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文档序号:11809320

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本申请涉及一种辊子、一种薄膜形成装置以及一种薄膜形成方法。本申请提供了一种用于能够传送基板(例如,柔性基板,诸如塑料膜及纤维或金属网或薄膜)且同时可在基板表面上形成薄膜的装置中的辊子、包括辊子的薄膜形成装置以及利用薄膜形成装置的薄膜形成方法...
该专利属于LG化学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过LG化学株式会社授权不得商用。

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