大行程三维纳米柔性运动平台制造技术

本发明专利技术公开了一种大行程三维纳米柔性运动平台。所述大行程三维纳米柔性运动平台包括：基座；终端平台；X向驱动器和Y向驱动器；第一Z向柔性解耦件和第二Z向柔性解耦件，第一Z向柔性解耦件的一端和第二Z向柔性解耦件的一端与终端平台相连；以及第一放大杆和第二放大杆，第一放大杆的下端通过第一下柔性铰链与基座相连且上端通过第一上柔性铰链与第一Z向柔性解耦件相连，第二放大杆的下端通过第二下柔性铰链与基座相连且上端通过第二上柔性铰链与第二Z向柔性解耦件相连，X向驱动器与第一放大杆相连，Y向驱动器与第二放大杆相连。所述大行程三维纳米柔性运动平台具有平面尺寸小、运动精度高等优点，兼具厘米级大行程和纳米级精度的优点。

【技术实现步骤摘要】
大行程三维纳米柔性运动平台
本专利技术涉及一种大行程三维纳米柔性运动平台。
技术介绍
现有的柔性微定位平台都是平面柔性微定位平台。具体地，现有的柔性微定位平台都是利用金属材料，通过线切割加工而成。因此，现有的柔性微定位平台存在行程小、平面尺寸大的缺点。
技术实现思路
本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种具有平面尺寸小、运动精度高、运动行程大的优点的大行程三维纳米柔性运动平台。根据本专利技术实施例的大行程三维纳米柔性运动平台包括：基座；终端平台，所述终端平台在Z向上位于所述基座的上方，所述终端平台位于所述基座的边沿的内侧；X向驱动器和Y向驱动器；第一Z向柔性解耦件和第二Z向柔性解耦件，所述第一Z向柔性解耦件和所述第二Z向柔性解耦件中的每一个沿Z向延伸，所述第一Z向柔性解耦件的一端与所述终端平台相连，所述第二Z向柔性解耦件的一端与所述终端平台相连；以及第一放大杆和第二放大杆，所述第一放大杆的下端通过第一下柔性铰链与所述基座相连，所述第一放大杆的上端通过第一上柔性铰链与所述第一Z向柔性解耦件相连，所述第二放大杆的下端通过第二下柔性铰链与所述基座相连，所述第二放大杆的上端通过第二上柔性铰链与所述第二Z向柔性解耦件相连，其中所述X向驱动器与所述第一放大杆相连，所述Y向驱动器与所述第二放大杆相连。根据本专利技术实施例的三维纳米柔性运动平台具有平面尺寸小、运动精度高、运动行程大的优点，且兼具厘米级大行程和纳米级精度的优点。另外，根据本专利技术上述实施例的大行程三维纳米柔性运动平台还可以具有如下附加的技术特征：根据本专利技术的一个实施例，所述第一Z向柔性解耦件为两个且两个所述第一Z向柔性解耦件相对Z向对称，所述第二Z向柔性解耦件为两个且两个所述第二Z向柔性解耦件相对Z向对称。根据本专利技术的一个实施例，所述大行程三维纳米柔性运动平台进一步包括：第一连接件，所述第一连接件与所述第一Z向柔性解耦件的上端相连，所述第一连接件通过所述第一上柔性铰链与所述第一放大杆的上端相连；L形的第二连接件，所述第二连接件的竖直肢沿Z向延伸，所述第二连接件的竖直肢的上端与所述终端平台相连，所述第二连接件的水平肢与所述第一Z向柔性解耦件的下端相连；第三连接件，所述第三连接件与所述第二Z向柔性解耦件的上端相连，所述第三连接件通过所述第二上柔性铰链与所述第二放大杆的上端相连；和L形的第四连接件，所述第四连接件的竖直肢沿Z向延伸，所述第四连接件的竖直肢的上端与所述终端平台相连，所述第四连接件的水平肢与所述第二Z向柔性解耦件的下端相连。根据本专利技术的一个实施例，所述大行程三维纳米柔性运动平台进一步包括：第一X向连接件，所述第一X向连接件沿X向延伸，所述第一X向连接件的一端与所述X向驱动器相连，所述第一X向连接件的另一端通过第一柔性铰链与所述第一放大杆相连；和第一Y向连接件，所述第一Y向连接件沿Y向延伸，所述第一Y向连接件的一端与所述Y向驱动器相连，所述第一Y向连接件的另一端通过第二柔性铰链与所述第二放大杆相连。