本发明专利技术提供一种偏振光照射装置，可在照射范围内获得良好的偏振轴特性。本发明专利技术具备光源(5)、滤光器(20)、偏振元件(25)、偏振元件保持部(26)以及遮光板(30)。光源(5)射出光。滤光器(20)被照射自光源(5)射出的光而射出紫外线。偏振元件(25)配设在滤光器(20)的与光源(5)相对向的一侧，入射紫针线且出射偏振光。偏振元件保持部(26)保持偏振元件(25)且具有使自偏振元件(25)出射的偏振光透射的开口部(27)。遮光板(30)配设在偏振元件保持部(26)的与光源(5)相对向的一侧，且包围开口部(27)而配设。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术的实施形态涉及一种用于液晶面板制造等中的偏振光照射装置。
技术介绍
作为在液晶面板等的制造时对取向膜进行取向处理时的技术，已知有摩擦 (riAbing)工序，但近年来，作为代替摩擦工序的技术，通过对取向膜照射既定波长的偏振 光而进行取向处理即所谓的光取向的技术受到关注。作为用W进行所述光取向的装置即偏 振光照射装置，例如提出了将作为线状光源的棒状灯、与具有线栅（wire grid)状的栅格的 线栅偏振元件组合而成的偏振光照射装置。 与利用蒸锻膜或布鲁斯特角炬rewster angle)的偏振元件相比，线栅偏振元件中 出射的偏振光的消光比对入射至偏振元件的光的角度的依存性变小。因此，即使是像自棒 状灯出射的光该样的发散光，只要入射角度为±45°的范围内，也可遍及光所照射的整个 区域而获得消光比相对良好的偏振光。因而，在该种偏振光照射装置中，通过将棒状灯的长 度设为与作为被处理物的取向膜的宽度对应的长度，且在进行取向处理时使取向膜相对于 偏振光照射装置而单向地移动，可利用一根棒状灯来进行大面积的取向膜的取向处理。 日本专利特开2009-265290号公报 日本专利特开2011-145381号公报
技术实现思路
此处，该种偏振光照射装置是W如下方式构成，即，能W尽可能多的光量对取向膜 的照射面照射光，具体而言，通过将源自棒状灯的光聚光于偏振元件上来抑制朝向偏振元 件的外侧的照射损失。然而，像该样将源自棒状灯的光聚光于偏振元件上时，透射过偏振元 件的偏振光会发生漫射。而且，在发生了漫射的偏振光所照射的被照射面上，偏振光会扩展 而超出偏振元件的面积。已知照射至超出偏振元件的面积的位置的偏振光的偏振轴会劣 化。如果将偏振轴已劣化的光照射至作为被照射物的取向膜，则会引起取向膜的特性降低。 本专利技术是鉴于所述情况而成，且目的在于提供一种偏振光照射装置，其抑制在照 射范围外的偏振轴特性降低的偏振光的照射。而且，本专利技术的第2目的在于提供一种使用 吸收型偏振元件的偏振光照射装置。 实施形态的偏振光照射装置具备；光源、滤光器、偏振元件、偏振元件保持部W及 遮光板。光源射出光。滤光器被照射自光源射出的光而射出紫外线。偏振元件配设在滤光 器的与光源相对向的一侧，入射紫外线并出射偏振光。偏振元件保持部保持偏振元件且具 有使自偏振元件出射的偏振光透射的开口部。遮光板配设在偏振元件保持部的与光源相对 向的一侧，且包围开口部而配设。在遮光板的开口部所处的一侧的相反侧的端部，配设有封 闭遮光板的内侧空间的透明构件。在遮光板的多个部位中形成有供气排气部。而且，实施 形态的偏振光照射装置具有：光源，射出光；第1偏振元件，使自光源射出的光中，与预先规 定的基准方向平行的偏振轴的偏振光透射；W及吸收型偏振元件，使透射过反射型偏振元 件的光中，与预先规定的基准方向平行的偏振轴的偏振光透射。而且，在光源与第1偏振元 件之间设置滤光器。而且，光源为水银灯或金属团化物灯。 根据本专利技术，可抑制照射范围外的偏振轴特性的降低。而且，根据本专利技术，可提供 一种使用吸收型偏振元件的偏振光照射装置。【附图说明】 图1是表示实施形态1的偏振光照射装置的构成的分解立体图。 图2是图1所示的偏振光照射装置的单点链线A-A的剖面A-A箭视图。 图3是表示图1所示的偏振光照射装置中的光的照射状态的说明图。 图4是关于未设置遮光板的偏振光照射装置的说明图。 图5是在X轴方向观察实施形态2的偏振光照射装置的剖面图。 图6是图5的B-B箭视图。 图7是图6的C-C箭视图。 图8是实施形态2的偏振光照射装置的变形例，且是在Y轴方向观察遮光板时的 说明图。 图9是图8的D-D箭视图。 图10是表示实施形态的紫外线照射装置的概略构成的立体图。