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本发明提供一种静电夹盘及供电系统，即使在真空环境内也不会产生放电，而能够进行高电压驱动，并且能够谋求对静电夹盘的供电系统的构造的简化。供电系统具备静电夹盘(2)、及电性接触机构(4)，该静电夹盘(2)具有升压电路(3)。仅将升压电路(3)的...
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