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本发明公开了一种二维纳米柔性运动平台。所述二维纳米柔性运动平台包括：基座；终端平台，所述终端平台位于所述基座的边沿的内侧；X向驱动器和Y向驱动器；第一X向柔性解耦件和第一柔性解耦件，所述第一X向柔性解耦件沿X向延伸且分别与所述终端平台和所述...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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