一种用于丝杆保养的转盘制造技术

本发明专利技术公开了一种用于丝杆保养的转盘，该转盘包括：盘体，所述盘体的中心位置设置有能够与带动丝杆运动的马达轴相卡合的锁位孔；手柄装置，与距离所述盘体的边缘设定距离，垂直与所述盘体固定连接，在逆/顺时针转动时带动所述盘体转动。本发明专利技术能够解决现有的用于丝杆保养的转盘，不能与马达轴良好的固定，在使用过程中费力费时的问题，通过手柄装置使工作人员在使用转盘时，更加省力省时，通过锁位孔使转盘和马达轴能够更加方便、良好的固定。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体芯片制造设备
，尤其涉及一种用于丝杆保养的转盘。
技术介绍
半导体芯片制造过程中，曝光机台对位是光刻技术中非常重要的一项内容，在曝 光之前，硅片的位置必须由自动对位系统尽可能精确的确定下来，为了确保每次X-Y方向 工作台的精度及稳定性，丝杆的洁净度相当重要。 由于丝杆频繁的来回移动，在磨擦阻力的作用下，会使附着在丝杆上的润滑油脂 变黑，这些变黑的润滑油脂会与空气中的颗粒等相结合，产生碳化物，从而导致丝杆阻力不 均衡，X-Y方向工作台的定位难等问题。因此，对保养丝杆的保养是必不可少的步骤，其中 涉及保养丝杆的转盘尤为重要。 现有的用于丝杆保养的转盘结构如图1-图3所示，包括：转盘1，转盘包括前转盘 11和后转盘12,其中，后转盘12的直径大于前转盘11的直径，前转盘11和后转盘12固定 连接在一起，前转盘11和后转盘12的中心位置均设置有中心圆孔5,且所述前转盘11和后 转盘12的中心圆孔对齐且圆孔的大小相同，后转盘12边缘位于直径线上的两个相对位置 具有凹槽3。另外在前转盘11的侧壁上设置有与中心孔垂直且连通的螺钉孔4。 在使用时，通过前转盘11和后转盘12的中心孔将转盘套入马达轴上，通过凹槽3 将转盘与马达底座固定，在螺钉孔4内拧入M3*20的长型内六角螺钉6,马达轴的截面图形 为，由线段及与线段两端闭合连接的弧线所围的图形，内六角螺钉6拧入螺钉孔4并在中心 孔露出内六角螺钉6的端部来抵住马达轴，这样可以将转盘1与马达轴固定，通过转动前转 盘1带动转盘1转动，从而带动与转盘1固定的马达轴转动。 现有的用于保养丝杆的转盘，保养丝杆的步骤是：1、将转盘通过转盘的中心孔套 入马达轴；2、采用型号为M3*20的内六角螺钉将转盘固定在马达轴上；3、手抓前转盘，顺/ 逆时针方向进行间歇式半圈移位来旋转转盘，在其作用力下使马达带动丝杆前后移动。 但是，利用现有转盘进行丝杆保养具有以下缺陷： ( 1)现有转盘不能直接与马达轴固定，需要通过六角螺钉将马达轴与转盘固定且 -者固定后不够稳固； (2)现有转盘在保养丝杆过程中，需要手抓前转盘来转动转盘，费力，费时。
技术实现思路
本专利技术提供了一种用于丝杆保养的转盘，用以解决现有的用于丝杆保养的转盘， 不能与马达轴良好的固定，在使用过程中费力费时的问题。 本专利技术提供了一种用于丝杆保养的转盘，包括： 盘体，所述盘体的中心位置设置有能够与带动丝杆运动的马达轴相卡合的锁位 孔； 手柄装置，与距离所述盘体的边缘设定距离，垂直与所述盘体固定连接，在逆/顺 时针转动时带动所述盘体转动。 优选地，所述锁位孔的截面形状与所述马达轴的截面形状相吻合。 一般，马达轴的形状为不规则的圆形，因此，将锁位孔的截面形状设计为与马达轴 的截面形状相吻合的形状，能够使转盘在套入马达轴时，更加方便快捷。 优选地，所述锁位孔的截面图形为，由线段及与线段两端闭合连接的弧线所围的 图形。 这样，当锁位孔的形状与马达轴的形状相同时，将带有该锁位孔的转盘通过该锁 位孔套入马达轴即可实现转盘与马达轴的固定。 优选地，所述手柄装置包括固定在一起的手持部与外壁带有螺纹的连接部； 所述盘体上与距离所述盘体的边缘设定距离的位置，具有与所述连接部上的螺纹 相匹配的螺纹孔，并且，所述螺纹孔的深度小于所述连接部的长度； 所述手柄装置的连接部拧入所述螺纹孔，并通过拧在所述连接部端部螺纹上的螺 母，将所述连接部与所述盘体固定。 