一种分形路径的研磨机构制造技术

本发明专利技术提供一种分形路径的研磨机构，其包括研磨机基台（1）、安装在研磨机基台（1）上的X轴方向导轨滑块结构、Y轴方向滚珠丝杠结构、Z轴方向升降结构以及设置在Z轴方向升降结构上的研磨主轴结构；所述Y轴方向滚珠丝杠结构沿X轴方向导轨滑块结构滑动连接，所述Z轴方向升降结构在Y轴方向滚珠丝杠结构的作用下沿Y轴方向运动，所述X轴方向导轨滑块结构、齿轮齿条结构、研磨主轴结构均连接有步进电机（19），所述X轴方向导轨滑块结构与步进电机（19）之间连接有齿轮齿条结构，本发明专利技术的机构，X\Y方向实现分形路径，Z方向调节工件和研磨盘之间的高度位置和压力，实现了分形路径的加工，有效的提高了加工效率，降低了加工成本。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种分形路径的研磨机构，其特征在于：其包括研磨机基台（1）、安装在研磨机基台（1）上的X 轴方向导轨滑块结构、Y轴方向滚珠丝杠结构、Z轴方向升降结构以及设置在Z轴方向升降结构上的研磨主轴结构；所述Y轴方向滚珠丝杠结构沿X 轴方向导轨滑块结构滑动连接，所述Z轴方向升降结构在Y轴方向滚珠丝杠结构的作用下沿Y轴方向运动，所述X 轴方向导轨滑块结构、齿轮齿条结构、研磨主轴结构均连接有步进电机（19），所述X 轴方向导轨滑块结构与步进电机（19）之间连接有齿轮齿条结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：鲁聪达，陈珍珍，文东辉，
申请(专利权)人：浙江工业大学，
类型：发明
国别省市：浙江;33