本发明专利技术公开了一种掩膜板及其制备方法、显示面板、显示装置，本发明专利技术通过对掩膜板进行改进，具体地，对掩膜板的每个开口的至少部分侧切面与蒸镀时靠近基板一侧的表面的交界处设置有缺口，该缺口使用化学刻蚀或者激光切割方法实现，该缺口能够使得蒸镀时开口靠近基板一侧的面积大于开口远离基板一侧的面积，从而，增大了基板上蒸镀的膜层边缘区域的面积，提升了边缘区域的平坦化程度，避免了后续形成的金属膜层由于台阶过高而发生断裂的可能，提高了产品的良率。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种掩膜板及其制备方法、显示面板、显示装置。
技术介绍
现有技术中，在制作OLED显示面板时，一般常采用真空蒸镀的方式将有机材料或金属材料等蒸镀到基底上，形成所需的膜层。具体地，利用如图1(a)所示的具有多个开口11的掩膜板，包括遮挡板12和外边框13，通过在真空腔室中对蒸镀源进行高温加热，使得有机材料或金属材料穿过开口蒸发到基底上，形成相应的膜层。如图1(b)所示，为现有掩膜板中任意一个开口 11及其附近的遮挡板12的剖面结构图，该开口 11由遮挡板切面14包围而成，且该开口 11附近的遮挡板12的截面呈八字形，在实际的蒸镀沉积过程中，蒸镀源蒸发出来的有机材料或金属材料呈束状喷射，利用遮挡板12的遮挡，将有机材料或金属材料穿过开口 11，蒸发到基板15上，由图1(b)可知，由于束状喷射，其形成的膜层16的中间区域的膜层较为均匀，而膜层的边缘区域存在一个类似于台阶的坡度，大概为2000至3000埃，这一坡度的存在，会在后续蒸镀金属材料时，导致形成的金属膜层的断裂，造成器件短路。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种掩膜板及其制备方法、显示面板、显示装置，用以解决现有技术中存在的由于利用现有的掩膜板蒸镀形成的膜层边缘区域的坡度较大而导致后续形成的金属膜层容易发生断裂，进而导致器件短路的问题。本专利技术实施例采用以下技术方案:一种掩膜板，用于对基板进行蒸镀，包括遮挡板，所述遮挡板上分布有若干个预设形状的开口，每个开口均由遮挡板厚度方向上侧切面包围，在包围所述开口的至少部分所述侧切面与蒸镀时靠近基板一侧的表面的交界处上设置有缺口，使得所述开口靠近基板一侧的面积大于所述开口远离基板一侧的面积。优选地，所述遮挡板的纵切面上，所述缺口的图形为三角形或矩形。优选地，所述缺口的最大深度小于或等于所述遮挡板的最小厚度。优选地，所述预设形状为矩形，在所述开口的4个侧切面与所述蒸镀时靠近基板一侧的表面的交界处上都设置有缺口。优选地，所述掩膜板还包括外边框，所述掩膜板的外边框和遮挡板的材料为不锈钢金属或者镍铁合金。优选地，所述掩膜板还包括:第一切点、第二切点、第一延长线和第三交点，其中第一切点是所述遮挡板纵切面上切线与所述侧切面的交点，第二切点是所述遮挡板纵切面上切线与所述表面的交点，第一延长线是蒸镀源中心与所述第一切点连线的延长线，第三交点是所述第一延长线与所述表面的交点，第二切点到所述开口的直线距离大于或等于第三交点到所述开口的直线距离。一种显示面板，包括利用所述的掩膜板制作而成的膜层。—种显示装置，包括所述的显示面板。一种掩膜板的制备方法，应用于分布有若干个预设形状的开口的遮挡板，其中，每个开口均由遮挡板厚度方向上侧切面包围而成，在包围所述开口的至少部分所述侧切面与蒸镀时靠近基板一侧的表面的交界处上形成缺口，使得所述开口靠近基板一侧的面积大于所述开口远离基板一侧的面积。优选地，利用刻蚀工艺形成所述缺口。在本专利技术实施例中，由于现有技术中的蒸镀沉积工艺会导致蒸镀形成的膜层的边缘区域的平坦化程度不高，形成较大的台阶区域，进而造成后续形成的金属膜层发生断裂。为了改善并避免该问题的产生，本专利技术通过对掩膜板进行改进，具体地，对掩膜板的每个开口的至少部分侧切面与蒸镀时靠近基板一侧的表面的交界处上设置有缺口，该缺口使用化学刻蚀或者激光切割方法实现，该缺口能够使得所述开口靠近基板一侧的面积大于所述开口远离基板一侧的面积，从而，增大了基板上蒸镀的膜层边缘区域的面积，提升了边缘区域的平坦化程度，避免了后续形成的金属膜层由于台阶过高而发生断裂的可能，提高了产品的良率。