供电系统技术方案

本发明专利技术提供一种静电夹盘及供电系统，即使在真空环境内也不会产生放电，而能够进行高电压驱动，并且能够谋求对静电夹盘的供电系统的构造的简化。供电系统具备静电夹盘(2)、及电性接触机构(4)，该静电夹盘(2)具有升压电路(3)。仅将升压电路(3)的端子(31a、32a)露出于外部。端子(31b、32b)连接在吸附电极(23)。电性接触机构(4)为以轨条(41、42)、及与这些轨条(41、42)接触的可挠性接触件(43、44)所构成。轨条(41、42)连接在外部电源(40)，而可挠性接触件(43、44)设置于静电夹盘(2)的导电板(45、46)。导电板(45、46)连接于升压电路(3)的端子(31a、32a)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术有关于一种静电夹盘及供电系统，其用以吸附玻璃基板等被加工板体。
技术介绍
如图8所示，静电夹盘100—般为固定于处理装置的真空室200内的底部。并且，由真空室200外的电源210，将驱动用的电源电压及电气信号供电至静电夹盘100，使被加工板体W吸附在静电夹盘100 (例如，参照专利文献I)。然而，在如前述的静电夹盘100固定于真空室200的系统中，并无法在真空室200内使被加工板体W移动至预定部位、或使被加工板体W翻转，对于处理作业的灵活性较差。因此，近年来设计出一种将静电夹盘100设置成能够在处理装置的真空室200内移动的系统。如图9所示，该静电夹盘100为滑动自如地配置在载台150上。借此，静电夹盘100为在吸附被加工板体W的状态下搬运至真空室200内的预定部位，使被加工板体W配置在该部位。一般在如前述的系统中，电源210配置在真空室200的外部，并通过电压电缆220、220而连接该电源210与由吸附电极130延伸出的供电销131、131。然而，近年来从显示器的大型化及作业时间的缩短化的观点来看，产生了利用静电性夹盘100吸附搬运玻璃基板等大型且具重量的被加工板体W的必要性。为了如前所述将大型且具重量的被加工板体W予以吸附，必须将供应给静电夹盘100的吸附电极130的电压设为高电压，而提升静电夹盘100的吸附力。尤其，如在蒸镀装置所使用的静电夹盘100，在必须将沉重的被加工板体W朝下侧并予以吸附的夹盘中，必须形成非常高的吸附力。然而，真空室200内于真空环境下，在电压电缆220、220间会产生放电的疑虑很尚O因此，就电压电缆220、220而言，为采用高耐压电缆，并且考虑帕邢(paschen)的易放电区域，来防止真空室200内的电缆部分的放电。这是利用聚硅氧(silicone)或环氧橡胶系的树脂将导体部分容易露出的部位予以密封而达成。具体而言，利用密封材231、231密封电压电缆220、220的装置内电缆部分221、221与供电销131、131的连接部分，并且利用密封材232、232来密封装置内电缆部分221、221与装置外电缆部分222、222的连接部分。(先前技术文献)(专利文献)专利文献1:日本特开2011 - 238934号公报。
技术实现思路
(专利技术所欲解决的课题)然而，在前述的现有的技术中，会有如下述的问题点。也就是，因为长年反复进行静电夹盘100的移动，使负载施加在装置内电缆部分221、221与供电销131、131的连接部分及装置内电缆部分221、221与装置外电缆部分222、222的连接部分，而会有使密封材231、232劣化的疑虑。结果，因这些接触部分的露出，而会有产生放电的疑虑。此外，因必须将较长的电缆部分221、221配置于真空室200内，或设置电缆用的配管，或设置密封材231、232，所以会使对静电夹盘的供电系统的构造变得复杂。本专利技术是为了解决前述的课题所开发，其目的在于提供一种静电夹盘及供电系统，即使在真空环境内也不会产生放电，而能够进行高电压驱动，并且能够谋求对静电夹盘的供电系统的构造的简单化。(解决课题的手段)为了解决前述课题，本专利技术第一方式的专利技术为一种静电夹盘，其具备有静电吸附层、基材、及升压电路，该静电吸附层具有将表面设为被加工板体的吸附面的介电体及配置于该介电体内部的吸附电极，该基材的上表面配设有该静电吸附层，而该升压电路具有用以输入来自外部电源的低电压的低电压用输入端子及用以将使该低电压升压而获得的高电压供应至吸附电极的高电压用输出端子；其中，将升压电路安装于基材，且将从吸附电极通过介电体内及基材内而以非露出状态拉出的配线的端部与高电压用输出端子的电性连接部分，收纳于基材内而呈现非露出状态。