一种纳米级薄膜样品测试仪制造技术

本发明专利技术公开了一种纳米级薄膜样品测试仪，包括反射机构和温度控制机构，所述反射机构包括偏振片、第一反射镜、第二反射镜；所述温度控制机构包括热台、制冷片、冷却水块、红外测温传感器，热台与红外测温传感器通过导线与温控器相连；红外测温传感器通过传感器支架置于热台上方，制冷片、冷却水块叠置放置于热台下方；热台通过可调节的热台支架安装在底座上；偏振片、第一反射镜、第二反射镜分别通过旋转部固定在相应支架上。本发明专利技术采用不与测量物品直接接触的红外测温传感器测量温度特性，且热台的高度、反射镜的角度、偏振片的角度均可调节，可随意调节，有利于测量光线的调节，测量效果好。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种纳米级薄膜样品测试仪，包括反射机构和温度控制机构，其特征在于，所述反射机构包括位于样品入射光方向的偏振片（2）和第一反射镜（3）、位于样品出射光方向的第二反射镜（12）；所述温度控制机构包括热台（8）、制冷片（9）、冷却水块（10）、红外测温传感器（6），其中热台（8）内部设置加热装置，热台（8）与红外测温传感器（6）通过导线与温控器相连；红外测温传感器（6）通过传感器支架（5）置于热台（8）上方，制冷片（9）、冷却水块（10）叠置放置于热台（8）下方；热台（8）通过可调节的热台支架（15）安装在底座（1）上；偏振片（2）、第一反射镜（3）、第二反射镜（10）分别通过旋转部（13）固定在相应支架上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘泽生，
申请(专利权)人：青岛嘉和兴制粉有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37