下载高硬度和高耐磨性TiAlN/ZrSiN纳米结构保护性涂层及其制备方法的技术资料

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本发明提供了高硬度和高耐磨性TiAlN/ZrSiN纳米结构保护性涂层及其制备方法,属于保护性涂层技术领域。该涂层包括若干个交替沉积的TiAlN层和ZrSiN层;在制作该涂层时,将基片用TiAl靶和ZrSi靶交替溅射若干次制得。本发明的涂层具...
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