这样可以防止手柄装置通过连接部的螺纹与盘体上的螺纹孔连接后，通过逆/顺 时针转动手柄装置时，可能会使手柄装置的连接部拧出螺纹孔的情况出现。 优选地，所述手柄装置包括固定在一起的手持部与中心带有螺纹孔的连接部； 所述盘体上与距离所述盘体的边缘设定距离的位置，具有与所述连接部相匹配的 固定孔； 所述手柄装置的连接部插入所述固定孔，并通过拧入所述螺纹孔的螺钉将所述连 接部与所述盘体固定。 在连接部的中心设置螺纹孔，当连接部插入固定孔之后，将与该螺纹孔相符的螺 钉拧入螺纹孔，利用螺钉将手柄装置和盘体固定。 优选地，所述固定孔的深度小于所述盘体的厚度，所述盘体上与手柄装置相对的 一侧具有与所述固定孔连通的第一阶梯孔，所述第一阶梯孔与所述螺钉的螺钉帽相匹配。 这样可以使螺钉帽能够嵌入该孔中，从而更加节省空间，制作出来的产品更加美 观。 优选地，所述固定孔的深度小于盘体的厚度，所述盘体上固定手柄装置的一侧具 有与所述固定孔连通的第二阶梯孔，所述第二阶梯孔与所述手持部相匹配。 这样可以使螺钉帽能够嵌入该孔中，从而更加节省空间，制作出来的产品更加美 观。 优选地，所述手柄装置与所述盘体为一体式连接方式。 这样可以提高转盘的生产效率。 优选地，所述锁位孔的深度小于所述盘体的厚度，且小于所述马达轴的长度。 这样，可以避免转盘在转动时与马达底座发生摩擦，从而在操作转盘时达到省力、 省时的目的。 优选地，所述盘体的外壁采用凹凸结构。 可以增强附着力，在转盘外壁沾上油脂后，转盘不易脱落。 利用本专利技术提供的用于丝杆保养的转盘，具有以下有益效果：能够解决现有的用 于丝杆保养的转盘，不能与马达轴良好的固定，在使用过程中费力费时的问题，通过手柄装 置使工作人员在使用转盘时，更加省力省时，通过锁位孔使转盘和马达轴能够更加方便、良 好的固定。【附图说明】 图1为现有技术的转盘主视图； 图2为图1的右侧视图； 图3为图1装上螺钉后从转盘中心切割后的剖视图；图4为本专利技术实施例提供的转盘带有锁位孔面的主视图； 图5为图4的有侧视图； 图6为本专利技术实施例提供的方式1中的手柄装置剖视图； 图7为本专利技术实施例提供的方式1中手柄装置与盘体通过螺纹孔及嵌入孔连接后 的剖视图； 图8为本专利技术实施例提供的方式2中的手柄装置剖视图； 图9为本专利技术实施例提供的方式2中的盘体剖视图； 图10为本专利技术实施例提供的嵌入轴承后盘体的主视图； 图11为本专利技术实施例提供的未嵌入轴承时盘体的剖视图； 图12为本专利技术实施例提供的手柄装置与盘体通过轴承连接后的剖视图。【具体实施方式】 下面结合附图和实施例对本专利技术提出的用于丝杆保养的转盘进行更详细的说明。 本专利技术实施例提供了一种用于丝杆保养的转盘，如图4和图5所示，包括： 盘体1，所述盘体1的中心位置设置有能够与带动丝杆运动的马达轴相卡合的锁 位孔2 ; 手柄装置3,与距离所述盘体1的边当前第1页1 2 3 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于丝杆保养的转盘，其特征在于，包括：盘体（1），所述盘体（1）的中心位置设置有能够与带动丝杆运动的马达轴相卡合的锁位孔（2）；手柄装置（3），距离所述盘体（1）的边缘设定距离，垂直与所述盘体（1）固定连接，在逆/顺时针转动时带动所述盘体（1）转动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：殷瑞腾，罗明辉，黄绍业，杨方，
申请(专利权)人：北大方正集团有限公司，深圳方正微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11