【技术实现步骤摘要】
本技术属于单晶硅生产设备
，涉及到一种具有改进的油路系统的线切机。
技术介绍
线切机是生产单晶硅过程中必不可少的一种设备，油路系统是线切机上必不可少的部件，现有的线切机上每个用油装置都有一个单独的供油装置和供油管路，这样就使得一个线切机内就得同时装有多个供油装置，占用空间大不说，同时也提高了线切机的生产成本。
技术实现思路
本技术为了克服现有技术的缺陷，设计了一种具有改进的油路系统的线切机，节省了线切机的内部空间，降低了线切机的生产成本。本技术所采取的具体技术方案是:一种具有改进的油路系统的线切机，包括线切机本体和设置在线切机本体上的油路系统，油路系统的出口与用油装置连通，关键是:所述的油路系统包括总供油装置和多个分油管路，所有分油管路的进口都与总供油装置的出口连通，所有分油管路的出口分别与不同的用油装置连通。所述的油路系统还包括压力表，压力表与总供油装置连接。所述的每个分油管路上都设置有阀门。所述的阀门为电磁阀。所述的总供油装置上设置有放气阀和电磁阀。所述的总供油装置为油泵。本技术的有益效果是:利用一个总供油装置给所有的用油装置供油，与用多个供油装置分别给不同的用油装置供油相比，大大减小了油路系统在线切机内部所占的空间，同时省去了多个供油装置，降低了线切机的生产成本。【附图说明】图1为本技术的结构示意图。附图中，I代表线切机本体，2代表总供油装置，3代表分油管路，4代表压力表，5代表阀门，6代表放气阀，7代表电磁阀。【具体实施方式】下面结合附图和具体实施例对本技术做详细说明:具体实施例，如图1所示，一种具有改进的油路系统的线切机，包括线切...
【技术保护点】
一种具有改进的油路系统的线切机，包括线切机本体(1)和设置在线切机本体(1)上的油路系统，油路系统的出口与用油装置连通，其特征在于：所述的油路系统包括总供油装置(2)和多个分油管路(3)，所有分油管路(3)的进口都与总供油装置(2)的出口连通，所有分油管路(3)的出口分别与不同的用油装置连通。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：朱琛浩，陈世杰，李世杰，李其甲，田会藏，武哲，
申请(专利权)人：宁晋赛美港龙电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13
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