【附图说明】为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简要介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1(a)为现有技术中掩膜板的俯视图示意图；图1 (b)为现有掩膜板中任意一个开口及其附近的遮挡板的纵切面结构图；图2为本专利技术实施例提供的一种掩膜板的俯视图示意图；图3为针对图2中任意一个开口的局部纵切面结构示意图；图4为本专利技术中缺口的设计原理示意图；图5(a)为本专利技术实施例中缺口的纵切面图形为矩形的示意图；图5(b)为本专利技术实施例中缺口的纵切面图形为三角形的示意图；图6(a)为本专利技术实施例提供的一种最佳的缺口结构示意图；图6(b)为本专利技术实施例提供的一种带有弧度的缺口结构示意图；图7(a)_7(c)为本专利技术实施例提供的三种蒸镀方式的示意图；图8为本专利技术实施例提供的一种显示面板的结构示意图。【具体实施方式】为了使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本专利技术作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术实施例中，由于现有技术中的蒸镀沉积工艺会导致蒸镀形成的膜层的边缘区域的平坦化程度不高，形成较大的台阶区域，进而造成后续形成的金属膜层发生断裂。为了改善并避免该问题的产生，本专利技术通过对掩膜板进行改进，具体地，对掩膜板的每个开口的至少部分侧切面与蒸镀时靠近基板一侧的表面的交界处上设置有缺口，该缺口使用化学刻蚀或者激光切割方法实现，使得蒸镀时开口靠近基板一侧的面积大于开口远离基板一侧的面积，从而，增大了基板上蒸镀的膜层边缘区域的面积，提升了边缘区域的平坦化程度，避免了后续形成的金属膜层由于台阶过高而发生断裂的可能，提高了产品的良率。下面通过具体的实施例对本专利技术所涉及的技术方案进行详细描述，本专利技术包括但并不限于以下实施例。如图2所示，为本专利技术实施例提供的一种掩膜板的结构示意图，该掩膜板2主要包括:遮挡板21，所述遮挡板21上分布有若干个预设形状的开口 22，所述每个开口 22均由遮挡板厚度方向上侧切面211包围而成，结合图3所示的针对任意一个开口 22的局部剖面结构示意图，在所述开口 22的至少部分所述侧切面211与蒸镀时靠近基板一侧的表面的交界处上设置有缺口 222，使得蒸镀时所述开口 22靠近基板一侧的面积大于所述开口远离基板一侧的面积，即靠近基板一侧的开口 22与缺口 222共同形成的敞开的区域a的面积大于远离基板一侧的开口 22形成的敞开的区域b。该掩膜板2在开口 22的至少部分侧切面211与蒸镀时靠近基板一侧的表面的交界处上设置有缺口 222，即该缺口 222靠近基板3，使得蒸镀时开口 22靠近基板一侧的面积大于开口 22远离基板一侧的面积。从而，使得从蒸镀源蒸发出的有机材料或金属材料穿过该缺口 222，蒸镀到基板3上，这样的直接效果是:增大蒸镀源蒸镀到基板上的膜层的面积，从而，提高膜层的边缘区域的平坦化程度，改善了由于膜层的平坦化程度不高而导致后续形成的金属膜层发生断裂的现象。优选地，考虑到掩膜板的开口是按照预设面板尺寸设计的，因此，在实施本专利技术的方案的同时，要保证开口的尺寸大小不变，因此，必须要保证形成缺口之后的遮挡板在垂直基板方向上的投影的面积仍为预设开口的面积，这就需要设置的缺口 222满足:所述缺口 2本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种掩膜板，用于对基板进行蒸镀，包括遮挡板，所述遮挡板上分布有若干个预设形状的开口，每个开口均由遮挡板厚度方向上侧切面包围，其特征在于，在包围所述开口的至少部分所述侧切面与蒸镀时靠近基板一侧的表面的交界处上设置有缺口，使得所述开口靠近基板一侧的面积大于所述开口远离基板一侧的面积。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：马利飞，梁逸南，皇甫鲁江，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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