液体喷射头、液体喷射装置以及压电元件制造方法及图纸

技术编号:11422695 阅读:61 留言:0更新日期:2015-05-07 00:44
本发明专利技术提供一种对环境友好且相对介电常数高的液体喷射头、液体喷射装置以及压电元件。为一种液体喷射头,具有压电元件,所述压电元件具备压电体层和设置于所述压电体层的电极,其中,所述压电体层由含有含铁酸锰酸铋和钛酸钡的钙钛矿型化合物的压电材料形成,膜厚在3μm以下,且在(110)面优先取向。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种压电元件,其特征在于,所述压电元件具备压电体层和设置于所述压电体层的电极,其中,所述压电体层如下:膜厚在3μm以下,由含有含铁酸锰酸铋和钛酸钡的钙钛矿型化合物的压电材料形成,在110面优先取向,为自然取向的膜。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:滨田泰彰
申请(专利权)人:精工爱普生株式会社
类型:发明
国别省市:日本;JP

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