高硬度和高耐磨性TiAlN/ZrSiN纳米结构保护性涂层及其制备方法技术
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种新型保护性涂层，特别涉及一种具有TiAlN和ZrSiN交替沉积的，主要应用在高承载、高耐磨的零件表面，从而提高零件的使用寿命。
技术介绍
随着先进制造业的发展，对材料的表面性能提出了越来越高的要求，要求材料表面具有较高的硬度、耐磨、耐腐蚀和耐高温性能。在材料表面涂覆一层超硬涂层是提高材料表面性能的一种有效途径，它的发展适应了现代制造业对金属切削刀具的高技术要求，可被广泛应用于机械制造、汽车工业、地质钻探、模具工业等领域。随着高速切削、干式切削等先进切削技术的不断发展，对涂层的性能也提出了更高的要求，传统的涂层，如TiN、TiCN,CrN、TiAlN涂层已逐渐不能满足要求。随着纳米科学与技术的发展，纳米结构涂层成为硬质涂层材料的重要发展方向。所谓纳米结构涂层包括纳米多层和纳米复合两种结构。多层涂层是由两种或两种以上成分或结构不同的材料在垂直于涂层表面方向上相互交替生长而形成的二维多层材料，对于两种不同结构或组成的多层涂层，每相邻两层形成一个基本单元，其厚度称为调制周期，通常将调制周期小于10nm的多层涂层称为纳米多层涂层，研宄表明，当调制...
【技术保护点】
一种高硬度和高耐磨性TiAlN/ZrSiN纳米结构保护性涂层，其特征在于，该涂层包括若干个交替沉积的TiAlN层和ZrSiN层。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：卢建富，蒋海明，楼建军，楼义，李伟，
申请(专利权)人：浙江金盾链条制造有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33
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