基于实时派工系统的机台组下的晶圆批次派工方法和系统技术方案

本发明专利技术提供一种基于实时派工系统的机台组下的晶圆批次派工方法和系统，方法包括：基于有效机台信息和线上晶圆批次数据，设定一机台组下每个机台的负载端口的数量、每个机台的实时派货规则，以及各个机台上派货至该机台的每个晶圆批次的预定时间规格；实时获取每个机台正在处理的晶圆批次信息，并根据每个机台的负载端口的数量和每个机台正在处理的晶圆批次信息，计算出后续一段预估时间内各个机台的空闲顺序；按照所述空闲顺序依次更新每个机台的实时派货规则，并根据更新后实时派货规则得到每个机台的派货结果。本发明专利技术能够避免同一机台组下机台在预定晶圆批次时发生同时预定同一批晶圆的情况。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体生产领域，尤其涉及一种基于实时派工系统的机台组下的晶圆 批次派工方法和系统。
技术介绍
在半导体制造生产中，由于生产工艺及其过程十分复杂，用于进行工艺制程的机 台也不尽相同，不同机台或者机台组可W进行多种不同属性晶圆批次的制程加工，而在同 一机台组下的不同机台可W派工的晶圆批次也不同。目前，绝大多数的晶圆制造工厂都已经采用了实施派工系统（RealTime Dispatch,简称；RTD)来负责线上的派工。实施派工系统可W通过内置的算法对线上的晶 圆批次制定较为合理的派工结果，生产助理(MA)只需要依照实施派工系统推荐的晶圆批次 顺序来派工即可，该样相比人工派工可W大大提高派工的效率。 但是，目前的实时派工系统是通过选定机台来执行派工的，即生产助理是通过单 个机台的派工规则来获取派货结果的。在实际生产过程中，往往会出现如下情况，一台机 台组下面的机台会同时接到上游下来的晶圆批次，在进行派工的时候如果仅仅从单个机台 的角度考虑，经常会引起同一台机组下不同机台之间互相抢货的问题，该时是因为有的机 台的生产助理先选中了 一批晶圆批次，但另外机台的生产助理也恰好选中了该一批晶圆批 次。该样就极大地浪费了天车W及制造厂（FAB)的产能W及生产助理的生产能力。
技术实现思路
鉴于上述问题，本专利技术提供一种基于实时派工系统的机台组下的晶圆批次派工方 法和系统。 本专利技术解决技术问题所采用的技术方案为： -种基于实时派工系统的机台组下的晶圆批次派工方法，其中，所述方法包括： 基于有效机台信息和线上晶圆批次数据，设定一机台组下每个机台的负载端口的 数量、每个机台的实时派货规则，W及各个机台上派货至该机台的每个晶圆批次的预定时 间规格； 实时获取每个机台正在处理的晶圆批次信息，并根据每个机台的负载端口的数量 和每个机台正在处理的晶圆批次信息，计算出后续一段预估时间内各个机台的空闲顺序； 按照所述空闲顺序依次更新每个机台的实时派货规则，并根据更新后实时派货规 则得到每个机台的派货结果； 其中，对任一所述机台的实时派货规则进行更新后，均释放已派货至该机台且超 过所述预定时间规格的晶圆批次，并将释放的晶圆批次并入待派货的晶圆批次中，然后再 基于该待派货晶圆批次对后续一所述机台的实时派货规则进行更新，且同一时刻一个晶圆 批次只能派货至一个机台。 所述的派工方法，其中，根据工艺需求设定每个机台所对应加工的晶圆批次信息。 所述的派工方法，其中，每个机台预定晶圆批次的预定时间规格均大于所述预估 时间。 所述的派工方法，其中，每个机台正在处理的晶圆批次信息包括：晶圆批次编号、 TIT、FPT、Tn和Te; 其中，TIT表示晶圆批次进入机台的时间，FPT表示预计晶圆批次完成制程所需的 时间，In表示当前时间，Ti；表示所述预估时间。 所述的派工方法，其中，所述各个机台的空闲顺序按照W下方式确定： Tw+Te-UT-FTP的结果越大，表示其所对应的机台的负载端口越早空闲，根据每个 负载端口的空闲的时间不同，得到各负载端口的空闲顺序，且W每个机台中最先空闲的负 载端口作为该机台的最先空闲时间，W得到各机台的空闲顺序，从而得到所述空闲顺序； [001引其中，当VTe-TIT-FTP〉0时，表示机台在后续的Te内能够对当前的晶圆批次结束 制程，从而使机台中对应的负载端口空闲；[001引当VTe-TIT-FTP<0时，表示机台在后续的Te内不能够对当前的晶圆批次结束制 程，从而机台不空闲。 所述的派工方法，其中，所述T,根据生产过程中的实际需要进行设定。 