二维纳米柔性运动平台制造技术

本发明专利技术公开了一种二维纳米柔性运动平台。所述二维纳米柔性运动平台包括：基座；终端平台，所述终端平台位于所述基座的边沿的内侧；X向驱动器和Y向驱动器；第一X向柔性解耦件和第一柔性解耦件，所述第一X向柔性解耦件沿X向延伸且分别与所述终端平台和所述X向驱动器相连，所述第一柔性解耦件具有折弯部且分别与所述基座和所述X向驱动器相连；以及第二柔性解耦件和第一Y向柔性解耦件，所述第二柔性解耦件具有折弯部且分别与所述基座和所述Y向驱动器相连，所述第一Y向柔性解耦件沿Y向延伸且分别与所述终端平台和所述Y向驱动器相连。根据本发明专利技术实施例的二维纳米柔性运动平台兼具厘米级大行程和纳米级精度的优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种二维纳米柔性运动平台。
技术介绍
现有的二维纳米柔性运动平台存在终端平台位移寄生误差大的缺陷。
技术实现思路
本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本专利技术的一个目的在于提出一种具有运动精度高的优点的二维纳米柔性运动平台，所述二维纳米柔性运动平台兼具厘米级大行程和纳米级精度的优点。根据本专利技术实施例的二维纳米柔性运动平台包括：基座；终端平台，所述终端平台位于所述基座的边沿的内侧；X向驱动器和Y向驱动器；第一X向柔性解耦件和第一柔性解耦件，所述第一X向柔性解耦件沿X向延伸且分别与所述终端平台和所述X向驱动器相连，所述第一柔性解耦件具有折弯部且分别与所述基座和所述X向驱动器相连；以及第二柔性解耦件和第一Y向柔性解耦件，所述第二柔性解耦件具有折弯部且分别与所述基座和所述Y向驱动器相连，所述第一Y向柔性解耦件沿Y向延伸且分别与所述终端平台和所述Y向驱动器相连。根据本专利技术实施例的二维纳米柔性运动平台10具有运动精度高等优点，且兼具厘米级大行程和纳米级精度的优点。另外，根据本专利技术上述实施例的二维纳米柔性运动平台还可以具有如下附加的技术特征：根据本专利技术的一个实施例，所述第一柔性解耦件和所述第二柔性解耦件中的每一个为弧形、S形或Z形。根据本专利技术的一个实施例，所述第一柔性解耦件包括多个沿Y向延伸的第一连接件和至少一个沿X向延伸的第二连接件，其中多个所述第一连接件中的位于一端的一个与所述基座相连，多个所述第一连接件中的位于另一端的一个与所述X向驱动器相连，相邻两个所述第一连接件通过所述第二连接件相连。根据本专利技术的一个实施例，所述第二柔性解耦件包括多个沿X向延伸的第三连接件和至少一个沿Y向延伸的第四连接件，其中多个所述第三连接件中的位于一端的一个与所述基座相连，多个所述第三连接件中的位于另一端的一个与所述Y向驱动器相连，相邻两个所述第三连接件通过所述第四连接件相连。根据本专利技术的一个实施例，所述第一柔性解耦件在X向上的长度与所述第一X向柔性解耦件在X向上的长度之比小于1：5，所述第二柔性解耦件在Y向上的长度与所述第一Y向柔性解耦件在Y向上的长度之比小于1：5。根据本专利技术的一个实施例，所述二维纳米柔性运动平台进一步包括：第二X向柔性解耦件和第三柔性解耦件，所述第二X向柔性解耦件沿X向延伸且与所述终端平台相连，所述第三柔性解耦件具有折弯部且与所述基座相连；以及第四柔性解耦件和第二Y向柔性解耦件，所述第四柔性解耦件具有折弯部且与所述基座相连，所述第二Y向柔性解耦件沿Y向延伸且与所述终端平台相连。根据本专利技术的一个实施例，所述第一X向柔性解耦件与所述第二X向柔性解耦件相对Y向对称，所述第一柔性解耦件与所述第三柔性解耦件相对Y向对称；所述第二柔性解耦件与所述第四柔性解耦件相对X向对称，所述第一Y向柔性解耦件与所述第二Y向柔性解耦件相对X向对称。根据本专利技术的一个实施例，所述第三柔性解耦件和所述第四柔性解耦件中的每一个为弧形、S形或Z形。根据本专利技术的一个实施例，所述第三柔性解耦件包括多个沿Y向延伸的第五连接件和至少一个沿X向延伸的第六连接件，其中多个所述第五连接件中的位于一端的一个与所述基座相连，相邻两个所述第五连接件通过所述第六连接件相连。根据本专利技术的一个实施例，所述第四柔性解耦件包括多个沿X向延伸的第七连接件和至少一个沿Y向延伸的第八连接件，其中多个所述第七连接件中的位于一端的一个与所述基座相连，相邻两个所述第七连接件通过所述第八连接件相连。根据本专利技术的一个实施例，所述二维纳米柔性运动平台进一步包括：相对X向对称的第一柔性支撑件和第二柔性支撑件，所述第一柔性支撑件和所述第二柔性支撑件中的每一个分别与所述基座和所述终端平台相连，所述X向驱动器、所述第一X向柔性解耦件和所述第一柔性解耦件位于所述第一柔性支撑件和所述第二柔性支撑件之间；以及相对X向对称的第三柔性支撑件和第四柔性支撑件，所述第一柔性支撑件与所述第三柔性支撑件相对Y向对称，所述第二柔性支撑件与所述第四柔性支撑件相对Y向对称，其中所述第三柔性支撑件和所述第四柔性支撑件中的每一个分别与所述基座和所述终端平台相连，所述Y向驱动器、所述第二柔性解耦件和所述第一Y向柔性解耦件位于所述第二柔性支撑件和所述第四柔性支撑件之间，所述第一柔性支撑件至所述第四柔性支撑件中的每一个为两个且形成平行四边形或椭圆形。根据本专利技术的一个实施例，所述终端平台、所述第一柔性支撑件至所述第四柔性支撑件中的每一个在Z向上的高度大于或等于所述第一X向柔性解耦件、所述第一柔性解耦件、所述第二柔性解耦件和所述第一Y向柔性解耦件中的每一个在Z向上的高度。附图说明图1是根据本专利技术实施例的二维纳米柔性运动平台的结构示意图；图2是图1中的A区域的放大图；图3是图1中的B区域的放大图；图4是根据本专利技术实施例的二维纳米柔性运动平台的结构示意图。具体实施方式下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。下面参考图1-图4描述根据本专利技术实施例的二维纳米柔性运动平台10。如图1-图4所示，根据本专利技术实施例的二维纳米柔性运动平台10包括基座101、终端平台102、X向驱动器(图中未示出)、Y向驱动器(图中未示出)、第一X向柔性解耦件1041、第一柔性解耦件1051、第二柔性解耦件1042和第一Y向柔性解耦件1052。终端平台102位于基座101的边沿的内侧。第一X向柔性解耦件1041沿X向延伸，且第一X向柔性解耦件1041分别与终端平台102和该X向驱动器相连，第一柔性解耦件1051具有折弯部，且第一柔性解耦件1051分别与基座101和X向驱动器相连。换言之，第一X向柔性解耦件1041与终端平台102和该X向驱动器中的每一个均相连，第一柔性解耦件1051与基座101和该X向驱动器中的每一个均相连。第二柔性解耦件1042具有折弯部，且第二柔性解耦件1042分别与基座101和该Y向驱动器相连，第一Y向柔性解耦件1052沿Y向延伸，且第一Y向柔性解耦件1052分别与终端平台102和该Y向驱动器相连。也就是说，第二柔性解耦件1042与基座101和该Y向驱动器中的每一个均相连，第一Y向柔性解耦件1052与终端平台102和该Y向驱动器中的每一个均相连。下面参考图1-图4描述根据本专利技术实施例的二维纳米柔性运动平台10的工作过程。当本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种二维纳米柔性运动平台，其特征在于，包括：基座；终端平台，所述终端平台位于所述基座的边沿的内侧；X向驱动器和Y向驱动器；第一X向柔性解耦件和第一柔性解耦件，所述第一X向柔性解耦件沿X向延伸且分别与所述终端平台和所述X向驱动器相连，所述第一柔性解耦件具有折弯部且分别与所述基座和所述X向驱动器相连；以及第二柔性解耦件和第一Y向柔性解耦件，所述第二柔性解耦件具有折弯部且分别与所述基座和所述Y向驱动器相连，所述第一Y向柔性解耦件沿Y向延伸且分别与所述终端平台和所述Y向驱动器相连。

【技术特征摘要】
1.一种二维纳米柔性运动平台，其特征在于，包括：
基座；
终端平台，所述终端平台位于所述基座的边沿的内侧；
X向驱动器和Y向驱动器；
第一X向柔性解耦件和第一柔性解耦件，所述第一X向柔性解耦件沿X向延伸且分别
与所述终端平台和所述X向驱动器相连，所述第一柔性解耦件具有折弯部且分别与所述基
座和所述X向驱动器相连；以及
第二柔性解耦件和第一Y向柔性解耦件，所述第二柔性解耦件具有折弯部且分别与所
述基座和所述Y向驱动器相连，所述第一Y向柔性解耦件沿Y向延伸且分别与所述终端平
台和所述Y向驱动器相连。
2.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述第一柔性解耦件
和所述第二柔性解耦件中的每一个为弧形、S形或Z形。
3.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述第一柔性解耦件
包括多个沿Y向延伸的第一连接件和至少一个沿X向延伸的第二连接件，其中多个所述第
一连接件中的位于一端的一个与所述基座相连，多个所述第一连接件中的位于另一端的一
个与所述X向驱动器相连，相邻两个所述第一连接件通过所述第二连接件相连。
4.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述第二柔性解耦件
包括多个沿X向延伸的第三连接件和至少一个沿Y向延伸的第四连接件，其中多个所述第
三连接件中的位于一端的一个与所述基座相连，多个所述第三连接件中的位于另一端的一
个与所述Y向驱动器相连，相邻两个所述第三连接件通过所述第四连接件相连。
5.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述第一柔性解耦件
在X向上的长度与所述第一X向柔性解耦件在X向上的长度之比小于1：5，所述第二柔性
解耦件在Y向上的长度与所述第一Y向柔性解耦件在Y向上的长度之比小于1：5。
6.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，进一步包括：
第二X向柔性解耦件和第三柔性解耦件，所述第二X向柔性解耦件沿X向延伸且与所
述终端平台相连，所述第三柔性解耦件具有折弯部且与所述基座相连；以及
第四柔性解耦件和第二Y向柔性解耦件，所述第四柔性解耦件具有折弯部且与所述基
座相连，所述第二Y向柔性解耦件沿Y向延伸且与所述终端平台相连。
7.根据权利要求6所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，
所述第一X向柔...

【专利技术属性】
技术研发人员：张震，王鹏，闫鹏，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：北京;11