包括光学隔离器的激光扫描模块制造技术

本申请公开了激光扫描模块的多种实施方案。在一种实施方案中，这种激光扫描模块包括：光学隔离器，包括第一线性偏光器和第二线性偏光器；准直光学器件，配置成接收激光光源产生的光，并且将基本上准直的光束传递到所述第一线性偏光器；以及扫描单元，定位成接收所述第二线性偏光器所传递的光。所述第一线性偏光器与所述准直光学器件隔开第一距离，所述第一距离小于将所述第二线性偏光器与所述扫描单元隔开的第二距离。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】专利技术背景本申请是2009年12月9日提交的系列号为12/653,235的名称为“光学隔离模块及其使用方法(Optical Isolation Module and Method for Utilizing the Same)”的未决主申请的部分接续案，并且要求该主申请的申请日期的权益，并且特此完整地结合该主申请以作参考。半导体制造中广泛地使用激光扫描显微镜。例如，可以使用激光扫描显微镜来执行软缺陷的定位，其中在制造出的半导体装置中检测软缺陷，诸如时序边际性。软缺陷的定位通常要利用激光器来扫描接受测试的半导体装置的一些区域。随着现代半导体装置的尺寸不断变小，隔离各个装置特征件以便进行软缺陷分析所需要的分辨率也相应地变高。通过采用固体浸没透镜(solid immersion lens，SIL)使用暗场显微镜方法，可以实现半导体装置的高分辨率成像。为了用这种方法实现最小的装置尺寸所需要的成像分辨率，入射在目标上的成像光应当是超临界光，能够在遮罩着目标的半导体材料内产生消逝场。此外，可能必须收集沿着SIL的中央轴或者靠近SIL的中央轴从目标散射的光。因此，如下的一种激光扫描模块是用于激光扫描显微镜的期望特征件：能够使用光学隔离器产生超临界光以扫描目标，同时能够收集这个目标散射的光。
技术实现思路
本专利技术是针对一种包括光学隔离器的激光扫描模块，将结合各图中的至少一个图示出和/或说明该激光扫描模块，并且在权利要求书中更完整地阐述该激光扫描模块。附图简述图1示出了激光扫描显微镜系统的图，该激光扫描显微镜系统包括一个包括光学隔离器的激光扫描模块的示例性实施方案。图2示出了提呈一种用于执行激光扫描显微检查的方法的一个示例性实施方案的流程图。图3示出了示例性激光扫描显微镜系统的一部分的图，通过实施该示例性激光扫描显微镜系统来执行暗场显微检查，该示例性激光扫描显微镜系统包括图1的示例性激光扫描模块。图4示出了提呈一种执行光学隔离作为激光扫描显微检查过程的一部分的方法的一个示例性实施方案的流程图。图5A是示出了根据一个示例性实施方案的图3的激光扫描模块的一部分在图4中示出的示例方法的早期阶段的图。图5B是示出了根据一个示例性实施方案的图3的激光扫描模块的一部分在图4中示出的示例方法的中间阶段的图。图5C是示出了根据一个示例性实施方案的图3的激光扫描模块的一部分在图4中示出的示例方法的另一个中间阶段的图。具体实施方式下面的说明中包括一些与本公开中的实施方案有关的具体信息。本申请中的图式及其附随的详细说明，仅仅是针对示例性实施方案。除非另有注明，否则各图中的相同或相应的元件可以用相同或相应的参考标号来表示。而且，本申请中的图式和图解说明总体上并不是按比例的，并且无意于对应实际的相对尺寸。图1是一个激光扫描显微镜系统的图，该激光扫描显微镜系统包括一个包括光学隔离器的激光扫描模块的示例性实施方案。激光扫描显微镜系统100包括：激光光源101，激光光源101产生光102用于给目标160成像；物镜150；以及激光扫描模块110，其位于激光光源101与物镜150之间。图示的激光扫描模块110包括光学隔离器120和扫描单元140。应注意，虽然为了概念上清晰起见，将扫描单元140描绘成一个集成块组件或单元，但是扫描单元140可以包括多个内部特征件，例如，诸如检流式扫描仪(包括扫描镜)，和一或多个扫描透镜(图1中未如此示出镜和透镜)。可以实施激光扫描显微镜系统100，对目标160执行软缺陷分析，目标160可以采用在半导体晶片或芯片上制造的集成电路(IC)的形式。光学隔离器120包括：至少第一线性偏光器123；法拉第旋转器125；透射元件126，其包括半波板126a和孔隙126b；以及第二线性偏光器128。如图1所示，法拉第旋转器125以及包括半波板126a和孔隙126b的透射元件126位于第一线性偏光器123与第二线性偏光器128之间。任选地，并且如图1进一步示出的，在一些实施方案中，光学隔离器120可以包括入口孔隙112(可以是共焦入口孔隙)与准直光学器件121中的一者或两者。