根据本专利技术的一个实施例，所述大行程三维纳米柔性运动平台进一步包括：第一柔性解耦件，所述第一柔性解耦件的一端与所述基座相连，所述第一柔性解耦件的另一端与所述第一X向连接件相连；和第二柔性解耦件，所述第二柔性解耦件的一端与所述基座相连，所述第二柔性解耦件的另一端与所述第一Y向连接件相连。根据本专利技术的一个实施例，所述第一柔性解耦件沿Y向延伸，所述第二柔性解耦件沿X向延伸。根据本专利技术的一个实施例，所述大行程三维纳米柔性运动平台进一步包括：第三Z向柔性解耦件和第四Z向柔性解耦件，所述第三Z向柔性解耦件和所述第四Z向柔性解耦件中的每一个沿Z向延伸，所述第三Z向柔性解耦件的一端与所述终端平台相连，所述第四Z向柔性解耦件的一端与所述终端平台相连；以及第三放大杆和第四放大杆，所述第三放大杆的下端通过第三下柔性铰链与所述基座相连，所述第三放大杆的上端通过第三上柔性铰链与所述第三Z向柔性解耦件相连，所述第四放大杆的下端通过第四下柔性铰链与所述基座相连，所述第四放大杆的上端通过第四上柔性铰链与所述第四Z向柔性解耦件相连。根据本专利技术的一个实施例，所述大行程三维纳米柔性运动平台进一步包括：第五连接件，所述第五连接件与所述第三Z向柔性解耦件的上端相连，所述第五连接件通过所述第三上柔性铰链与所述第三放大杆的上端相连；L形的第六连接件，所述第六连接件的竖直肢沿Z向延伸，所述第六连接件的竖直肢的上端与所述终端平台相连，所述第六连接件的水平肢与所述第三Z向柔性解耦件的下端相连；第七连接件，所述第七连接件与所述第四Z向柔性解耦件的上端相连，所述第七连接件通过所述第四上柔性铰链与所述第四放大杆的上端相连；和L形的第八连接件，所述第八连接件的竖直肢沿Z向延伸，所述第八连接件的竖直肢的上端与所述终端平台相连，所述第八连接件的水平肢与所述第四Z向柔性解耦件的下端相连；第二X向连接件，所述第二X向连接件沿X向延伸，所述第二X向连接件的一端通过第三柔性铰链与所述第三放大杆相连；和第二Y向连接件，所述第二Y向连接件沿Y向延伸，所述第二Y向连接件的一端通过第四柔性铰链与所述第四放大杆相连。根据本专利技术的一个实施例，所述大行程三维纳米柔性运动平台进一步包括：第三柔性解耦件，所述第三柔性解耦件沿Y向延伸，所述第三柔性解耦件的一端与所述基座相连，所述第三柔性解耦件的另一端与所述第二X向连接件相连；和第四柔性解耦件，所述第四柔性解耦件沿X向延伸，所述第四柔性解耦件的一端与所述基座相连，所述第四柔性解耦件的另一端与所述第二Y向连接件相连。根据本专利技术的一个实施例，所述第一Z向柔性解耦件与所述第三Z向柔性解耦件相对YOZ平面对称，所述第二Z向柔性解耦件与所述第四Z向柔性解耦件相对XOZ平面对称，所述第一放大杆与所述第三放大杆相对YOZ平面对称，所述第二放大杆与所述第四放大杆相对XOZ平面对称。附图说明图1是根据本专利技术实施例的大行程三维纳米柔性运动平台的局部结构示意图；图2是根据本专利技术实施例的大行程三维纳米柔性运动平台的局部结构示意图；图3是根据本专利技术实施例的大行程三维纳米柔性运动平台的俯视图；图4是根据本专利技术实施例的大行程三维纳米柔性运动平台的结构示意图；图5是根据本专利技术实施例的大行程三维纳米柔性运动平台的结构示意图；图6是根据本专利技术实施例的大行程三维纳米柔性运动平台的局部结构示意图；图7是根据本专利技术实施例的大行程三维纳米柔性运动平台的在运动前的示意图；图8是根据本专利技术实施例的大行程三维纳米柔性运动平台的在运动后的示意图。具体实施方式下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。下面参考附图描述根据本专利技术实施例的大行程三维纳米柔性运动平台10。如图1-图8所示，根据本专利技术实施例的大行程三维纳米柔性运动平台10包括基座101、终端平台102、X向驱动器(图中未示出)、Y向驱动器(图中未示出)、第一Z向柔性解耦件1041、第二Z向柔性解耦件1042、第一放大杆1051和第二放大杆1052。终端平台102在Z向上位于基座101的上方，终端平台102位于基座101的边沿的内侧。