下载一种纳米级薄膜样品测试仪的技术资料

文档序号:11408931

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本发明公开了一种纳米级薄膜样品测试仪,包括反射机构和温度控制机构,所述反射机构包括偏振片、第一反射镜、第二反射镜;所述温度控制机构包括热台、制冷片、冷却水块、红外测温传感器,热台与红外测温传感器通过导线与温控器相连;红外测温传感器通过传感器...
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