【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基于ECR电子照射制备的硅基纳米结构碳膜光电探测器,其特征在于,包括由下至上依次排布的Au薄膜电极(1)、p(100)型Si基片(2)、ECR电子照射硅基纳米结构碳膜(3)和正方形网格状Au电极(4);Au薄膜电极(1)和正方形网格状Au电极(4)通过银胶(5)与导线(6)粘接,形成具有光电探测能力的硅基纳米结构碳膜光电探测器;所述硅基纳米结构碳膜光电探测器光谱响应度峰值为:0.175‑0.21A·W‑1,响应时间小于1ms。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刁东风,胡改娟,范雪,杨雷,
申请(专利权)人:西安交通大学,深圳大学,
类型:发明
国别省市:陕西;61
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。