【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种薄膜检测装置，其特征在于，包括： 光源，用于提供包含不同波段的照明光束； 光学元件单元，包括物镜，所述光学元件单元用于将照明光束通过所述物镜照射到待测对象上，并收集所述待测对象的反射光束； 滤波器，用于使不同波段的照明光束或反射光束在空间上进行分离； 面阵探测器，位于所述物镜瞳面或者物镜瞳面的共轭面以采集反射光束的角谱信息； 处理器，用于对所述角谱信息进行分析计算。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：周钰颖，王帆，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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