辊子制造技术

本申请涉及一种辊子、一种薄膜形成装置以及一种薄膜形成方法。本申请提供了一种用于能够传送基板(例如，柔性基板，诸如塑料膜及纤维或金属网或薄膜)且同时可在基板表面上形成薄膜的装置中的辊子、包括辊子的薄膜形成装置以及利用薄膜形成装置的薄膜形成方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】辊子相关申请的交叉引用本申请要求分别于2012年11月30日、2013年12月2日、2013年12月2日及2013年12月2日所递交的韩国专利申请第2012-0138317号、第2013-0148680号、第2013-0148681号以及第2013-0148682号的优先权和利益，它们的公开内容全部合并于此以供参考。
本专利技术涉及一种辊子、一种薄膜形成装置以及一种薄膜形成方法。
技术介绍
在各种领域会需要用于形成各种不同种类薄膜的技术，例如，形成保形涂层(诸如障壁层)，形成电致发光显示器、液晶显示器(LCD)、电泳等中所需的柔性显示器涂层、无线射频识别(RFID)、微机电系统(MEMS)、光学涂层、柔性基板上的电子组件、柔性基板上的薄膜、电致变色、光电动势等。[专利文献]专利文献1：美国专利申请公开第2002-0170496号专利文献2：美国专利第4,692,233号
技术实现思路
本专利技术是针对一种辊子、一种薄膜形成装置以及一种薄膜形成方法。根据本专利技术的方案，提供了一种所谓的卷对卷设备(roll-to-rolldevice)，例如，一种辊子，其用作薄膜形成装置的导辊，所述薄膜形成装置包括：传送单元，其包括一个或多个导辊，所述导辊安装为传送基板；以及处理区，其安装为在由所述传送单元所传送的所述基板的表面上形成薄膜。所述辊子可具有这样的结构：所述辊子的端部的直径大于其中央部分的直径，或不存在所述中央部分，以便使其在与所述基板的传送方向垂直的方向上与所述基板的两端部相接触，但不与所述基板的其他部分相接触。此外，具有所述结构的所述辊子可包括前驱体(precursor)供给单元，所述前驱体供给单元配置为将前驱体供给至所述基板。根据本专利技术的另一方案，提供了一种薄膜形成装置，其包括作为导辊的所述辊子。例如，所述薄膜形成装置可为原子层沉积(ALD)装置，其通过ALD来形成薄膜。根据本专利技术的另一方案，提供了一种在基板(例如，柔性基板，诸如塑料膜以及金属或纤维网或薄膜)上形成薄膜的方法。附图说明通过参考附图详细描述本专利技术的示范实施例，本专利技术的上述以及其他目的、特征和优势对于本领域技术人员来说变得明显，其中：图1至图5是示出示范性辊子的类型的图；图6至图10是示出示范性前驱体供给辊的类型的图；以及图11至图17是示出示范性薄膜形成装置的构造的图。具体实施方式以下将参考附图来详细说明本专利技术的示范性实施例。虽然已连同其示范性实施例来显示及说明本专利技术，但是本领域的技术人员理解的是，在不背离本专利技术的精神或范围的情况下可进行各种不同的修改。示范性辊子可为一种用来传送基板的辊子。所述辊子可具有这样的结构：其至少一端部或两端部的直径大于其中央部分的直径，或仅具有两端部而不具有中央部分。在一个例子中，所述辊子可包括所述两端部及所述中央部分，并且所述两端部可安装为接触并传送所述基板，所述中央部分可不存在或其直径小于所述两端部的直径以便使得在所述基板的传送处理期间不与所述基板相接触，或者所述中央部分可不存在。图1示出了示范性辊子。如图1所示，该辊子可包括与基板101相接触的两端部210以及不与基板101相接触的中央部分220。中央部分220的直径Rc相对于每个端部210的直径Re的比值Rc/Re没有特别限制，但是可对其进行控制以适当地传送基板101。例如，比值Rc/Re可为0.9以下、或0.5至0.9。在中央部分不存在的结构中，比值Rc/Re为0。中央部分220的长度Lc、或者在没有中央部分220的情况下两端部210之间的距离Lc与辊子的长度L(其是在垂直于基板101的传送方向的方向上所测得)的比值Lc/L也没有特别限制，只要可在传送处理期间可以固定这些端部210以便适当地固定基板即可。例如，比值Lc/L可为0.7至0.9。在一个例子中，为了在传送处理期间固定基板，可在辊子的每个端部上设置突出部分。由于在传送处理期间通过突出部分来固定基板，所以可防止基板脱离或滑动。此外，辊子可仅具有两端部而没有中央部分。例如，可形成辊子的两端部以固定基板，同时在基板的传送处理期间，在相对于基板的传送方向呈70°至110°的角度范围内的一个方向(例如，垂直方向)上向基板施加张力。例如，在沿相对于基板的传送方向呈70°至110°的角度范围内的一个方向(例如，垂直方向)上拉紧基板时，这些端部可形成为可移动的。在另一例子中，可形成端部的图案或设置在这些端部上的突出部分以便同时传送并拉紧基板。图2至图5是示例地示出上述结构的图。例如，如图2所示，辊子可具有仅有两端部210的结构。