本实用新型专利技术揭示了一种温控装置。所述温控装置包括电源、与所述电源相连接的加热机构、与所述加热结构相连接的检测元件以及与所述电源和检测元件相连接的控制机构，所述检测元件检测所述加热机构的热量并将检测信息传递至所述控制机构，所述控制机构根据获得的检测信息控制所述电源对加热机构的供电，其中，所述检测元件包括互为备份的第一检测单元和第二检测单元。通过互为备份的第一检测单元和第二检测单元，能够有效防止由于检测单元本身损坏而产生的断电，避免对产品的损害。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及温度控制领域，特别是涉及一种温控装置。
技术介绍
半导体制造过程中，许多机器使用加热来完成工艺。同样的，这不仅仅局限于半导体或某个行业，例如在机械加工、生物化学等领域，使用设定的温度来达到所需目的也是非常常见的。而对这些需要加热获得一定温度的工艺，必须对其温度进行检测监控。图1为一种常见的温控装置的示意图。如图1所示，该温控装置包括:电源1，该电源I按照设定程序为加热机构2进行供电，使得加热机构2工作，待加热机构2工作后，热电耦3 ( —种常见的温度检测元件)就侦测加热机构2的温度，并反馈至控制机构4中。该控制机构4根据热电耦3传递的信息控制电源I的运作。例如当热电耦3侦测到温度过高时，会发生断裂，从而将温度过高这一信息传递至控制机构4，控制机构4则会使得电源I切断，停止对加热机构2供电。从而达到安全目的。一般情况下，这种突然的断电会影响到正在进行中的产品，而由于温度的突然降低，这些产品基本上会报废掉。在实际生产中，这种断电还是比较容易发生的。经检测发现，并非每次断电都是由于温度过高，热电耦3本身损坏也会造成误判。为了降低对产品的损害，目前的常规做法是定期对热电耦3进行更换。但是，热电耦3的损耗具有不可测性，定期的更换也不能够有效改善这一问题，对产品的影响还是不容忽视。
技术实现思路
本技术的目的在于，提供一种温控装置，以防止热电耦本身的损坏导致温控装置的误判。为解决上述技术问题，本技术提供一种温控装置，包括:电源、与所述电源相连接的加热机构、与所述加热结构相连接的检测元件以及与所述电源和检测元件相连接的控制机构，所述检测元件检测所述加热机构的热量并将检测信息传递至所述控制机构，所述控制机构根据获得的检测信息控制所述电源对加热机构的供电，其中，所述检测元件包括互为备份的第一检测单元和第二检测单元。可选的，对于所述的温控装置，所述温控装置还包括继电器，所述第一检测单元、第二检测单元连接所述继电器，所述继电器还与所述控制机构相连接。可选的，对于所述的温控装置，所述第一检测单元和第二检测单元结构相同。可选的，对于所述的温控装置，所述第一检测单元和第二检测单元均为热电耦。可选的，对于所述的温控装置，所述温控装置还包括一与所述控制机构相连接的分析机构，所述分析机构接收所述控制机构传递的信息并进行分析。可选的，对于所述的温控装置，所述温控装置还包括一与所述控制机构相连接的警报器，所述分析机构通过所述控制机构传递警报信息至所述警报器。本技术提供的温控装置，包括电源、与所述电源相连接的加热机构、与所述加热结构相连接的检测元件以及与所述电源和检测元件相连接的控制机构，所述检测元件检测所述加热机构的热量并将检测信息传递至所述控制机构，所述控制机构根据获得的检测信息控制所述电源对加热机构的供电，其中，所述检测元件包括互为备份的第一检测单元和第二检测单元。相比现有技术，通过设置第一检测单元和作为备份的第二检测单元，在第一检测单元出现损坏后，第二检测单元能够马上代替第一检测单元工作，从而避免了断电的发生，进而防止对产品的影响。而若确实是温度过高，则第一检测单元和第二检测单元都会检测到然后将信号传送到控制机构，从而进行正常的断电，也避免了事故的发生。【附图说明】图1为现有技术中温控装置的结构示意图；图2为本技术实施例中温控装置的结构示意图；图3为本技术实施例中第一检测单元、第二检测单元及继电器的连接示意图。【具体实施方式】下面将结合示意图对本技术的温控装置进行更详细的描述，其中表示了本技术的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本技术，而仍然实现本技术的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本技术的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本技术由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本技术。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。专利技术人经过长期研宄认为，目前的温控装置出现断电绝大多数都是由于检测元件自身的损坏而造成的，实际温度过高的情况寥寥无几，因此这给生产带来了很大的损失。于是专利技术人将检测元件设计成包括互为备份的第一检测单元和第二检测单元，当一个检测单元损坏时，另一个立即接替并继续进行工作，直至正在进行的生产过程完成。而两个检测单元同时损坏的几率要大大低于一个检测单元损坏的几率，因此就基本上避免了由于装置本身异常所导致的产品损失。基于此，本技术提出如下的方案:所述温控装置包括电源20、与所述电源20相连接的加热机构21、与所述加热结构21相连接的检测元件22以及与所述电源20和检测元件22相连接的控制机构23，所述检测元件22检测所述加热机构21的热量并将检测信息传递至所述控制机构23，所述控制机构23根据获得的检测信息控制所述电源20对加热机构21的供电，其中，所述检测元件22包括互为备份的第一检测单元221和第二检当前第1页1 2 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种温控装置，其特征在于，包括：电源、与所述电源相连接的加热机构、与所述加热结构相连接的检测元件以及与所述电源和检测元件相连接的控制机构，所述检测元件检测所述加热机构的热量并将检测信息传递至所述控制机构，所述控制机构根据获得的检测信息控制所述电源对加热机构的供电，其中，所述检测元件包括互为备份的第一检测单元和第二检测单元。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王刚，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11
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