差条件；以及调制图案设计步骤，其考虑由像差条件导出步骤导出的像差条件来设 计空间光调制器中所呈现的调制图案；通过按下按键，输入数据；从按下按键时开始，计量 规定时间；以及在背光点亮期间，检测出按键按下时，使背光熄灭规定时间；调制图案设计 处理，令所述激光向所述空间光调制器的所述像素 j的入射振幅为A, ιη，相位为^|^?，所述 像素 j的相位值为_，通过下述式 求得表示所述聚光点s的所述聚光状态的复振幅Us。2. 如权利要求1的，其特征在于：调制图案设计步骤通过假定 在空间光调制器中二维排列的多个像素，着眼于多个像素中所呈现的调制图案的1个像素 的相位值的变更对聚光点的激光的聚光状态所造成的影响，以使该聚光状态接近于所期望 的状态的方式变更相位值，并针对调制图案的全部像素进行这样的相位值的变更操作，从 而设计调制图案，并且在评价聚光点的聚光状态时，针对光从空间光本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种改进式照明光控制方法，其特征在于，包括：照射条件取得步骤，其取得激光向空间光调制器的入射图案、位于激光从空间光调制器向聚光点的传播路径上的第1传播介质的第1折射率n1、以及位于比第1传播介质更靠聚光点侧处的第2传播介质的与第1折射率不同的第2折射率n2作为激光的照射条件；聚光条件设定步骤，其设定聚光照射来自空间光调制器的激光的聚光点的个数st、以及关于st个聚光点s各个的聚光位置、聚光强度作为激光的聚光条件，其中，st是1以上的整数；像差条件导出步骤，其导出在激光从空间光调制器向聚光点s的传播中，由折射率相互不同的第1传播介质以及第2传播介质产生的像差条件；以及调制图案设计步骤，其考虑由像差条件导出步骤导出的像差条件来设计空间光调制器中所呈现的调制图案；通过按下按键，输入数据；从按下按键时开始，计量规定时间；以及在背光点亮期间，检测出按键按下时，使背光熄灭规定时间；调制图案设计处理，令所述激光向所述空间光调制器的所述像素j的入射振幅为Aj‑in，相位为所述像素j的相位值为通过下述式求得表示所述聚光点s的所述聚光状态的复振幅Us。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄雷，
申请(专利权)人：成都秋雷科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：四川;51
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