反射式光学隔离器及采用该反射式光学隔离器的激光加工设备制造技术

本发明专利技术公开一种反射式光学隔离器及采用该反射式光学隔离器的激光加工设备，该反射式光学隔离器包括沿光轴方向依次排列的双折射晶体、第一半波片、合束整形透镜组、光学隔离模块、第二半波片以及90度相位延迟镜，双折射晶体用于将P偏振光与S偏振光进行分离，第一半波片以及第二半波片用于对线偏振的偏振方向进行旋转，合束整形透镜组用于将两束P偏振光进行合束整形成一束P偏振光；光学隔离模块包括多个以布鲁斯特角设置的硒化锌平面镜片，用于折射P偏振光，并且反射S偏振光；90度相位延迟镜用于将线偏振光转换为圆偏振光。上述反射式光学隔离器可延长激光器的使用寿命，提高激光加工设备的加工品质及良品率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种激光加工领域，特别是涉及一种反射式光学隔离器及采用该反射式光学隔离器的激光加工设备。
技术介绍
自上世纪60年代首次实现激光输出以来，由于激光具有高亮度、单色性、方向性、相干性等优点，受到广泛关注，并在国防军事、工业生产、科学研究等各个方面广泛应用。在工业生产方面，激光加工方式是利用激光束与物质相互作用特性对材料进行加工的一种方式。与传统加工方法相比，由于激光加工具有无接触、无应力变形、热影响区域小、可加工材料广泛、可灵活的实现各种复杂加工、效率高且质量稳定等优点，因此已经形成了激光切割、激光焊接、激光打孔、激光器标记、激光表面处理、零件快速成型等多种应用工艺，并已经广泛应用于汽车、电子、航空航天、冶金、机械制造等工业领域。对实现生产自动化、提高产品质量和劳动生产率、减少材料消耗、降低环境污染等起到越来越重要的作用。 在采用大功率CO2激光器进行加工时，当高能CO2激光束照射到那些对10.6μ本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种反射式光学隔离器，其特征在于，包括沿光轴方向依次排列的双折射晶体、第一半波片、合束整形透镜组、光学隔离模块、第二半波片以及90度相位延迟镜，所述双折射晶体用于将P偏振光与S偏振光进行分离，所述第一半波片以及所述第二半波片用于对线偏振的偏振方向进行旋转，所述合束整形透镜组用于将两束所述P偏振光进行合束整形成一束P偏振光；所述光学隔离模块包括多个以布鲁斯特角设置的硒化锌平面镜片，用于折射所述P偏振光，并且反射所述S偏振光；所述90度相位延迟镜用于将线偏振光转换为圆偏振光。

【技术特征摘要】
1.一种反射式光学隔离器，其特征在于，包括沿光轴方向依次排列的双折
射晶体、第一半波片、合束整形透镜组、光学隔离模块、第二半波片以及90度
相位延迟镜，所述双折射晶体用于将P偏振光与S偏振光进行分离，所述第一
半波片以及所述第二半波片用于对线偏振的偏振方向进行旋转，所述合束整形
透镜组用于将两束所述P偏振光进行合束整形成一束P偏振光；所述光学隔离
模块包括多个以布鲁斯特角设置的硒化锌平面镜片，用于折射所述P偏振光，
并且反射所述S偏振光；所述90度相位延迟镜用于将线偏振光转换为圆偏振光。
2.如权利要求1所述的反射式光学隔离器，其特征在于，所述硒化锌平面
镜片成对设置，并且每对所述硒化锌平面镜片呈V形设置。
3.如权利要求1所述的反射式光学隔离器，其特征在于，所述合束整形透
镜组由平凸透镜及平凹透镜组成，所述平凸透镜的焦点与所述平凹透镜的焦点
重合。
4.如权利要求3所述的反射式光学隔离器，其特征在于，所述平凸透镜的
焦距为100毫米，所述平凹透镜的焦距为20毫米，所述平凸透镜与所述平凹透
镜之间的距离为117毫米。
5.如权利要求1所述的反射式光学隔离器，其特征在于，每个所述硒化锌
平面镜片为圆形，并且直径为25.4毫米，厚度为3毫米。
6.如权利要求1所述的反射式光学隔离器，其特征在于，所述第一半波片
的主截面旋转45度，将所述S偏振光变为所述P偏振光；所述第二半波片的主
截面旋转22.5度，透过所述合束整形透镜组的所述P偏振光经过所述第二半波
片后，以45度入射角入射到所述90度相位延迟镜，从而将线偏振光转换为圆
偏振光。
7.如权利要求1所述的反射式光学隔离器，其特征在于，还包括双折射镜
座、压盖以及半波片压环，所述双折射镜座为矩形筒体，并且两端开口，所述
双折射镜座的外表面设有注水口，并且所述注水口通过水管接头与水管连通，
用于对所述双折射镜座进行水冷；所述双折射晶体以及所述第一半波片收容在
所述双折射镜座内，所述压盖的中部设有透光孔，并且固定在所述双折射镜座

【专利技术属性】
技术研发人员：肖磊，龚成万，赵建涛，杨锦彬，宁艳华，高云峰，
申请(专利权)人：深圳市大族激光科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44