本实用新型专利技术的流量控制阀，于一阀本体内部形成一容置室，于阀本体的外侧面另设有与容置室相通的一进气接口及一出气接口，另有一轴座固设于容置室的组装口处，于轴座处穿设有一推杆，且于容置室内设有一可受推杆触动的浮球。整体流量控制阀不需要另外加装其他控制组件，即可受应用设备端的操作部件推触而产生气体是否得以进入应用设备的流量控制效果，能够以相对更为积极、可靠的手段降低污染风险。
【技术实现步骤摘要】
本技术有关一种阀件，特别是指一种整体组成架构大幅简化，以相对更为积极、可靠的手段降低污染风险的流量控制阀。
技术介绍
按，一般的光罩、或晶圆片等半导体物料为避免遭受异物污染，多数会置入于盒体中保存，且为避免上述物料于储存时遭氧化或污染，会再进一步于储存空间内充填非氧化性气体、超洁净气体(Xtra Clean Dry Air , XCDA)等惰性气体，并且最好在一段时间内重复充填惰性气体，确保盒体内的环境质量。已知可将用以储存光罩、或晶圆片等半导体物料的光罩储存设备以图1所示的机台型态呈现，类似的光罩储存设备基本上设有一供导入惰性气体的充气盘21作为承载光罩10的机械结构体，另设有一可供与该充气盘21对应开阖的舱罩22将充气盘21上的光罩10覆盖，使由舱罩22及充气盘21构成一供存放光罩10的储存空间。上述充气盘21且透过高压管路23与相对位于远程的气体源头24连接，使得以经由高压管路23将惰性气体输入充气盘21上方的储存空间内；受限于储存空间必须尽可能维持在超洁净的环境质量，传统的作法是在气体源头24的开关(阀门)开启后，即让惰性气体不断的输入储存空间内。纵使在光罩储存设备的舱罩22已被开启的状态下，惰性气体仍不断经由高压管路23释出，导致惰性气体不断流失，造成极大的浪费。然而，目前坊间既有习用的流量控制阀多是利用外部动力、电力、磁铁或弹簧等组件操控或驱动，由于所要整合的组件相对复杂繁琐，不但所有组件的外观型体较不容易清洁且亦容易累积粉尘；另外，整体流量控制阀所包含的构件越多，越容易在动作过程中，产生微粒或粉尘等污染源。因此，如何提供一种组成架构相对较为简单，且在同一机械结构主体当中整合有驱动构造的流量控制阀，使得以应用在类似需要维持在超洁净的环境质量的设备，长久以来一直是业界及学术界所亟欲解决的课题。
技术实现思路
本技术的主要目的，即在提供一种整体组成架构大幅简化，以相对更为积极、可靠的手段降低污染风险的流量控制阀。为达上述目的，本技术的解决方案是:一种流量控制阀，包括:一阀本体，为内部形成一容置室的块状结构体，该容置室与该阀本体一外侧面相通形成一组装口，该阀本体的外侧面另设有一与该容置室相通的进气接口、一与该容置室相通的出气接口；一轴座，固设于该阀本体的组装口处，该轴座贯穿一与该容置室相通的轴孔；一浮球，以可于该容置室内往返位移的方式设于该容置室内，该浮球与该容置室的内壁之间形成可供气体通过的间隙；一推杆，以可与该轴座相对位移的型态穿设于该轴座的轴孔处，该推杆的一端且深入该容置室供与该浮球相接抵；以及，该进气接口于该容置室相对于该组装口的另端与该容置室相通；该出气接口于可被该浮球遮蔽的位置与该容置室相通，且该出气接口及该进气接口与该容置室相通的位置中间具有一段可供该浮球进入的移动行程。进一步，该推杆相对伸出该阀本体的尾端设有一螺牙区段，另于该螺牙区段处螺设有一帽盖。进一步，该推杆相对伸出该阀本体的尾端设有一螺牙区段，于该螺牙区段处螺设有一帽盖，以及一供限制该帽盖转动的定位螺帽。进一步，该流量控制阀于该轴座与该阀本体之间衬设有至少一气密垫圈。进一步，该阀本体于该组装口的内圈设有内螺牙，该轴座的外围设有供与该组装口的内螺牙相螺合的外螺牙。进一步，该阀本体于其设有组装口的外侧面设有多个装配孔。进一步，该阀本体于该进气接口处及该出气接口处，分别设有一相对凸出其外侧面的管接头。进一步，该流量控制阀于该阀本体的进气接口处连接一高压管路，于该高压管路处设有一流量计。