【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于薄膜太阳电池制作过程
，特别是涉及一种。
技术介绍
目前，柔性衬底太阳能电池因为其工艺先进，成本低廉且易于弯曲而用途广泛，可用于汽车顶部、太阳能敞篷、太阳能飞机及房屋屋顶及外墙。在大规模卷对卷柔性衬底上采用磁控溅射工艺广泛应用于太阳能电池窗口层等生产领域。而不同气氛下对膜层采取后退火工艺可以显著改善薄膜的各项性能。目前公知的用于柔性衬底的卷对卷磁控溅射多采用真空室内通过磁控溅射等方法在柔性基材表面制备一层或者多层具有一定功能的薄膜的技术，例如，CIGS电池的吸收层，缓冲层，窗口层等均可用此方法进行制备。虽然可以不间断连续制备功能薄膜，但其不足之处在于溅射设备不具备后退火工艺或后退火工艺设计简单，无法在溅射工艺完成后连续的进行不同气氛下的后退火工艺，薄膜性能均匀性受到影响，生产效率无法提高。
技术实现思路
本专利技术为解决公知技术中存在的技术问题而提供一种生产效率高、制作薄膜电池的材料性能和均匀性好、制作简单、成本低的。本专利技术包括如下技术方案:，包括从卷对卷装置一端卷上柔性衬底的下面连续镀膜直至柔性衬底卷到卷对卷装置另一端的卷上，其...
【技术保护点】
柔性衬底卷对卷制膜退火一体化的制备方法，包括从卷对卷装置一端卷上柔性衬底的下面连续镀膜直至柔性衬底卷到卷对卷装置另一端的卷上，其特征在于：所述柔性衬底连续镀膜后，柔性衬底卷到卷对卷装置另一端前连续进行退火处理；所述连续进行退火处理的过程包括：在卷对卷装置中通过挡板隔离出一个退火室，在退火室中柔性衬底的上、下两面各安装一个加热背板，每一个加热背板上安装测温热偶，控制加热背板上的温度在150～400℃之间；在退火室的上方安装通入退火气体的送气管。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张瀚铭，乔在祥，赵彦民，王赫，申绪男，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十八研究所，
类型：发明
国别省市：天津;12
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