也就是说，在一些实施方案中，入口孔隙112和/或准直光学器件121可以不是包括在光学隔离器120中，而是构成激光扫描模块110的单独的部件。应注意，在光学隔离器120中未设有准直光学器件121的实施方案中，光学隔离器120位于激光扫描模块110内，在准直光学器件121与扫描单元140之间。第一线性偏光器123与准直光学器件121隔开第一距离124，而第二线性偏光器128与扫描单元140隔开第二距离129。应注意，在至少一个实施方案中，将第一线性偏光器123与准直光学器件121隔开的第一距离124小于并且可以基本上小于将第二线性偏光器128与扫描单元140隔开的第二距离129。举例来说，在一个实施方案中，第一距离124可以是大概1毫米(1mm)，而第二距离129可以是大概2mm。图1中还示出了间距113，基本上准直的光束122，以及光学隔离器120从基本上准直的光束122产生的光环139。如下文将更详细地解释的，包括光学隔离器120的激光扫描模块110配置成接收光102，产生光环139，并且利用扫描单元140使用光环139扫描目标160。此外，并且如下文也将详细说明的，激光扫描模块110的光学隔离器120配置成使得能够收集由目标160所散射的光。将参照图2进一步说明激光扫描模块110的功能性，图2示出了提呈一种用于执行激光扫描显微检查的方法的一个示例性实施方案的流程图。关于图2中概括的方法，应注意，流程图200中省略了某些细节和特征，以免对本申请的专利技术性特征的论述造成混淆。参照流程图200，并且另外参照图1的激光扫描显微镜系统100，流程图200开始时是激光扫描模块110接收由激光光源101所产生的光102(210)。由激光光源101所产生的光102可以被激光扫描模块110接收，并且受到允许通过入口孔隙112进入光学隔离器120。需要重申的是，用于准许光102进入的入口孔隙112可以包括在光学隔离器120中作为光学隔离器120的一个部分，或者可以作为激光扫描模块110的单独部件存在，如上所述。流程图200继续，此时准直光学器件121使通过入口孔隙112接收到的光102准直，以便传递基本上准直的光束122(220)。如图1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光扫描模块，包括：光学隔离器，包括第一线性偏光器和第二线性偏光器；准直光学器件，其配置成接收由激光光源产生的光，并且将基本上准直的光束传递到所述第一线性偏光器；扫描单元，其定位成接收由所述第二线性偏光器所传递的光。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.08.24 US 13/593,9701.一种激光扫描模块，包括：
光学隔离器，包括第一线性偏光器和第二线性偏光器；
准直光学器件，其配置成接收由激光光源产生的光，并且将基本
上准直的光束传递到所述第一线性偏光器；
扫描单元，其定位成接收由所述第二线性偏光器所传递的光。
2.根据权利要求1所述的激光扫描模块，其中将所述第一线性偏
光器与所述准直光学器件隔开的第一距离小于将所述第二线性偏光
器与所述扫描单元隔开的第二距离。
3.根据权利要求1所述的激光扫描模块，其中所述光学隔离器包
括所述准直光学器件。
4.根据权利要求1所述的激光扫描模块，还包括共焦入口孔隙，
其用于允许由所述激光光源产生的所述光进入。
5.根据权利要求4所述的激光扫描模块，其中所述光学隔离器包
括所述共焦入口孔隙。
6.根据权利要求1所述的激光扫描模块，其中所述光学隔离器还
包括法拉第旋转器和包括半波板的透射元件，所述法拉第旋转器和所
述透射元件位于所述第一线性偏光器与第二线性偏光器之间。
7.根据权利要求1所述的激光扫描模块，其中由所述第二线性偏
光器传递的所述光包括由所述基本上准直的光束产生的光环。
8.一种激光扫描显微镜系统，包括：
激光光源和物镜；
激光扫描模块，其位于所述激光光源与所述物镜之间，所述激光
扫描模块包括：
光学隔离器，其包括第一线性偏光器和第二线性偏光器；
准直光学器件，其配置成接收由所述激光光源产生的光，并且将
基本上准直的光束传递到所述第一线性偏光器；
扫描单元，其定位成接收由所述第二线性偏光器所传递的光。
9.根据权利要求8所述的激光扫描显微镜系统，其中将所述第一
线性偏光器与所述准直光学器件隔开的第一距离小于将所述第二线

【专利技术属性】
技术研发人员：拉马·R·格鲁刚休，
申请(专利权)人：超威半导体公司，
类型：发明
国别省市：美国;US