光学感测模块制造技术

本发明专利技术公开一种光学感测模块，通过感测光束感测待测物的特性，其包括承载基板、透光盖体、侧壁、光栅以及光学感测器。透光盖体上配置反射面，反射面具有透光开口。透光开口暴露出部分透光盖体。侧壁配置于承载基板的周围，且位于承载基板与透光盖体之间。光栅配置于承载基板上，且光栅的位置对应于透光开口。光学感测器配置于承载基板上，且位于光栅旁，其中承载基板、侧壁以及透光盖体形成真空腔室，且光栅与光学感测器配置于真空腔室内。

Optical sensing module

The invention discloses an optical sensing module, which senses the characteristics of the object to be measured by a sense beam, which comprises a load carrying substrate, a transparent cover body, a side wall, a grating, and an optical sensor. A reflective surface is arranged on the transparent cover body, and the reflecting mask is provided with a light transmitting opening. The light transmitting opening exposes a partially transparent cover body. The side wall is arranged around the bearing plate and is positioned between the bearing substrate and the light transmitting cover body. The grating is arranged on the load carrying substrate, and the position of the grating corresponds to the light transmitting opening. The optical sensor is arranged on the load carrying substrate and is positioned beside the grating, wherein, the load carrying substrate, the side wall and the light transmitting cover body form a vacuum chamber, and the grating and the optical sensor are arranged in the cavity of the real cavity.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种感测模块，且特别是涉及一种光学感测模块。
技术介绍
近年来，随着工业发展以及城市的现代化建设，导致大气中大量的污染物快速地增加，造成空气品质恶化，并危害人类的健康。因此，气体感测器被开发并用以感测大气中的污染物。举例来说，一般的气体感测器中配置有特定的金属氧化物，而此特定的金属氧化物会与特定的气体污染物进行化学反应，以感测气体污染物的存在或其特性。然而，上述利用金属氧化物的气体感测器由于仅能与特定的气体污染物产生化学反应，并无法感测其他气体。也就是说，利用金属氧化物的气体感测器仅能一对一地感测特定的气体污染物，对于使用者来说并不具有使用上的便利性。另一方面，在湿度较高的环境下(例如浴室)，金属氧化物易受潮而变质，而此会导致气体感测器无法达到感测气体污染物的功能。于是，光学气体感测器则被开发出来以解决上述的问题，其原理主要是通过感测光束经过气体污染物后，光学气体感测器接收感测光束以得到气体污染物的物质特性。但是，现阶段利用光学气体感测器由于光传递路径的距离长，模块的体积过大，携带不方便，缺乏即时监测的优势。此外，由于光传递路径的距离较长，而容易使得光强度衰减，影响感本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学感测模块，其特征在于，通过感测光束感测待测物的特性，该光学感测模块包括：承载基板；透光盖体，该透光盖体上配置反射面，该反射面具有透光开口，且该透光开口暴露出部分该透光盖体；侧壁，该侧壁配置于该承载基板的周围，且位于该承载基板与该透光盖体之间；光栅，该光栅配置于该承载基板上，且该光栅的位置对应于该透光开口；以及光学感测器，该光学感测器配置于该承载基板上，且位于该光栅旁，其中该承载基板、该侧壁与该透光盖体形成真空腔室，且该光栅与该光学感测器配置于该真空腔室内。

【技术特征摘要】
2015.11.26 TW 1041393311.一种光学感测模块，其特征在于，通过感测光束感测待测物的特性，该光学感测模块包括：承载基板；透光盖体，该透光盖体上配置反射面，该反射面具有透光开口，且该透光开口暴露出部分该透光盖体；侧壁，该侧壁配置于该承载基板的周围，且位于该承载基板与该透光盖体之间；光栅，该光栅配置于该承载基板上，且该光栅的位置对应于该透光开口；以及光学感测器，该光学感测器配置于该承载基板上，且位于该光栅旁，其中该承载基板、该侧壁与该透光盖体形成真空腔室，且该光栅与该光学感测器配置于该真空腔室内。2.如权利要求1所述的光学感测模块，其特征在于，该感测光束经由该透光开口进入该真空腔室并传递至该光栅，该光栅使在该真空腔室中传递的该感测光束产生绕射而传递至该反射面，且产生绕射后的该感测光束被该反射面反射至该光学感测器。3.如权利要求1所述的光学感测模块，其特征在于，该光栅包括绕射面，且该绕射面具有多个绕射结构。4.如权利要求3所述的光学感测模块，其特征在于，该些绕射结构的形状为锯齿状或波浪状。5.如权利要求3所述的光学感测模块，其特征在于，该些绕射结构沿着曲面或平面排列，其中该曲面为朝向该透光盖体的一凹面或朝向该透光盖体的凸面。6.如权利要求5所述的光学感测模块，其特征在于，该光栅还包括：第一端，远离该光学感测器；以及第二端，相对于该第一端，该第二端邻近于该光学感测器，其中该第一端与该反射面的距离小于该第二端与该反射面的距离。7.如权利要求3所述的光学感测模块，其特征在于，该透光开口延伸的方向与该些绕射结构延伸的方向实质上相同。8.如权利要求1所述的光学感测模块，其特征在于，该承载基板还包括：基材，具有第一表面与相对于该第一表面的第二表面，其特征在于，该侧壁、该光栅以及该光学感测器配置于该第一表面上；线路层，该线路层配置于该第二表面上；多个接垫，电连接于该线路层；钝化层，配置于该线路层上，且暴露出该些接垫；以及多个导电贯孔，各该导电贯孔贯穿该基材，各该导电贯孔的一端连接至该光学感测器，且各该导电贯孔的另一端则连接至该线路层。9.如权利要求8所述的光学感测...

【专利技术属性】
技术研发人员：王钦宏，柯正达，杨省枢，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71