电子束熔炼制备钒靶材的方法技术

电子束熔炼制备钒靶材的方法，属于靶材的制备技术领域。以棒状、条状等不规则的金属钒材边角料或含钒90%的钒铝合金为原料，在电磁聚焦电子束熔炼炉中熔炼，采用下拉制锭，炉体内的压强为1x10-1—1x10-3Pa,电子枪电压2.5-3万伏，电流3-6安培，制成产品直径为100-150mm，锭长500-1300mm，该法生产出的产品纯度可达99.95%以上，完全可以满足离子镀膜对靶材的需求。对于废弃的钒靶还可以回收重熔，具有成本低、提纯效果好、工艺简单的特点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用物理冶金技术制备高纯钒靶材的
，特别涉及一种电子束熔 炼技术将钒中的铝、铁等杂质去除的方法，属于靶材的制备

技术介绍
二氧化钒（VO2)薄膜由半导体相转变为金属相的相变温度是68°C，伴随着相的转 变，VO 2薄膜的电学和光学性能发生可逆性突变，使得VO2薄膜成为制造电学、光学器件的 理想功能材料。例如可制成微测辐射热计、存储器、光开关等等。通过薄膜掺杂技术，可以 把相变温度降低到室温，当气温发生变化时，产生相变涂层的透射系数也随之发生变化，特 别是用于制成智能玻璃窗，对于节约能源有着十分重要的意义。 这类制膜技术的主要原材料就是钒靶材，高纯钒靶材将有着广泛的应用前景。以 往制作难熔金属的靶材多采用粉末冶金法，对于熔点较低的金属也有用真空熔炼的方法， 但以上工艺较复杂，靶材纯度较低。
技术实现思路
本专利技术鉴于现有技术所存在的问题，旨在公开一种电子束熔炼去除钒中杂质的方 法，即利用电子束熔炼技术，制备高纯度的靶材用钒锭。 本专利技术的技术解决方案是这样实现的： ，其特征在于，用氩弧焊连接棒状、条状等不规则的 金属钒材边角料，或者用含钒本文档来自技高网...

【技术保护点】
电子束熔炼制备钒靶材的方法，其特征在于，用氩弧焊连接不规则的金属钒材边角料，或者用含钒90%的钒铝合金置于电磁聚焦电子束熔炼炉的料仓作为熔料电极；通过高能电子束对熔料电极进行轰击、熔化、熔炼，并在一直抽真空的条件下经过蒸发的方式获得高纯度的钒靶材。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：席晓丽，苏学宽，陈文娟，聂祚仁，
申请(专利权)人：北京工业大学，
类型：发明
国别省市：北京;11