换言之，终端平台102在本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大行程三维纳米柔性运动平台，其特征在于，包括：基座；终端平台，所述终端平台在Z向上位于所述基座的上方，所述终端平台位于所述基座的边沿的内侧；X向驱动器和Y向驱动器；第一Z向柔性解耦件和第二Z向柔性解耦件，所述第一Z向柔性解耦件和所述第二Z向柔性解耦件中的每一个沿Z向延伸，所述第一Z向柔性解耦件的一端与所述终端平台相连，所述第二Z向柔性解耦件的一端与所述终端平台相连；以及第一放大杆和第二放大杆，所述第一放大杆的下端通过第一下柔性铰链与所述基座相连，所述第一放大杆的上端通过第一上柔性铰链与所述第一Z向柔性解耦件相连，所述第二放大杆的下端通过第二下柔性铰链与所述基座相连，所述第二放大杆的上端通过第二上柔性铰链与所述第二Z向柔性解耦件相连，其中所述X向驱动器与所述第一放大杆相连，所述Y向驱动器与所述第二放大杆相连。

【技术特征摘要】
1.一种大行程三维纳米柔性运动平台，其特征在于，包括：基座；终端平台，所述终端平台在Z向上位于所述基座的上方，所述终端平台位于所述基座的边沿的内侧；X向驱动器和Y向驱动器；第一Z向柔性解耦件和第二Z向柔性解耦件，所述第一Z向柔性解耦件和所述第二Z向柔性解耦件中的每一个沿Z向延伸，所述第一Z向柔性解耦件的一端与所述终端平台相连，所述第二Z向柔性解耦件的一端与所述终端平台相连；以及第一放大杆和第二放大杆，所述第一放大杆的下端通过第一下柔性铰链与所述基座相连，所述第一放大杆的上端通过第一上柔性铰链与所述第一Z向柔性解耦件相连，所述第二放大杆的下端通过第二下柔性铰链与所述基座相连，所述第二放大杆的上端通过第二上柔性铰链与所述第二Z向柔性解耦件相连，其中所述X向驱动器与所述第一放大杆相连，所述Y向驱动器与所述第二放大杆相连；第一连接件，所述第一连接件与所述第一Z向柔性解耦件的上端相连，所述第一连接件通过所述第一上柔性铰链与所述第一放大杆的上端相连；L形的第二连接件，所述第二连接件的竖直肢沿Z向延伸，所述第二连接件的竖直肢的上端与所述终端平台相连，所述第二连接件的水平肢与所述第一Z向柔性解耦件的下端相连；第三连接件，所述第三连接件与所述第二Z向柔性解耦件的上端相连，所述第三连接件通过所述第二上柔性铰链与所述第二放大杆的上端相连；和L形的第四连接件，所述第四连接件的竖直肢沿Z向延伸，所述第四连接件的竖直肢的上端与所述终端平台相连，所述第四连接件的水平肢与所述第二Z向柔性解耦件的下端相连。2.根据权利要求1所述的大行程三维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述第一Z向柔性解耦件为两个且两个所述第一Z向柔性解耦件相对Z向对称，所述第二Z向柔性解耦件为两个且两个所述第二Z向柔性解耦件相对Z向对称。3.根据权利要求1所述的大行程三维纳米柔性运动平台，其特征在于，进一步包括：第一X向连接件，所述第一X向连接件沿X向延伸，所述第一X向连接件的一端与所述X向驱动器相连，所述第一X向连接件的另一端通过第一柔性铰链与所述第一放大杆相连；和第一Y向连接件，所述第一Y向连接件沿Y向延伸，所述第一Y向连接件的一端与所述Y向驱动器相连，所述第一Y向连接件的另一端通过第二柔性铰链与所述第二放大杆相连。4.根据权利要求3所述的大行程三维纳米柔性运动平台，其特征在于，进一步包括：第一柔性解耦件，所述第一柔性解耦件的一端与所述基座相连，所述第一柔性解耦件的另一端与所述第一X向连接件相连；和第二柔性解耦件，所述第二柔性解耦件的一端与所述基座相连，所述第二柔性解耦件的另一端与所述第一Y向连接件相连。5....

【专利技术属性】
技术研发人员：张震，汤佳骏，王鹏，闫鹏，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：北京;11