根据这样的构成，当将静电夹盘配置于真空室内，且将低电压由真空室外的外部电源送至静电夹盘侧时，会使该低电压通过低电压用输入端子而输入至升压电路。于是，该低电压会在升压电路升压成高电压，且高电压从高电压用输出端子被输出至吸附电极，而使静电力产生在被加工板体与静电吸附层表面。借此，以静电力而将被加工板体吸附在静电吸附层表面。在此状态下，能够将被加工板体在真空室内与静电夹盘一同进行搬运。另外，来自外部电源的低电压为由外部电源通过导入至真空室内的电缆而输入至升压电路的低电压用输入端子。因此，由于在从电缆至升压电路为止之间供应有低电压，所以不会在电缆本身产生放电。此外，即使电缆与低电压用输入端子的连接部分露出时，也不会产生放电。但是，由于在升压电路的高电压用输出端子与吸附电极之间供应有高电压，所以会有放电产生在升压电路与吸附电极之间的配线本身或高电压用输出端子与配线端部的连接部分的疑虑。然而，由于在本专利技术的静电夹盘中，配线是从吸附电极通过介电体内及基材内，且使该配线的端部与高电压用输出端子的电性连接部分收纳在基材内而呈现非露出状态，所以即使高电压供应至升压电路的高电压用输出端子与吸附电极之间，也不会有放电产生在配线本身或高电压用输出端子与配线端部的连接部分的疑虑。本专利技术第二方式的专利技术的构成，是在第一方式所述的静电夹盘中，升压电路的低电压用输入端子为输入5伏特至100伏特的范围内的电压，而高电压用输出端子为输出300伏特至10000伏特的范围内的电压。本专利技术第三方式的专利技术的供电系统的构成具备:第一方式或第二方式所述的静电夹盘，其通过真空室内的搬运机构进行搬运；以及电性接触机构，是使固定于真空室内的固定电极连接于外部电源，并且使与静电夹盘一同移动的可动电极连接于升压电路的低电压用输入端子，并通过这些固定电极与可动电极的接触，将来自外部电源的低电压输入至升压电路的低电压用输入端子。根据这样的构成，在通过搬运机构于真空室内对静电夹盘进行搬运时，来自真空室外的外部电源的低电压会被供应至固定在真空室内的固定电极。此时，由于与静电夹盘一同移动的可动电极是与固定电极接触，所以来自外部电源的低电压会通过固定电极及可动电极而输入至升压电路的低电压用输入端子。并且，以升压电路所升压的高电压会通过高电压用输出端子及配线而供应至吸附电极。换言之，在静电夹盘的搬运中，来自外部电源的低电压是通过电性接触机构而持续供应至升压电路的低电压用输入端子。一般而言，在供电至进行所搬运的静电夹盘时，必须将由外部电源至静电夹盘为止的电缆加长。然而，由于在本专利技术的供电系统中为将来自外部电源的电缆连接于固定在真空室内的固定电极的构成，所以电缆长度是以至固定电极为止的长度即足够，且可缩短成非常短。此外，由于将低电压供应至电缆，所以也无需密封电缆与固定电极的连接部分。本专利技术第四方式的专利技术的构成，是在第三方式所述的供电系统中，电性接触机构的固定电极为由在接近于静电夹盘的状态下朝搬运方向平行地配设的导电性的轨条所形成；可动电极为由以在与该轨条接触的状态安装于静电夹盘的导体性的可挠性接触件所形成。根据这样的构成，由于安装于静电夹盘的导体性的可挠性接触件与轨条接触，所以来自外部电源的低电压是通过这些轨条及可挠性接触件，而输入至升压电路的低电压用输入端子。并且，以升压电路所升压的高电压是通过高电压用输出端子及配线而供应至吸附电极。因此，来自外部电源的电缆长度为至轨条为止的长度即足够，并且也无需密封。本专利技术第五方式的专利技术的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种静电夹盘，其具备有静电吸附层、基材、及升压电路，该静电吸附层具有将表面设为被加工板体的吸附面的介电体及配置于该介电体内部的吸附电极，该基材的上表面配设有该静电吸附层，而该升压电路具有用以输入来自外部电源的低电压的低电压用输入端子及用以将使该低电压升压而获得的高电压供应至前述吸附电极的高电压用输出端子；其特征为：将前述升压电路安装于前述基材，将从前述吸附电极通过前述介电体内及前述基材内而以非露出状态拉出的配线的端部与前述高电压用输出端子的电性连接部分，收纳于前述基材内而呈现非露出状态。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：辰巳良昭，菅原利文，
申请(专利权)人：株式会社创意科技，
类型：发明
国别省市：日本;JP