下载柔性衬底卷对卷制膜退火一体化的制备方法的技术资料

文档序号:11611704

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本发明涉及一种柔性衬底卷对卷制膜退火一体化的制备方法,包括从卷对卷装置一端卷上柔性衬底的下面连续镀膜直至柔性衬底卷到卷对卷装置另一端的卷上,其特点是:所述柔性衬底连续镀膜后,柔性衬底卷到卷对卷装置另一端前连续进行退火处理。本发明通过将卷对卷...
该专利属于中国电子科技集团公司第十八研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第十八研究所授权不得商用。

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