图11是从Y轴方向观察实施形态的紫外线照射装置的图。 图12是表示实施形态的紫外线照射装置的第1偏振元件216的构成的示意图。 图13是表示实施形态的紫外线照射装置的变形例的示意图。 图14是表示实施形态的紫外线照射装置的变形例的图。 图15是表示实施形态的紫外线照射装置的另一变形例的图。 1、40、100 ;偏振光照射装置[003引 5 ;光源[003引 10 ;反射板 11 ;反射面12 ;空隙部 20 ;滤光器 21 ;滤光器框架[00測 25 ;偏振兀件 26 ;偏振元件保持部 27;开口部 30、50;遮光板 31、51;遮光板反射面 52;玻璃板（透明构件） 55;供气排气部[004引56;供气部[004引57;排气部 210、220、230;偏振光照射装置（紫外线照射装置） 211:光源[004引212;反光镜 214;滤光器 216;第1偏振兀件[005引216a;玻璃板 216b;格子 218;吸收型偏振元件[005引219;介质 C;灯中也 E ;冷却风[005引 F ;焦点 L1、L3;-部分光 L2、L4; 一部分偏振光 ml、m2;偏振光[006引 PA、PB ;偏振轴 U、U':光 UA;紫外线（光）[00财 UB、UC ;紫外线（偏振光）[006引 W;工件（对象物） X、Y、Z;轴[006引 Y1;箭头【具体实施方式】 W下将说明的实施形态的偏振光照射装置1、偏振光照射装置40具备光源5、滤光 器20、偏振兀件25、偏振兀件保持部26 W及遮光板30、遮光板50。光源5射出光。滤光器 20被照射自光源5射出的光而射出紫外线。偏振元件25配设在滤光器20的与光源5相对 向的一侧，入射紫外线并出射偏振光。偏振元件保持部26保持偏振元件25且具有使偏振 光透射的开口部27。遮光板30、遮光板50配设在偏振元件保持部26的与光源5相对向的 一侧，且包围开口部27而配设。 而且，在W下将说明的实施形态的偏振光照射装置40中，在遮光板50的开口部27 所处的一侧的相反侧的端部配设有封闭遮光板50的内侧空间的透明构件，即玻璃板52。 而且，在W下将说明的实施形态的偏振光照射装置40中，在遮光板50的多个部位 中形成有供气排气部55。 而且，W下将说明的实施形态的偏振光照射装置210具有光源211、第1偏振元件 216 W及吸收型偏振元件218。光源211射出光。第1偏振元件216使自光源211射出的 光中，与预先规定的基准方向平行的偏振轴的偏振光透射。吸收型偏振元件218使透射过 第1偏振元件216的光中，与预先规定的基准方向平行的偏振轴的偏振光透射。 而且，在W下将说明的实施形态的偏振光照射装置210中，在光源211与第1偏振 元件216之间设置滤光器214。 而且，在W下将说明的实施形态的偏振光照射装置210中，光源211为水银灯或金 属团化物灯。[实施形态U 接下来，基于图式对实施形态1的偏振光照射装置进行说明。图1是表示实施形 态1的偏振光照射装置的构成的分解立体图。图2是在X轴方向观察图1所示的偏振光照 射装置的剖面图。所述图1、图2所示的偏振光照射装置1例如用于液晶面板的取向膜或视 角补偿膜的取向膜等的制造。照射至作为被处理物的工件W的表面的紫外线的偏振轴的基 准方向可根据工件W的结构、用途或所要求的规格来适当设定。W下，将工件W的宽度方向 称为X轴方向，将与X轴方向正交且工件W本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种偏振光照射装置，其特征在于，具备：光源，射出光；滤光器，被照射自所述光源射出的所述光而射出紫外线；偏振元件，配设在所述滤光器的与所述光源相对向的一侧，入射所述紫外线且出射偏振光；偏振元件保持部，保持所述偏振元件且具有使自所述偏振元件出射的所述偏振光透射的开口部；以及遮光板，配设在所述偏振元件保持部的与所述光源相对向的一侧，且包围所述开口部而配设。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：田中贵章，田内亮彦，加藤刚雄，藤冈纯，松本卓马，前田祥平，
申请(专利权)人：东芝照明技术株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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