在此结构中，基板101固定至两端部210的突出部分310，两端部210可水平地移动，因此基板101可在被拉紧的同时进行传送。如图3所示，图2中的结构可应用于具有中央部分220的辊子。图4是示出可在向基板101施加张力的同时传送基板101的另一类型的图。如图4所示，突出部分310可形成为预定图案。在此情况下，突出部分310的图案没有特别限制。例如，突出图案可包括线形，该线形相对于基板的移动方向(传送方向)形成的角度大于0°且小于90°。例如，该线形可为梳形(combshape)，亦即图4所示的形状。图5是示出另一类型的结构的图。如图5所示，即使当两端部210中的每个具有锥形时，也能够实现可在向基板101施加张力的同时传送基板101的结构。此结构可产生的效果是：在基板101的传送处理期间两端部210在两个方向上拉基板101。此外，示范性辊子可为如上所述用于传送基板并且安装以将前驱体供给至经传送的基板的辊子(下文中，称为前驱体供给辊或供给辊)。前驱体供给辊可具有用于供给前驱体的前驱体供给单元。前驱体供给辊可具有这样的结构：其两端部的直径大于其中央部分直径，或仅具有这些端部而不具有中央部分。在此结构中，前驱体供给单元的位置没有特别限制。例如，前驱体供给单元可设置在辊子的中央以便自辊子的中央供给前驱体，或可设置在每个端部的内侧表面处。在一个例子中，供给辊可包括两端部及中央部分，两端部可安装为接触并传送基板，并且中央部分可不存在或其直径小于两端部，以便使得在基板的传送处理期间不与基板相接触。图6示出了示范性的供给辊。如图6所示，供给辊可包括与基板101相接触的两端部210，以及包括不与基板101相接触的中央部分220。在供给辊中，中央部分220的直径Rc相对于每个端部210的直径Re的比值Rc/Re没有特别限制，但是可对其进行控制以适当地传送基板101并且还可确保足够的距离以有效地利用所供给的前驱体在基板101上形成单层。例如，比值Rc/Re可为0.9以下。在中央部分不存在的结构中，比值Rc/Re为0。中央部分220的长度Lc、或者在没有中央部分220的情况下两端部210之间距离Lc相对于供给辊的长度L(其是在垂直于基板101的传送方向的方向上所测得)的比值Lc/L也没有特别限制，只要可在传送处理期间固定这些端部210以适当地固定基板即可。例如，比值Lc/L可为0.7至0.9。当前驱体是液体或气体时，作为供给单元的喷洒孔230可设置在供给辊的中央部分220上，以便将前驱体喷洒至基板101上，如图6所示。例如，可以将前驱体通过供给辊的侧表面注入，接着通过喷洒孔230喷洒至基板101上。例如，虽然图中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种辊子，用作薄膜形成装置的导辊，所述薄膜形成装置包括：传送单元，其包括一个或多个导辊，所述导辊安装为传送基板；以及处理区，其安装为在由所述传送单元所传送的所述基板的表面上形成薄膜，其中所述辊子具有这样的结构：所述辊子的端部的直径大于其中央部分的直径，或不存在中央部分，以便在与所述基板的传送方向垂直的方向上与所述基板的两端部相接触，但不与所述基板的其他部分相接触。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.11.30 KR 10-2012-0138317;2013.12.02 KR 10-2011.一种辊子，用作薄膜形成装置的导辊，所述薄膜形成装置包括：传送单元，其包括一个或多个导辊，所述导辊安装为传送基板；以及处理区，所述处理区安装为在由所述传送单元所传送的所述基板的表面上形成薄膜，所述辊子包括：供给单元，其配置为在所述基板的传送处理期间将前驱体供给至所述基板，其中所述辊子具有这样的结构：不存在中央部分，以便在与所述基板的传送方向垂直的方向上与所述基板的两端部相接触，但不与所述基板的其他部分相接触，并且所述供给单元形成在所述端部的内侧表面上。2.根据权利要求1所述的辊子，其中在端部设置被配置为在所述基板的传送处理期间固定所述基板的固定单元。3.根据权利要求2所述的辊子，其中所述端部安装为向所述基板施加张力并且固定所述基板。4.根据权利要求1所述的辊子，其中所述端部形成为能够在相对于所述基板的传送方向成70°至110°的角度范围内的一个方向上移动。5.根据权利要求1所述的辊子，其中所述端部具有突出图案，所述突出图案形成为在所述基板的传送处理期间向所述基板施加张力。6.根据权利要求5所述的辊子，其中所述突出图案包括线形，所述线形相对于所述基板的传送方向形成大于0°且小于90°的角度。7.根据权利要求1所述的辊子，其中所述前驱体是通过侧表面注入的，并且所注入的前驱体是通过喷洒孔而喷洒的。8.一种薄膜形成装置，包括：传送单元，其包括一个或多个导辊，所述导辊安装为传送基板；以及处理区，...

【专利技术属性】
技术研发人员：李晟焕，金东烈，黄樯渊，
申请(专利权)人：LG化学株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR