二维纳米柔性运动平台制造技术
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种二维纳米柔性运动平台。
技术介绍
现有的二维纳米柔性运动平台存在终端平台位移寄生误差大的缺陷。
技术实现思路
本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本专利技术的一个目的在于提出一种具有运动精度高的优点的二维纳米柔性运动平台，所述二维纳米柔性运动平台兼具厘米级大行程和纳米级精度的优点。根据本专利技术实施例的二维纳米柔性运动平台包括：基座；终端平台，所述终端平台位于所述基座的边沿的内侧；X向驱动器和Y向驱动器；第一X向柔性解耦件和第一柔性解耦件，所述第一X向柔性解耦件沿X向延伸且分别与所述终端平台和所述X向驱动器相连，所述第一柔性解耦件具有折弯部且分别与所述基座和所述X向驱动器相连；以及第二柔性解耦件和第一Y向柔性解耦件，所述第二柔性解耦件具有折弯部且分别与所述基座和所述Y向驱动器相连，所述第一Y向柔性解耦件沿Y向延伸且分别与所述终端平台和所述Y向驱动器相连。根据本专利技术实施例的二维纳米柔性运动平台10具...
【技术保护点】
一种二维纳米柔性运动平台，其特征在于，包括：基座；终端平台，所述终端平台位于所述基座的边沿的内侧；X向驱动器和Y向驱动器；第一X向柔性解耦件和第一柔性解耦件，所述第一X向柔性解耦件沿X向延伸且分别与所述终端平台和所述X向驱动器相连，所述第一柔性解耦件具有折弯部且分别与所述基座和所述X向驱动器相连；以及第二柔性解耦件和第一Y向柔性解耦件，所述第二柔性解耦件具有折弯部且分别与所述基座和所述Y向驱动器相连，所述第一Y向柔性解耦件沿Y向延伸且分别与所述终端平台和所述Y向驱动器相连。
【技术特征摘要】
1.一种二维纳米柔性运动平台，其特征在于，包括：
基座；
终端平台，所述终端平台位于所述基座的边沿的内侧；
X向驱动器和Y向驱动器；
第一X向柔性解耦件和第一柔性解耦件，所述第一X向柔性解耦件沿X向延伸且分别
与所述终端平台和所述X向驱动器相连，所述第一柔性解耦件具有折弯部且分别与所述基
座和所述X向驱动器相连；以及
第二柔性解耦件和第一Y向柔性解耦件，所述第二柔性解耦件具有折弯部且分别与所
述基座和所述Y向驱动器相连，所述第一Y向柔性解耦件沿Y向延伸且分别与所述终端平
台和所述Y向驱动器相连。
2.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述第一柔性解耦件
和所述第二柔性解耦件中的每一个为弧形、S形或Z形。
3.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述第一柔性解耦件
包括多个沿Y向延伸的第一连接件和至少一个沿X向延伸的第二连接件，其中多个所述第
一连接件中的位于一端的一个与所述基座相连，多个所述第一连接件中的位于另一端的一
个与所述X向驱动器相连，相邻两个所述第一连接件通过所述第二连接件相连。
4.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述第二柔性解耦件
包括多个沿X向延伸的第三连接件和至少一个沿Y向延伸的第四连接件，其中多个所述第
三连接件中的位于一端的一个与所述基座相连，多个所述第三连接件中的位于另一端的一
个与所述Y向驱动器相连，相邻两个所述第三连接件通过所述第四连接件相连。
5.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述第一柔性解耦件
在X向上的长度与所述第一X向柔性解耦件在X向上的长度之比小于1：5，所述第二柔性
解耦件在Y向上的长度与所述第一Y向柔性解耦件在Y向上的长度之比小于1：5。
6.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，进一步包括：
第二X向柔性解耦件和第三柔性解耦件，所述第二X向柔性解耦件沿X向延伸且与所
述终端平台相连，所述第三柔性解耦件具有折弯部且与所述基座相连；以及
第四柔性解耦件和第二Y向柔性解耦件，所述第四柔性解耦件具有折弯部且与所述基
座相连，所述第二Y向柔性解耦件沿Y向延伸且与所述终端平台相连。
7.根据权利要求6所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，
所述第一X向柔...
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