当前位置: 首页 > 专利查询>王宏兴专利>正文

一种金刚石肖特基二极管及其制作方法技术

技术编号:11469316 阅读:90 留言:0更新日期:2015-05-18 02:36
本发明专利技术公开了提供一种金刚石肖特基二极管及其制作方法,该金刚石肖特基二极管,包括依次层叠设置的欧姆电极、P型高掺杂金刚石衬底、漂移层和肖特基电极,肖特基电极为单一铪层结构、或包括底层为单一铪层的多个单一金属层的复合层结构。该方法制作的金刚石肖特基二极管,提高了耐电压,降低了反向漏电流,改善了金刚石肖特基二极管的反向性能。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种金刚石肖特基二极管,其特征在于,包括依次层叠设置的欧姆电极(1)、P型高掺杂金刚石衬底(2)、漂移层(3)和肖特基电极(4),所述肖特基电极(4)为单一铪层结构、或底层为单一铪层的多个单一金属层的复合层结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王宏兴胡超王玮张景文卜忍安侯洵
申请(专利权)人:王宏兴
类型:发明
国别省市:陕西;61

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1