多发光单元半导体激光器近场非线性自动测试方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术提出了多发光单元半导体激光器近场非线性自动化测试方法及装置，采用对半导体激光器腔面光斑进行自动识别，设有参考光作为反馈判断光进行判断实现精确调节，提高了多发光单元半导体激光器近场非线性的准确性。本发明专利技术自动化程度高，降低由于人工操作带来的误差；本发明专利技术中，设有参考光作为反馈判断光可以实现半导体激光器腔面光斑自动化识别并可以进行判断实现精确调节，提高了多发光单元半导体激光器近场非线性的准确性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体激光器测试
，涉及一种多发光单元半导体激光器近场非线性的自动化测试方法及装置。
技术介绍
高功率半导体激光器具有体积小、重量轻、效率高、寿命长等优点，已广泛用于激光加工、激光医疗、激光显示及科学研宄领域，因此半导体激光器技术成为新世纪发展快、成果多、学科渗透广、应用范围大的综合性高新技术。相比单发射腔半导体激光器，多发光单元半导体激光器(高功率半导体激光器阵列)的输出功率有了大幅度提高。但是工作中的多发光单元半导体激光器(高功率半导体激光器阵列(LDA))，各发光单元不在一条直线上，导致了 LDA整体发光弯曲，称之为近场非线性效应，也称Smile效应。Smile效应增加了快轴准直镜的离轴像差，通常5 μπι的smile效应能引起2倍的光束质量的降低，严重影响了半导体激光光束传播、聚焦、整形，进而会降低光纤耦合效率，成为限制半导体激光光束直接用于激光切割、加工、打标的一个重要因素。通过对Smile的表征能够对提升封装工艺，降低Smile效应提供有益的帮助。目前准确测量smile效应的方法主要有三种:近场扫描光学显微镜法(NS0M)、干涉成像法、LDA本文档来自技高网...

【技术保护点】
多发光单元半导体激光器近场非线性自动化测试方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：待测多发光单元半导体激光器发出的光束入射至快轴准直镜，出射光经分光装置分光，分成光束B和参考光束A，参考光束A在空气中自由传播并入射至图像传感器M，光束B入射至成像系统后再入射至图像传感器N；步骤二：建立三维直角坐标系，以快轴准直镜光心为原点O，沿光束传输方向为Z轴正方向，半导体激光器快轴方向为Y轴，半导体激光器慢轴方向为X轴，沿Z轴平移调节快轴准直镜或者沿Y轴平移调节快轴准直镜或者以Z轴为旋转轴旋转调节快轴准直镜或者以Y轴为旋转轴旋转调节快轴准直镜或者以X轴为旋转轴旋转调节快轴准直镜，直至参考光束A在图像传感器...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘兴胜，王昊，刘晖，孙翔，沈泽南，吴迪，
申请(专利权)人：西安炬光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西;61