一种基于实时派工系统的机台组下的晶圆批次派工系统，其中，所述系统包括： 机台组下的有效机台维护模块，用于基于有效机台信息和线上晶圆批次数据，设 定一机台组下每个机台的负载端口的数量、每个机台的实时派货规则，W及各个机台上派 货至该机台的每个晶圆批次的预定时间规格； 机台空闲计算模块，通信连接于所述有效机台维护模块，用于实时获取每个机台 正在处理的晶圆批次信息，根据每个机台的负载端口的数量和每个机台正在处理的晶圆批 次信息，计算出后续一段预估时间内各个机台的空闲顺序； 机台组下的派工监控模块，通信连接于所述机台空闲计算模块，用于获取所述空 闲顺序后，按照所述空闲顺序依次更新每个机台的实时派货规则，并根据更新后实时派货 规则得到每个机台的派货结果；机台组的派工结果显示模块，通信连接于所述机台组下的派工监控模块，W获取 所述派货结果后将所述派货结果进行显示； 其中，对任一所述机台的实时派货规则进行更新后，均释放已派货至该机台且超 过所述预定时间规格的晶圆批次，并将释放的晶圆批次并入待派货的晶圆批次中，然后再 基于该待派货晶圆批次对后续一所述机台的实时派货规则进行更新，且同一时刻一个晶圆 批次只能派货至一个机台。 所述的派工系统，其中，所述机台空闲计算模块还包括： 第一计算单元，根据每个批次晶圆进入对应机台的时刻和预计该晶圆批次进行制 程所需的时间来确定该晶圆批次是否能够在所述预估时间内结束制程，从而使该晶圆批次 所对应的机台负载端口空闲； 第二计算单元，根据机台组下每个负载端口的空闲情况，计算出各机台的空闲顺 序。 所述的派工系统，其中，每个机台正在处理的晶圆批次信息包括：晶圆批次编号、 TIT、FPT、Tn和Te; 其中，T口表示晶圆批次进入机台的时间，FPT表示预计晶圆批次完成制程所需的 时间，In表示当前时间，Ti；表示所述预估时间。 所述的派工系统，其中，[003引所述第一计算单元获取Tw、Te、TIT、FTP后，计算Tw+Te-TIT-FTP的值，若大于零，贝U判断出机台在后续的T,内能够对当前的晶圆批次结束制程，从而使机台中对应的负载端口 空闲，若小于零，则判断出机台在后续的Tc内不能够对当前的晶圆批次结束制程，从而机台 不空闲； 所述第二计算单元对所述第一计算模块计算Tw+Te-UT-FTP后所得到值从大到小 进行排序，从而确定各负载端口的空闲顺序，且W每个机台中最先空闲的负载端口作为该 机台的最先空闲时间，W得到各机台的空闲顺序。上述技术方案具有如下优点或有益效果： 本专利技术通过对机台组下的机台进行派货优化，避免了同一机台组下机台在预定晶 圆批次时发生同时预定同一批晶圆的情况，可W在很大程度上提高工厂的生产效率，大大 降低了派货错误的发生几率。【附图说明】 参考所附附图，W更加充分的描述本专利技术的实施例。然而，所附附图仅用于说明和 阐述，并不构成对本专利技术范围的限制。 图1是本专利技术基于实时派工系统的机台组下的晶圆批次派工方法的步骤流程示 意图； 图2是本专利技术实施例中生成关于机台组的派工结果的逻辑框图。【具体实施方式】 本专利技术提供了一种基于实时派工系统的机台组下的晶圆批次派工方法。[00川如图1所示，本专利技术方法主要包括W下步骤： 步骤1、基于有效机台信息和线上晶圆批次数据，设定一机台组下每个机当前第1页1 2 3 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于实时派工系统的机台组下的晶圆批次派工方法，其特征在于，所述方法包括：基于有效机台信息和线上晶圆批次数据，设定一机台组下每个机台的负载端口的数量、每个机台的实时派货规则，以及各个机台上派货至该机台的每个晶圆批次的预定时间规格；实时获取每个机台正在处理的晶圆批次信息，并根据每个机台的负载端口的数量和每个机台正在处理的晶圆批次信息，计算出后续一段预估时间内各个机台的空闲顺序；按照所述空闲顺序依次更新每个机台的实时派货规则，并根据更新后实时派货规则得到每个机台的派货结果；其中，对任一所述机台的实时派货规则进行更新后，均释放已派货至该机台且超过所述预定时间规格的晶圆批次，并将释放的晶圆批次并入待派货的晶圆批次中，然后再基于该待派货晶圆批次对后续一所述机台的实时派货规则进行更新，且同一时刻一个晶圆批次只能派货至一个机台。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵晨，谭小兵，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31