本技术的流量控制阀，于使用时，以推杆伸出阀本体的一端伸入应用设备的操作部件行程的型态，将阀本体固定于应用设备端的结构主体上，另透过多个高压管路分别连接于阀本体的进气接口与气体源头之间，以及连接于阀本体的出气接口与应用设备之间；整个流量控制阀不需要另外加装其他控制组件，即可受应用设备端的操作部件推触而产生气体是否得以经出气接口流入应用设备的流量控制效果，不但整体流量控制阀的组成架构得以大幅简化，更能够以相对较为积极、可靠的手段降低污染风险。本技术所揭露的流量控制阀，不需要另外加装其他控制组件，即可受应用设备端的操作部件推触而产生气体是否得以进入应用设备的流量控制效果，不但整体流量控制阀的组成架构得以大幅简化，尤适合应用于如光罩储存设备等需要维持在超洁净环境质量的装置或设备，以相对较为积极、可靠的手段防止所应用的装置或设备遭受污染。【附图说明】图1为一习用光罩储存设备的结构不意图；图2为本技术的流量控制阀使用配置参考图；图3为本技术第一实施例的流量控制阀结构分解图；图4为本技术第一实施例的流量控制阀于未动作状态下的结构剖视图；图5为本技术第一实施例的流量控制阀于动作时的结构剖视图；图6为本技术第一实施例的流量控制阀于动作时应用设备的供气状态示意图；图7为本技术第二实施例的流量控制阀于未动作状态下的结构剖视图；图8为本技术第二实施例的流量控制阀于调整帽盖位置后的结构剖视图；图9为本技术第二实施例的流量控制阀于动作时的结构剖视图；图10为本技术另一实施例的流量控制阀使用配置参考图。【符号说明】先前技术:10光罩21充气盘22舱罩23高压管路24气体源头本技术:30流量控制阀31阀本体311容置室312组装口313进气接口314出气接口315内螺牙316装配孔317管接头318管接头32轴座321轴孔322外螺牙33浮球34推杆341螺牙区段35气密垫圈36帽盖361定位螺帽37高压管路38流量计。【具体实施方式】为了进一步解释本技术的技术方案，下面通过具体实施例来对本技术进行详细阐述。如2图所示，本技术主要提供一种尤适合应用于如光罩储存设备等需要维持在超洁净环境质量的装置或设备，以相对较为积极、可靠的手段防止所应用的装置或设备遭受污染的流量控制阀30，请同时配合参照图2至图4所示，本技术的流量控制阀30，基本上包括:一阀本体31、一轴座32、一浮球33，以及一推杆34 ;其中:该阀本体31为内部形成一容置室311的块状结构体，该容置室311与该阀本体31一外侧面相通形成一组装口 312，该阀本体31的外侧面另设有一与该容置室311相通的进气接口 313、一与该容置室311相通的出气接口 314。[005当前第1页1 2 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种流量控制阀，其特征在于，包括：一阀本体，为内部形成一容置室的块状结构体，该容置室与该阀本体一外侧面相通形成一组装口，该阀本体的外侧面另设有一与该容置室相通的进气接口、一与该容置室相通的出气接口；一轴座，固设于该阀本体的组装口处，该轴座贯穿一与该容置室相通的轴孔；一以可于该容置室内往返位移的方式设于该容置室内的浮球，该浮球与该容置室的内壁之间形成可供气体通过的间隙；一以可与该轴座相对位移的型态穿设于该轴座的轴孔处的推杆，该推杆的一端且深入该容置室供与该浮球相接抵；以及，该进气接口于该容置室相对于该组装口的另端与该容置室相通；该出气接口于可被该浮球遮蔽的位置与该容置室相通，且该出气接口及该进气接口与该容置室相通的位置中间具有一段可供该浮球进入的移动行程。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王志中，
申请(专利权)人：铼恩帕斯科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71
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