一种MOCVD设备尾气处理系统在线化学清洗方法技术方案

一种MOCVD设备尾气处理系统在线化学清洗方法，是将MOCVD设备的尾气系统由运行状态切换至待机状态，使尾气处理系统的进气口处于不通气状态，或者是通过非氧化性气体置换尾气处理系统的运行气体；然后将尾气处理系统切换至手动状态，加入酸类物质溶液，调节尾气处理系统中废水的pH值为1-6，形成盐酸清洗液，使盐酸清洗液在尾气处理系统内循环喷淋。该方法采用设备待机状态下在线化学清洗，生产效率提高50%，化学试剂使用量下降60%，避免了人员与尾气处理系统中的剧毒物品的直接接触，保证了设备维护人员的人身安全和劳动强度，减少了清洗废水的产生，提高了尾气处理系统的可靠性和运行效率，避免了拆机带来的环境污染。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于清洗MOCVD (金属有机化合物气相淀积)设备尾气处理系统的方法，属于MOCVD设备尾气处理

技术介绍
MOCVD技术是用于三五族化合物半导体外延材料的制造技术，广泛用于发光二管(LED)、激光二极管(LD)、高电子迀移率晶体管(HEMT)的外延材料生长。MOCVD工艺使用的反应气体和MO (金属有机化合物)源大多数是易自燃及有毒的，反应气体主要有磷化氢、砷化氢等，都属剧毒氢化物，其反应的副产物也有毒性或易自燃。MOCVD工艺过程中反应产生的尾气含有大量有毒和危险物质(气体和粉尘)，不论是常压还是低压MOCVD设备，尾气在向大气排放前都要经过处理，过滤掉粉尘，并通过化学喷淋洗涤使有毒物质吸附、降解，浓度达到国家规定的排放标准以下。MOCVD设备的废气处理系统位于系统的排气端，负责吸附及处理系统排出的所有气体，以减少对环境的污染。MOCVD设备去除有毒有害气体方法，主要有利用物理吸附作用的活性碳过滤器吸附法，利用化学反应分解和吸收毒气的化学喷淋洗涤法，以及通过热分解或燃烧使毒气转化为粉尘再过滤的方法。采用上述处理方法的废气处理系统分别为乾式、湿本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种MOCVD设备尾气处理系统在线化学清洗方法，其特征是：将待清洗的MOCVD设备的尾气系统由运行状态切换至待机状态，使尾气处理系统的进气口处于不通气状态，或者是通过非氧化性气体置换尾气处理系统的运行气体；然后将尾气处理系统切换至手动状态，加入酸类物质溶液，调节尾气处理系统中废水的pH值为1‑6，形成盐酸清洗液，使盐酸清洗液在尾气处理系统内循环喷淋，直至清洗干净尾气处理系统内拉西环上的白色沉积物。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘永波，张新，任忠祥，
申请(专利权)人：山东华光光电子有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37