【技术实现步骤摘要】
本专利技术特别涉及一种晶片盒门改进结构。
技术介绍
现有技术中，晶片生产加工设备的晶片盒门采用聚四氟乙烯层3’来固定盒门橡胶圈，因此需要螺丝将聚四氟乙烯层3’固定拧紧在晶片盒门I’上。当晶片盒门I’上下起伏波动时，螺丝2’脱离且接触设备的前面板，该前面板为烤漆表面，导致前面板产生刮痕且造成粒子源，从而影响晶片的产量。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种晶片盒门改进结构，直接在晶片盒门开设密封槽，抛弃了传统的通过螺丝固定聚四氟乙烯层的方式来固定橡胶圈，避免了晶片盒门起伏时，螺丝脱离且接触设备的前面板，并提高了晶片的产量。为了实现以上目的，本专利技术是通过以下技术方案实现的: 一种晶片盒门改进结构，其特点是，包含: 晶片盒门本体，所述的晶片盒门本体口部设有一圈密封槽； 密封件，其设置在密封槽内。所述的密封件为橡胶圈。本专利技术与现有技术相比，具有以下优点: 本专利技术直接在晶片盒门开设密封槽，并将密封件配合设置在密封槽中，抛弃了传统的通过螺丝固定聚四氟乙烯层的方式来固定橡胶圈，避免了晶片盒门起伏时，螺丝脱离且接触设备的前面板，并提高了晶片的产...
【技术保护点】
一种晶片盒门改进结构，其特征在于，包含：晶片盒门本体（1），所述的晶片盒门本体（1）口部设有一圈密封槽（11）；密封件（2），其设置在密封槽（11）内。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：钮晨光，蔡辉，陈超，
申请(专利权)人：上海华虹宏力半导体制造有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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